説明

これは、究極の環境シミュレーションシステムである Universal Process ExploraVAC TVAC 熱真空テストチャンバーシステムです。 23 インチ × 23 インチの高表面積の断熱プラテン上で、-70 ～ +225 °C までの加熱および冷却サンプル温度制御を ± 0.3 °C の精度で実現します。このシステムには、完全に統合されたターンキーの粗真空システムと高真空システムが備わっています。これは、大きな 24 インチ立方体溶接ステンレス鋼真空チャンバー、ビューポート付きのヒンジ付きステンレス鋼ドア、および 8.0 立方フィートの容積を備えています。このシステムは、Pfeiffer HiPace 300 ターボ分子ポンプと Edwards nXR30i ドライルーツ真空ポンプを備えており、10 ^-7 Torr という低い到達圧力を達成します。構成されているように、ドライポンプのみを備えたこのユニバーサルプロセスシステムは、局所圧力から測定ゲージ値に対して正確な 2 × 10 ^-2 Torr までの完全な圧力制御を備えています。高度シミュレーションの場合、システムの上限は 280,000 フィートです。チャンバーが横切ってターボ分子真空ポンプによって排気されると、その圧力は 10 ^-7 Torr の範囲で深宇宙の圧力をシミュレートし、極低温でも材料を脱気できます。チャンバーの通気は、スマートな Ideal Vacuum CommandValve™ によって制御され、毎秒最大 10 Torr の速度でチャンバーを加圧できます。これは、物体が自由落下で感じるよりも急速な加圧です。オペレーターは、高度、トル、大気、バール、パスカル、または PSI で好みの圧力単位を選択できます。このシステムには、ユーザーとロジックコントローラーにフィードバックを提供する 2 つの Convectron、マイクロイオン、および圧電真空圧力計が含まれています。内部調整されたパージガスポートにより、ユーザーが選択したガスをチャンバーに導入して、高純度または酸素と水を含まない作業を行うことができます。広々とした LF-200 サイドポートは、デバイス監視または衝撃試験用の電子フィードスルー、輻射加熱または温度差試験用の赤外線ランプアレイ、電離放射線試験用の紫外線ランプアレイなど、ユーザーが選択または設計したアクセサリに使用できます。。この Ultimate Universal ExploraVACシステムの重量は 1303 ポンドで、単相 208 ～ 240 VAC、50/60 Hz、46 アンペアが必要です。

場合によっては、特定のプロセスにどのテストや機能が必要になるかを事前に知ることが不可能です。また、スペースや資金の不足により、単一のシステムが汎用テストまたはプロセスシステムとして機能しなければならない場合もあります。たとえば、学術的な航空宇宙工学研究室では、実験用の航空機、宇宙船、および CubeSat のすべての部品とデバイスを評価するために、高度シミュレーション、環境テスト、および宇宙シミュレーションを実行するための単一のテストチャンバーが必要になる場合があります。材料合成研究室では、高真空下でナノチューブを熱分解、凍結乾燥、脱気したり、有望な新しい軽量ポリマーのさまざまな温度と圧力で機械的特性を測定したりできる単一の真空チャンバーが必要になる場合があります。 Ideal Vacuum のExploraVACユニバーサルテストチャンバーシステムは、これらのニーズのいずれにも対応できます。さらに高速かつ深い極低温冷却 (-170 °C まで) を実現するために、当社の XtremeFreez 再循環液体窒素冷却オプションを使用すると、さらに低温の空間温度のシミュレーションや熱衝撃試験が可能になります。

すべてのオプションのパフォーマンスデータについては、以下のパフォーマンスグラフ PDF ダウンロードを参照してください。

ExploraVACユニバーサルプロセスシステム構成:

24 インチの立方体溶接ステンレス鋼チャンバー
ステンレス製の前室ドア
全真空圧力制御
ポートのパージ
加熱および冷却されたプラテン
プラテン温度範囲: -70°C ～ +225°C
プラテン温度上昇率: 3.5 °C/min 加熱、3 °C/min 冷却
Pfeiffer HiPace 300 ターボ分子ポンプ
Edwards nXR30i ドライルーツ真空ポンプ
QTY2 LF-200 サイドポート (チャンバーの両側からさまざまなフィードスルーを追加可能)

TVAC 熱真空チャンバーのプロセスおよびテスト機器のExploraVACシリーズは、オペレーターがチャンバー内部の圧力と温度を完全に制御できる正確な環境を作成します。これらはイノベーションを念頭に置いて構築されています。これらにより、製品の研究開発段階での真空中でのプロトタイプデバイスの調査や、小規模バッチ処理での正確なプロセス制御が可能になります。これらの熱真空試験チャンバー機器は、製品が真空と温度の極度のストレス要因にさらされるときに、ユーザーが実験を迅速に調整して製品の分析および診断データを収集できるように設計されています。

ExploraVAC TVAC 熱真空試験チャンバーは、利用可能な多くのシステムオプションを使用して完全に構成可能です (上記の製品コンフィギュレーターを参照)。

ExploraVACシステム構成オプション:

荒引きポンプ（乾式スクロールまたは乾式多段ルート、各種速度）
高真空（各種速度）
全真空圧力制御
加熱および冷却されたプラテン
チャンバー壁加熱
統合されたチャンバー照明
閉ループ冷凍または LN ₂極低温冷却システム
自動化されたソフトウェア制御
リモコン操作
パージポート、チャンバー棚など

ExploraVACでは、(内部) 立方体サイズ (12、16、20、または 24 インチ) の溶接ステンレス鋼チャンバーや (内部) 立方体サイズ (9、12 インチ) の Ideal Vacuum Cube™ モジュラーチャンバーなど、幅広い真空チャンバーを選択できます。、または24インチ）。チャンバーは、ビューポートの有無にかかわらず、アルミニウムまたはステンレス鋼のドアで構成できます。

ExploraVAC TVAC システムキャビネットには、すべてのチャンバー機能を制御するカラー LED プッシュボタンインターフェイスを備えた、便利な角度のフロントパネルコントロール面が付いています。 PID コントローラーとゲージは、ユーザーが選択したオプションの必要に応じて取り付けられます。 PLC は、効率的なポンプダウンサイクルのためのポンプとバルブのシーケンスや、機器の損傷を防ぐための安全インターロックなどのシステム機能を管理します。前面からアクセス可能な内蔵 NEMA スタイルのエンクロージャには、システムの動作に必要な電子機器が収納されています。

広々とした LF-200 のサイドポートは、デバイス監視または衝撃試験用の電子フィードスルー、輻射加熱または温度差試験用の赤外線ランプアレイ、電離放射線試験用の紫外線ランプアレイなど、ユーザーが選択または設計したアクセサリに使用できます。。このシステムは、キャビネットの外側に真空ポンプを追加することで、任意の上昇速度を得るようにカスタマイズできます。

キャビネットの背面には、チャンバーの通気、ポンプの排気、およびパージガスのオプション用のバルクヘッドフィードスルーパネルがあります。デジタルフィードスルーバックパネルには、 Auto Explor ™ ソフトウェアを使用して Microsoft Windows 10 または 11 を実行しているワークステーションまたはラップトップからシステムをリモートで実行するための DB9 コネクタを含む複数のポートがあります。

AutoExplorの (有効期限のない) 基本バージョン (P1012102) を使用すると、ユーザーはシステムを保護しながらデバイスを手動で制御できます。 AutoExplor はポンプを適切にシーケンスし、指定されたリクエストに応じて適切なバルブを自動的に操作します。ユーザーは、圧力と温度の設定値、ランプ速度、浸漬時間、および通気 (システムにこれらのハードウェアオプションが装備されている場合) をプログラムできます。このソフトウェアはリアルタイムのグラフィカルデータストリーミングを提供するため、ユーザーはシステムの動作を視覚化できます。 AutoExplor は内部の予防メンテナンススケジュールを維持し、システムサービスの期限が来るとユーザーに通知します。たとえば、スクロールポンプのチップシールの交換が必要な時期や、センサーの校正時期がいつかかるかを通知します。これにより、システムの動作パフォーマンスを最高に保つことができます。また、デバイス障害が発生した場合には、問題をできるだけ早く修正できるように、障害およびエラーメッセージと特定のトラブルシューティング情報も提供します。

AutoExplorのプレミアムバージョン (P1012100) には、基本ソフトウェアパッケージ (上記) のすべての機能が含まれており、自動レシピ制御、データログ、およびログエクスポート機能が追加されています。複雑なテストレシピをステップバイステップのプロセスとして作成でき、各ステップで複数のデバイスのオン/オフ状態、セットポイント、ランプレートを制御できます。各レシピステップの 1 つまたは複数の終了条件は、論理演算子を使用して設定できます。プレミアムバージョンでは、レシピデータログファイルから環境 TVAC テストレポートを迅速に生成できます。ログを確認して、目標のプロセスパラメータが達成されていることを確認できます。プレミアムバージョンには、ソフトウェアに複数の外部ネットワーククライアントを管理できるホストとして使用できる機能を提供するAutoExplor IP Clientと、科学者やプログラマーがExploraVac機器を統合できるようにするAutoExplor API (アプリケーションプログラミングインターフェイス) も含まれています。 AutoExplor のソフトウェアインターフェイスを使用せずに、既存のソフトウェアテストスイートを実行できます。プレミアムバージョンは毎年更新する必要があり、更新しない場合はベーシックバージョンに戻ります。

ExploraVACシリーズの TVAC 圧力および温度制御テストチャンバーは、多くの製品テスト要件に最適なソリューションです。

サンプルアプリケーション