説明

これは当社のベーシックレベルExploraVAC TVAC 熱真空テストチャンバーシステムで、エントリーレベルの真空プロセスに最適で、低コストと使いやすさを実現するために最適化されています。これは、完全に統合されたターンキーの粗真空システムで、大きな 20 インチ立方体溶接ステンレス鋼真空チャンバー、ビューポート付きのヒンジ付きステンレス鋼ドア、および 4.6 立方フィートの容積を備えています。このシステムには、Edwards nXDS20i ドライスクロール粗真空ポンプと、チャンバー真空圧測定を提供する統合型 Convectron ゲージコントローラーが含まれています。この基本的なExploraVACシステムは、到達圧力 20 mTorr に達することができ、重量は 824 ポンドです。単相、208 ～ 240 VAC、50/60 Hz、17 アンペアが必要です。

粗真空チャンバーは、多くの科学および産業プロセスに使用されます。多くの繊細なサンプルや製品は、劣化を防ぐために真空下で保管する必要があります。科学機器の多くは、空気や他のガス粒子の干渉や吸収を避けるために真空下で行われます。真空スパッタリング、物理蒸着 (PVD)、化学蒸着 (CVD) などの真空コーティングプロセスは、部品や基板に非常に薄い機能性、保護性、または装飾性のコーティングを施すために使用されます。粗真空は、凍結乾燥やプラスチックまたはエポキシの硬化などで、サンプル、前駆体、または高純度部品から水やその他の残留蒸気を除去するためにも使用できます。不純物の除去を強化し、高温での酸素による基板への損傷を防ぐために、熱処理プロセス中に粗真空が使用されます。

ExploraVAC基本レベルのシステム構成:

20 インチ立方体溶接ステンレス鋼チャンバー
ビューポート付きステンレス製前室ドア
Edwards nXDS20i ドライスクロール真空ポンプ
QTY2 LF-200 サイドポート (チャンバーの両側からさまざまなフィードスルーを追加可能)

TVAC 熱真空チャンバーのプロセスおよびテスト機器のExploraVACシリーズは、オペレーターがチャンバー内部の圧力と温度を完全に制御できる正確な環境を作成します。これらはイノベーションを念頭に置いて構築されています。これらにより、製品の研究開発段階での真空中でのプロトタイプデバイスの調査や、小規模バッチ処理での正確なプロセス制御が可能になります。これらの熱真空試験チャンバー機器は、製品が真空と温度の極度のストレス要因にさらされるときに、ユーザーが実験を迅速に調整して製品の分析および診断データを収集できるように設計されています。

ExploraVAC TVAC 熱真空試験チャンバーは、利用可能な多くのシステムオプションを使用して完全に構成可能です (上記の製品コンフィギュレーターを参照)。

ExploraVACシステム構成オプション:

荒引きポンプ（乾式スクロールまたは乾式多段ルート、各種速度）
高真空（各種速度）
全真空圧力制御
加熱および冷却されたプラテン
チャンバー壁加熱
統合されたチャンバー照明
閉ループ冷凍または LN ₂極低温冷却システム
自動化されたソフトウェア制御
リモコン操作
パージポート、チャンバー棚など

ExploraVACでは、(内部) 立方体サイズ (12、16、20、または 24 インチ) の溶接ステンレス鋼チャンバーや (内部) 立方体サイズ (9、12 インチ) の Ideal Vacuum Cube™ モジュラーチャンバーなど、幅広い真空チャンバーを選択できます。、または24インチ）。チャンバーは、ビューポートの有無にかかわらず、アルミニウムまたはステンレス鋼のドアで構成できます。

ExploraVAC TVAC システムキャビネットには、すべてのチャンバー機能を制御するカラー LED プッシュボタンインターフェイスを備えた、便利な角度のフロントパネルコントロール面が付いています。 PID コントローラーとゲージは、ユーザーが選択したオプションの必要に応じて取り付けられます。 PLC は、効率的なポンプダウンサイクルのためのポンプとバルブのシーケンスや、機器の損傷を防ぐための安全インターロックなどのシステム機能を管理します。前面からアクセス可能な内蔵 NEMA スタイルのエンクロージャには、システムの動作に必要な電子機器が収納されています。

広々とした LF-200 のサイドポートは、デバイス監視または衝撃試験用の電子フィードスルー、輻射加熱または温度差試験用の赤外線ランプアレイ、電離放射線試験用の紫外線ランプアレイなど、ユーザーが選択または設計したアクセサリに使用できます。。このシステムは、キャビネットの外側に真空ポンプを追加することで、任意の上昇速度を得るようにカスタマイズできます。

キャビネットの背面には、チャンバーの通気、ポンプの排気、およびパージガスのオプション用のバルクヘッドフィードスルーパネルがあります。デジタルフィードスルーバックパネルには、 Auto Explor ™ ソフトウェアを使用して Microsoft Windows10 または 11 を実行しているワークステーションまたはラップトップからシステムをリモートで実行するための DB9 コネクタを含む複数のポートがあります。

AutoExplorの (有効期限のない) 基本バージョン (P1012102) を使用すると、ユーザーはシステムを保護しながらデバイスを手動で制御できます。 AutoExplor はポンプを適切にシーケンスし、指定されたリクエストに応じて適切なバルブを自動的に操作します。ユーザーは、圧力と温度の設定値、ランプ速度、浸漬時間、および通気 (システムにこれらのハードウェアオプションが装備されている場合) をプログラムできます。このソフトウェアはリアルタイムのグラフィカルデータストリーミングを提供するため、ユーザーはシステムの動作を視覚化できます。 AutoExplor は内部の予防メンテナンススケジュールを維持し、システムサービスの期限が来るとユーザーに通知します。たとえば、スクロールポンプのチップシールの交換が必要な時期や、センサーの校正時期がいつかかるかを通知します。これにより、システムの動作パフォーマンスを最高に保つことができます。また、デバイス障害が発生した場合には、問題をできるだけ早く修正できるように、障害およびエラーメッセージと特定のトラブルシューティング情報も提供します。

AutoExplorのプレミアムバージョン (P1012100) には、基本ソフトウェアパッケージ (上記) のすべての機能が含まれており、自動レシピ制御、データログ、およびログエクスポート機能が追加されています。複雑なテストレシピをステップバイステップのプロセスとして作成でき、各ステップで複数のデバイスのオン/オフ状態、セットポイント、ランプレートを制御できます。各レシピステップの 1 つまたは複数の終了条件は、論理演算子を使用して設定できます。プレミアムバージョンでは、レシピデータログファイルから環境 TVAC テストレポートを迅速に生成できます。ログを確認して、目標のプロセスパラメータが達成されていることを確認できます。プレミアムバージョンには、複数の外部ネットワーククライアントを管理できるホストとしてソフトウェアを使用できる機能を提供するAutoExplor IP クライアントと、科学者やプログラマーがExploraVac機器を統合できるようにするAutoExplor API (アプリケーションプログラミングインターフェイス) も含まれています。 AutoExplor のソフトウェアインターフェイスを使用せずに、既存のソフトウェアテストスイートを実行できます。プレミアムバージョンは毎年更新する必要があり、更新しない場合はベーシックバージョンに戻ります。

ExploraVACシリーズの TVAC 圧力および温度制御テストチャンバーは、多くの製品テスト要件に最適なソリューションです。

サンプルアプリケーション