Beschreibung

Dies ist unser Hochvakuum -ExploraVAC TVAC-Vakuumtestkammersystem, ideal für Hochvakuumprozesse und optimiert für Stabilität und Benutzerfreundlichkeit. Es handelt sich um ein vollständig integriertes, schlüsselfertiges Hochvakuumsystem mit einer großen, würfelgeschweißten 20-Zoll-Vakuumkammer aus Edelstahl, einer aufklappbaren Edelstahltür mit Sichtfenster und einem Volumen von 4,6 Kubikfuß. Das System umfasst eine Pfeiffer HiPace 300 Turbomolekularpumpe, eine trockene Scroll-Vakuumpumpe nXDS20i von Edwards und einen integrierten Mikroionen- und Convectron-Gauge-Controller, der Schrupp- und Hochvakuumkammerdruckmessungen ermöglicht. Dieses Hochvakuum -ExploraVAC- TVAC-System kann einen Enddruck von 1x10 ^-7 Torr erreichen, wiegt 862 Pfund und benötigt einphasige 208-240 VAC, 50/60 Hz, bei 19 Ampere.

Hochvakuumkammern werden für viele wissenschaftliche und industrielle Prozesse eingesetzt. Viele wissenschaftliche Instrumente werden im Vakuum hergestellt, insbesondere wenn Elektronen- oder andere geladene Teilchenstrahlen verwendet werden. Präzise Vakuumbeschichtungsverfahren wie Vakuumsputtern, physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und chemische Gasphasenabscheidung (CVD) werden verwendet, um sehr dünne optische oder schützende Beschichtungen auf Halbleiter oder präzisionsgeschliffene optische Substrate aufzubringen. Auch für Präzisions-Halbleiterätzprozesse ist Hochvakuum erforderlich. Mit Hochvakuum können Wasser oder andere Restdämpfe aus extrem kalten Proben entfernt werden, ohne diese zu verformen, beispielsweise bei der Gefriertrocknung biologischer Proben zu Bildgebungszwecken. Hochvakuum ist erforderlich, um weltraumtaugliche Komponenten oder Geräte zu testen, um sicherzustellen, dass sie nicht ausgasen, wenn sie den extrem niedrigen Drücken im Weltraum ausgesetzt werden. Die Leistungsdaten aller Optionen finden Sie unten im PDF-Download der Leistungsgrafik.

Konfiguration des ExploraVAC- Hochvakuumsystems:

20 Zoll große, würfelgeschweißte Edelstahlkammer
Vordere Kammertür aus Edelstahl mit Sichtfenster
Pfeiffer HiPace 300 Turbomolekularpumpe
Edwards nXDS20i Trockenscroll-Vakuumpumpe
QTY2 LF-200-Seitenanschlüsse (ermöglichen das Hinzufügen verschiedener Durchführungen von beiden Seiten der Kammer)

Die TVAC-Thermo-Vakuumkammer-Prozess- und Testinstrumente der ExploraVAC- Serie schaffen präzise Umgebungen, die dem Bediener die vollständige Kontrolle über den Innendruck und die Temperatur der Kammer ermöglichen. Sie sind mit Blick auf Innovation gebaut. Sie ermöglichen die Erforschung von Prototypengeräten im Vakuum während der Produktforschungs- und -entwicklungsphase und eine präzise Prozesssteuerung bei der Kleinserienverarbeitung. Diese Thermo-Vakuum-Testkammer-Instrumente sind so konzipiert, dass Benutzer Experimente schnell anpassen können, um Produktanalyse- und Diagnosedaten zu sammeln, während das Produkt den extremen Stressfaktoren Vakuum und Temperatur ausgesetzt ist.

Die thermischen Vakuumprüfkammern ExploraVAC TVAC sind mit vielen verfügbaren Systemoptionen vollständig konfigurierbar (siehe Produktkonfigurator oben).

Konfigurationsoptionen für das ExploraVAC- System:

Vorvakuumpumpe (trockene Spirale oder trockene mehrstufige Wurzeln, verschiedene Geschwindigkeiten)
Hochvakuum (verschiedene Geschwindigkeiten)
Vollständige Vakuumdruckkontrolle
Beheizte und gekühlte Platte
Kammerwandheizung
Integrierte Kammerbeleuchtung
Geschlossenes gekühltes oder kryogenes LN ₂ -Kühlsystem
Automatisierte Softwaresteuerung
Fernbedienungsbetrieb
Spülöffnungen, Kammerregale und vieles mehr

Für ExploraVAC steht eine große Auswahl an Vakuumkammern zur Verfügung, darunter geschweißte Edelstahlkammern mit (Innen-)Kubikgrößen (12, 16, 20 oder 24 Zoll) oder modulare Ideal Vacuum Cube™-Kammern mit (Innen-)Kubikgrößen (9, 12). , oder 24 Zoll). Die Kammern können mit Türen aus Aluminium oder Edelstahl, mit oder ohne Sichtfenster, konfiguriert werden.

Der ExploraVAC TVAC-Systemschrank verfügt über eine praktisch abgewinkelte Bedienoberfläche auf der Vorderseite mit farbiger LED-Drucktastenschnittstelle, die alle Kammerfunktionen steuert. PID-Regler und Messgeräte werden nach Bedarf für vom Benutzer ausgewählte Optionen installiert. Eine SPS verwaltet Systemfunktionen, einschließlich Pumpen- und Ventilsequenzierung für effiziente Abpumpzyklen und Sicherheitsverriegelungen zur Vermeidung von Geräteschäden. Das von vorne zugängliche, eingebaute Gehäuse im NEMA-Stil beherbergt die für den Systembetrieb erforderliche Elektronik.

Ein geräumiger LF-200-Seitenanschluss steht für vom Benutzer ausgewähltes oder entworfenes Zubehör zur Verfügung, z. B. eine elektronische Durchführung zur Geräteüberwachung oder Stoßprüfung, eine Infrarotlampenanordnung für Strahlungsheizung oder Temperaturdifferenztests oder eine Ultraviolettlampenanordnung für Tests mit ionisierender Strahlung . Dieses System könnte individuell angepasst werden, um jede gewünschte Anstiegsgeschwindigkeit zu erreichen, indem zusätzliche, außerhalb des Schranks montierte Vakuumpumpen hinzugefügt werden.

Auf der Rückseite des Schranks befindet sich eine Schott-Durchführungsplatte für die Kammerentlüftung, die Pumpenabsaugung und die Spülgasoption. Eine digitale Durchführung auf der Rückseite verfügt über mehrere Anschlüsse, darunter einen DB9-Anschluss, um das System mit unserer Auto Explor ™-Software von einer Workstation oder einem Laptop mit Microsoft Windows 10 oder 11 aus der Ferne zu betreiben.

Die (nicht ablaufende) Basisversion von AutoExplor (P1012102) ermöglicht es einem Benutzer, Geräte manuell zu steuern und gleichzeitig das System zu schützen. AutoExplor ordnet die Pumpen ordnungsgemäß zu und betätigt automatisch die richtigen Ventile für eine bestimmte Anforderung. Der Benutzer kann Druck- und Temperatursollwerte, Anstiegsraten, Einweichzeiten und Entlüftung programmieren (sofern das System mit diesen Hardwareoptionen ausgestattet ist). Die Software bietet grafisches Datenstreaming in Echtzeit, sodass der Benutzer das Systemverhalten visualisieren kann. AutoExplor verwaltet einen internen Plan für die vorbeugende Wartung und benachrichtigt den Benutzer, wenn eine Systemwartung fällig ist. Es benachrichtigt beispielsweise, wenn die Spitzendichtung der Scrollpumpe ausgetauscht werden muss und wenn eine Sensorkalibrierung fällig ist. Dies trägt dazu bei, die maximale Betriebsleistung des Systems aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus werden im Falle eines Geräteausfalls Fehler- und Fehlermeldungen sowie spezifische Informationen zur Fehlerbehebung angezeigt, damit das Problem schnellstmöglich behoben werden kann.

Die Premium-Version von AutoExplor (P1012100) umfasst alle Funktionen des Basissoftwarepakets (oben) und fügt automatische Rezeptsteuerung, Datenprotokollierung und Protokollexportfunktionen hinzu. Komplexe Testrezepte können als schrittweiser Prozess erstellt werden, wobei jeder Schritt den Ein-/Aus-Zustand, die Sollwerte und die Rampenraten mehrerer Geräte steuern kann. Mithilfe logischer Operatoren können für jeden Rezeptschritt eine oder mehrere Endbedingungen festgelegt werden. Mit der Premium-Version kann der Benutzer schnell TVAC-Umwelttestberichte aus Rezeptdatenprotokolldateien erstellen. Protokolle können überprüft werden, um sicherzustellen, dass die angestrebten Prozessparameter erreicht werden. Die Premium-Version umfasst außerdem den AutoExplor IP Client , der der Software die Möglichkeit gibt, als Host verwendet zu werden, der mehrere externe Netzwerk-Clients verwalten kann, sowie die AutoExplor API (Application Programming Interface), die es einem Wissenschaftler oder Programmierer ermöglicht, ein ExploraVac -Instrument zu integrieren ihre bestehende Software-Testsuite ohne Verwendung der Softwareschnittstelle von AutoExplor . Die Premium-Version muss jährlich erneuert werden, andernfalls wird sie auf die Basisversion zurückgesetzt.

Die druck- und temperaturgesteuerten TVAC-Testkammern der ExploraVAC- Serie sind eine perfekte Lösung für viele Produkttestanforderungen.

Beispielanwendungen