A série PlasmaVAC™ MAX é a principal linha de instrumentos de plasma a vácuo da Ideal Vacuum - uma versão especializada da nossa família de instrumentos TVAC ExploraVAC MAX, que obteve grande sucesso.

Este é o nosso sistema de tratamento a plasma a vácuo PlasmaVAC MAX para limpeza e descontaminação, ideal para produzir substratos impecavelmente limpos para ultra-alto vácuo (UHV), microscopia eletrônica de varredura e transmissão (MEV e MET), deposição de camadas atômicas (ALD) e deposição física e química de vapor (PVD e CVD). Trata-se de um sistema de vácuo primário totalmente integrado e pronto para uso, composto por uma câmara de vácuo cúbica de 24 polegadas (61 cm), totalmente fechada, iluminada e soldada em alumínio 6061-T6, com porta e visor protegido contra raios ultravioleta (UV) e micro-ondas, e um volume útil de 8,0 pés cúbicos (0,226 m³) com capacidade para até 12 suportes de eletrodos. Este sistema inclui uma bomba de vácuo multi-roots a seco Edwards nXR90i. O plasma é gerado por um gerador de radiofrequência (RF) de 600 W totalmente integrado com rede de adaptação de impedância. A câmara está equipada com múltiplos controladores de fluxo de massa (MFCs) e canais de promoção de fluxo laminar para permitir o controle do fluxo de misturas gasosas selecionáveis pelo usuário ou processos multigás em múltiplas etapas. A pressão da câmara é controlada pelas nossas válvulas inteligentes Ideal Vacuum CommandValves™, permitindo o controle independente de pressão e fluxo. O operador pode selecionar as unidades de pressão preferidas em Torr, atmosferas, bar, pascals ou PSI. Um controlador de manômetro capacitivo integrado fornece medições precisas e exatas da pressão de vácuo na câmara. Quatro RTDs (detectores de temperatura resistivos) Permite a medição da temperatura da amostra durante a operação do plasma.

O sistema inclui um visor touchscreen integrado com o software AutoExplor™ , capaz de controlar todas as funções da câmara. Este sistema inclui uma versão básica do software AutoExplor , com licença vitalícia, executada por um computador Windows e monitor touchscreen integrados. Este software de fácil utilização permite controlar e automatizar todas as funções do PlasmaVAC MAX . Também está incluída uma licença anual renovável da versão premium do AutoExplor , com diversas funcionalidades adicionais (ver abaixo).

Este sistema de limpeza e descontaminação por plasma PlasmaVAC MAX TVAC pode fornecer até 600 W de potência de plasma. Ele pode atingir taxas de fluxo de 10 a 500 SCCM por gás e alcançar uma pressão final de 20 mTorr. Pesa 500 kg e requer alimentação monofásica de 208-240 VCA, 50/60 Hz, a 10 A.

Configuração do sistema de limpeza e descontaminação por plasma PlasmaVAC MAX:

• Gerador de plasma RF de 600 W com rede de adaptação de impedância
• Câmara de vácuo de alumínio soldado de 24 polegadas totalmente fechada
• Porta de alumínio para câmara com:
• Ampla janela de visualização com proteção contra raios UV e micro-ondas
• Canais de fluxo laminar de gás
• Fecho de encaixe rápido
• Iluminação LED da câmara através da janela de visualização
• Tela sensível ao toque LCD de 15,5"
• Suportes de eletrodos com espaçamento variável
• Controle independente de pressão e fluxo
• Bomba de vácuo Edwards nXR90i Dry Multi-Roots
• Manômetro capacitivo + sensores de pressão Pirani com convecção aprimorada
• Quatro sensores de temperatura RTD

A série PlasmaVAC MAX de instrumentos de processamento e teste de plasma a vácuo cria ambientes precisos, proporcionando ao operador controle total sobre a pressão interna da câmara e a composição do gás. Projetados com foco na inovação, permitem a exploração de protótipos em vácuo durante a fase de pesquisa e desenvolvimento de produtos, além de um controle preciso do processo em pequenos lotes. Esses instrumentos de plasma a vácuo são projetados para permitir que os usuários adaptem rapidamente os experimentos, coletando dados de análise e diagnóstico do produto enquanto este é submetido ao tratamento com plasma. As câmaras de processamento de plasma a vácuo PlasmaVAC MAX são configuráveis com diversas opções de sistema.

Opções de configuração do sistema PlasmaVAC MAX:

• Controle automatizado de software
• Operação por controle remoto
• Controladores de fluxo de massa de um para quatro
• Prateleiras adicionais para eletrodos, tamanhos de prateleiras e muito mais.

Os sistemas PlasmaVAC MAX são configurados com câmaras de alumínio totalmente fechadas de 24 polegadas cúbicas, com portas, visores e iluminação interna.

O gabinete do sistema PlasmaVAC MAX possui um painel frontal convenientemente angulado com interface touchscreen controlada por computador, que controla todas as funções da câmara. Controladores PID e medidores são instalados conforme necessário para as opções selecionadas pelo usuário. Um CLP gerencia as funções do sistema, incluindo o sequenciamento de bombas e válvulas para ciclos de bombeamento eficientes e intertravamentos de segurança para evitar danos ao equipamento. O gabinete frontal integrado, no formato NEMA, abriga os componentes eletrônicos necessários para a operação do sistema.

A parte traseira do gabinete possui um painel de passagem para ventilação da câmara e exaustão da bomba. Uma segunda passagem possui conexões para até quatro linhas de gás comprimido que alimentam as MFCs. Um painel traseiro digital possui múltiplas portas de comunicação para operar o sistema remotamente a partir de uma estação de trabalho ou laptop com Microsoft Windows 10 ou 11 e nosso software AutoExplor .

A versão básica (sem prazo de validade) do AutoExplor (P1012102) permite ao usuário controlar manualmente os dispositivos enquanto protege o sistema. O usuário pode programar os pontos de ajuste de pressão, fluxo e potência do plasma, taxas de rampa, tempos de estabilização e ventilação. O software fornece dados gráficos em tempo real para que o usuário possa visualizar o comportamento do sistema. O AutoExplor mantém um cronograma interno de manutenção preventiva e notifica o usuário quando a manutenção do sistema é necessária. Isso ajuda a manter o sistema com desempenho operacional máximo. Ele também fornece mensagens de falha e erro, juntamente com informações específicas para solução de problemas em caso de falha de um dispositivo, para que o problema possa ser corrigido rapidamente.

A versão premium do AutoExplor (P1012100) inclui todos os recursos do pacote de software básico (acima) e adiciona controle automatizado de receitas, registro de dados e recursos de exportação de logs. Receitas de teste complexas podem ser criadas como um processo passo a passo, onde cada etapa pode controlar qualquer aspecto de um processo complexo. Uma ou várias condições finais para cada etapa da receita podem ser definidas usando operadores lógicos. A versão premium permite que o usuário gere rapidamente relatórios de teste a partir de arquivos de log de dados de receitas. Os logs podem ser revisados para garantir que os parâmetros de processo desejados sejam atingidos. A versão premium também inclui o AutoExplor IP Client , que permite que o software seja usado como um host capaz de gerenciar vários clientes de rede externos, e a API (interface de programação de aplicativos) do AutoExplor , que permite que um cientista ou programador integre um instrumento PlasmaVac em seu conjunto de softwares de teste existente sem usar a interface de software do AutoExplor . A versão premium deve ser renovada anualmente; caso contrário, retorna à versão básica.

A série PlasmaVAC MAX de câmaras de plasma a vácuo é a solução perfeita para diversas necessidades de processos de produção.

Exemplos de Aplicações

• Limpeza, descontaminação e esterilização por plasma
• SEM e TEM, Preparação de Amostras
• Preparação de substratos por ALD, PVD e CVD
• Remoção de óxidos e redução de superfície
• Pulverização abrasiva
• Ativação superficial de plásticos, vidros e cerâmicas
• Deposição Química de Vapor Aprimorada por Plasma
• Revestimentos resistentes à abrasão e hidrofóbicos
• Gravação a seco de semicondutores
• Modificação da estrutura da superfície em microescala e nanoescala

Sobre a limpeza do plasma e a preparação da amostra:
Muitas aplicações industriais exigem um grau extremo de limpeza, superior ao que pode ser alcançado com métodos mecânicos e químicos convencionais. Outras aplicações requerem uma limpeza extremamente delicada, com o mínimo contato químico ou físico, devido à natureza delicada, sensível ou dimensionalmente crítica dos objetos a serem limpos. As indústrias sustentáveis buscam novas maneiras de limpar seus componentes que não exijam o uso de produtos químicos prejudiciais ao meio ambiente ou a geração de resíduos químicos de alto custo de descarte. A limpeza por plasma a vácuo oferece um método de limpeza suave, com baixo uso de produtos químicos e que proporciona um nível de limpeza impossível de se obter fora do vácuo.

A limpeza por plasma utiliza gases de alimentação baratos e não tóxicos, como oxigênio, argônio ou hidrogênio, e os converte em íons de alta energia, radicais ou outras espécies reativas na fase gasosa. Dependendo do gás de alimentação utilizado, o plasma resultante pode ser oxidante, redutor ou pulverizante, removendo seletivamente diferentes tipos de contaminantes sem danificar o substrato subjacente. As espécies reativas e os gases residuais formados durante o processo de plasma têm vida curta e, normalmente, não precisam ser coletados ou tratados para atender aos padrões ambientais. O processo de limpeza por plasma pode tratar superfícies complexas de forma uniforme e remove apenas uma pequena quantidade de material do substrato, mantendo a dimensão original.

Nas indústrias eletrônica e de semicondutores, o silício, os wafers semicondutores e as áreas de contato metálicas devem estar totalmente livres de óleos e resíduos orgânicos antes das etapas subsequentes de corrosão, revestimento, colagem ou soldagem. Essa limpeza deve ser realizada em grandes lotes e sem geração de resíduos químicos para garantir a lucratividade. Além disso, não deve conter nenhum produto químico que possa danificar, contaminar ou prejudicar o substrato original. A limpeza por plasma a vácuo oferece uma solução perfeita para esse problema, utilizando apenas uma mistura suave de oxigênio e outros gases atmosféricos para oxidar os contaminantes orgânicos.

Dispositivos e implantes médicos exigem um alto grau de limpeza, livres de qualquer contaminação química ou microbiana que possa prejudicar o paciente. O plasma a vácuo oferece um método sem contato para limpar resíduos orgânicos e remover a oxidação sem danificar superfícies ópticas, cegar bordas afiadas ou gerar resíduos perigosos.

Para aplicações de ultra-alto vácuo, qualquer contaminação pode levar a tempos de bombeamento e aquecimento extremamente longos para atingir o nível de vácuo desejado. A limpeza por plasma pode remover componentes orgânicos voláteis e reduzir as camadas de óxido quimicamente adsorvidas em componentes que serão usados em ultra-alto vácuo antes de sua instalação, reduzindo os tempos de bombeamento e a necessidade de solução de problemas.

Alguns componentes fabricados possuem requisitos de tolerância dimensional rigorosos. O uso de métodos de limpeza abrasivos ou produtos químicos cáusticos pode remover uma quantidade indesejável de material do componente, causando encaixe incorreto ou falha de operação. Outros componentes fabricados possuem características extremamente finas, como fios ou wafers mais finos que um fio de cabelo humano, que são delicados demais para serem tocados mecanicamente ou imersos em um fluido de limpeza. Se a mistura de gases correta for escolhida, o plasma a vácuo pode remover seletivamente os contaminantes sem remover uma quantidade significativa de material, mantendo as dimensões originais inalteradas e preservando as características delicadas.

Alguns artefatos históricos são descobertos sujos ou já sujos devido a óleos e gorduras presentes no ar em ambientes cuidadosamente preservados. Por serem delicados e de valor inestimável, não podem ser limpos com segurança por métodos convencionais. A limpeza por plasma a vácuo, utilizando uma mistura de argônio e hidrogênio ou argônio e oxigênio, dependendo da composição do artefato, pode restaurá-los com segurança ao seu brilho original.

O modelo de limpeza e descontaminação por plasma do PlasmaVAC MAX é capaz de realizar todas essas aplicações e muito mais.