PlasmaVAC™ MAX 시리즈는 Ideal Vacuum의 최고급 진공 플라즈마 장비 제품군으로, 높은 성공을 거둔 ExploraVAC MAX TVAC 장비 제품군의 특수 버전입니다.

이 제품은 표면 활성화 플라즈마 처리 시스템인 PlasmaVAC MAX로 , 유리, 세라믹, 플라스틱과 같이 코팅이나 도장이 어려운 기판의 표면 처리에 이상적입니다. 이 시스템은 완전 밀폐형, 조명식, 24인치 정육면체 형태의 용접된 6061-T6 알루미늄 진공 챔버와 도어를 특징으로 하는 완전 통합형 턴키 방식의 저진공 시스템입니다. 챔버에는 자외선(UV) 및 마이크로파 차단 기능이 있는 뷰포트가 있으며, 최대 12개의 전극 랙을 수용할 수 있는 8.0 세제곱피트의 작업 용량을 제공합니다. Edwards nXR90i 건식 멀티루츠 펌프가 포함되어 있으며, 플라즈마는 매칭 네트워크가 내장된 완전 통합형 600W 고주파(RF) 발생기를 통해 생성됩니다. 챔버에는 여러 개의 질량 유량 제어기(MFC)와 층류 촉진 채널이 장착되어 있어 사용자가 선택한 가스 혼합물 또는 다단계 다중 가스 공정의 유량 제어가 가능합니다. 챔버 압력은 당사의 스마트 Ideal Vacuum CommandValves™로 제어되며, 압력과 유량을 독립적으로 제어할 수 있습니다. 작업자는 Torr, 기압, bar, 파스칼 또는 PSI 중에서 원하는 압력 단위를 선택할 수 있습니다. 통합형 정전 용량 압력계 컨트롤러는 챔버 진공 압력을 정밀하고 정확하게 측정합니다. 4개의 RTD(저항 온도 센서)가 포함되어 있습니다. 검출기)를 사용하면 플라즈마 작동 중 시료 온도를 측정할 수 있습니다.

이 시스템에는 모든 챔버 기능을 제어할 수 있는 AutoExplor™ 소프트웨어가 탑재된 터치스크린 디스플레이가 내장되어 있습니다. 또한, 시스템에는 내장된 Windows 컴퓨터와 터치스크린 모니터에서 실행되는 AutoExplor 소프트웨어의 기본 버전이 포함되어 있으며, 사용 기한은 없습니다. 이 사용하기 쉬운 소프트웨어는 PlasmaVAC MAX의 모든 기능을 제어하고 자동화할 수 있습니다. 더불어, 다양한 추가 기능을 제공하는 AutoExplor 프리미엄 버전의 1년 갱신 가능 라이선스도 함께 제공됩니다(자세한 내용은 아래 참조).

이 플라즈마 표면 활성화 방식 의 PlasmaVAC MAX TVAC 시스템은 최대 600W의 플라즈마 출력을 제공할 수 있습니다. 가스 종류에 따라 10~500 SCCM의 유량을 처리할 수 있으며, 최대 20mTorr의 압력을 생성할 수 있습니다. 무게는 1100lb이며, 208~240VAC 단상, 50/60Hz, 10A 전원을 필요로 합니다.

PlasmaVAC MAX 플라즈마 세척 및 오염 제거 시스템 구성:

• 600W RF 플라즈마 발생기 (정합 네트워크 포함)
• 완전 밀폐형 24인치 용접 알루미늄 진공 챔버
• 알루미늄 챔버 도어 (구성품: ...)
• 자외선 및 전자레인지 차단 기능이 있는 대형 관찰창
• 층류 가스 흐름 채널
• 빠른 잠금 잠금
• 뷰포트를 통한 LED 챔버 조명
• 15.5인치 LCD 터치스크린 디스플레이
• 가변 간격 전극 랙
• 독립적인 압력 및 유량 제어
• 에드워즈 nXR90i 건식 다근 진공 펌프
• 정전 용량식 압력계 + 대류 강화형 피라니 압력 센서
• 4개의 RTD 온도 센서

PlasmaVAC MAX 시리즈 진공 플라즈마 공정 및 시험 장비는 정밀한 환경을 조성하여 작업자가 챔버 내부 압력과 가스 조성을 완벽하게 제어할 수 있도록 합니다. 혁신적인 설계를 바탕으로 제품 연구 개발 단계에서 진공 환경에서 프로토타입 장치를 탐색하고 소량 배치 공정에서 정밀한 공정 제어가 가능하도록 설계되었습니다. 이 진공 플라즈마 장비는 사용자가 제품에 플라즈마 처리를 적용하면서 제품 분석 및 진단 데이터를 신속하게 수집할 수 있도록 실험을 맞춤 설정할 수 있도록 설계되었습니다. PlasmaVAC MAX 진공 플라즈마 공정 챔버는 다양한 시스템 옵션으로 구성 가능합니다.

PlasmaVAC MAX 시스템 구성 옵션:

• 자동화된 소프트웨어 제어
• 원격 제어 작동
• 1~4 질량 유량 제어기
• 추가 전극 선반, 선반 크기 및 기타 다양한 옵션

PlasmaVAC MAX 시스템은 완전히 밀폐된 24인치 정육면체 알루미늄 챔버와 관찰창 및 챔버 조명이 있는 문으로 구성됩니다.

PlasmaVAC MAX 시스템 캐비닛은 모든 챔버 기능을 제어하는 컴퓨터 제어식 터치스크린 인터페이스가 장착된 편리한 각도형 전면 패널을 갖추고 있습니다. 사용자가 선택한 옵션에 따라 PID 컨트롤러와 게이지가 설치됩니다. PLC는 효율적인 펌프 다운 사이클을 위한 펌프 및 밸브 시퀀싱과 장비 손상을 방지하는 안전 인터록을 포함한 시스템 기능을 관리합니다. 전면에서 접근 가능한 내장형 NEMA 규격 인클로저에는 시스템 작동에 필요한 전자 장치가 수납되어 있습니다.

캐비닛 뒷면에는 챔버 환기 및 펌프 배기용 격벽 관통 패널이 있습니다. 두 번째 관통 패널에는 MFC에 공급되는 최대 4개의 압축 가스 라인을 연결할 수 있는 포트가 있습니다. 디지털 관통 후면 패널에는 Microsoft Windows 10 또는 11이 설치된 워크스테이션이나 노트북에서 당사의 AutoExplor 소프트웨어를 사용하여 시스템을 원격으로 제어할 수 있는 여러 통신 포트가 있습니다.

AutoExplor 의 기본 버전(P1012102)은 (유효기간 없이 사용 가능하며) 시스템을 보호하는 동시에 사용자가 장치를 수동으로 제어할 수 있도록 합니다. 사용자는 압력, 유량, 플라즈마 출력 설정값, 램프 속도, 유지 시간 및 벤트 설정을 프로그래밍할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 실시간 그래픽 데이터 스트리밍을 제공하여 사용자가 시스템 동작을 시각화할 수 있도록 합니다. AutoExplor는 자체 예방 정비 일정을 관리하고 시스템 정비 시기가 되면 사용자에게 알림을 보냅니다. 이를 통해 시스템을 최상의 작동 성능으로 유지할 수 있습니다. 또한 장치 오류 발생 시 오류 메시지와 함께 구체적인 문제 해결 정보를 제공하여 문제를 신속하게 해결할 수 있도록 지원합니다.

캐비닛 뒷면에는 챔버 환기 및 펌프 배기용 격벽 관통 패널이 있습니다. 두 번째 관통 패널에는 MFC에 공급되는 최대 4개의 압축 가스 라인을 연결할 수 있는 포트가 있습니다. 디지털 관통 후면 패널에는 Microsoft Windows 10 또는 11이 설치된 워크스테이션이나 노트북에서 당사의 AutoExplor 소프트웨어를 사용하여 시스템을 원격으로 제어할 수 있는 여러 통신 포트가 있습니다.

AutoExplor 의 기본 버전(P1012102)은 (유효기간 없이 사용 가능하며) 시스템을 보호하는 동시에 사용자가 장치를 수동으로 제어할 수 있도록 합니다. 사용자는 압력, 유량, 플라즈마 출력 설정값, 램프 속도, 유지 시간 및 벤트 설정을 프로그래밍할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 실시간 그래픽 데이터 스트리밍을 제공하여 사용자가 시스템 동작을 시각화할 수 있도록 합니다. AutoExplor는 자체 예방 정비 일정을 관리하고 시스템 정비 시기가 되면 사용자에게 알림을 보냅니다. 이를 통해 시스템을 최상의 작동 성능으로 유지할 수 있습니다. 또한 장치 오류 발생 시 오류 메시지와 함께 구체적인 문제 해결 정보를 제공하여 문제를 신속하게 해결할 수 있도록 지원합니다.

AutoExplor 프리미엄 버전(P1012100)은 기본 소프트웨어 패키지(위 참조)의 모든 기능을 포함하며, 자동 레시피 제어, 데이터 로깅 및 로그 내보내기 기능을 추가합니다. 복잡한 테스트 레시피는 단계별 프로세스로 생성할 수 있으며, 각 단계에서 복잡한 프로세스의 모든 측면을 제어할 수 있습니다. 논리 연산자를 사용하여 각 레시피 단계에 대해 하나 이상의 종료 조건을 설정할 수 있습니다. 프리미엄 버전을 사용하면 레시피 데이터 로그 파일에서 테스트 보고서를 신속하게 생성할 수 있습니다. 로그를 검토하여 목표 프로세스 매개변수가 달성되었는지 확인할 수 있습니다. 또한 프리미엄 버전에는 여러 외부 네트워크 클라이언트를 관리할 수 있는 호스트로 소프트웨어를 사용할 수 있도록 하는 AutoExplor IP Client 와, 과학자 또는 프로그래머가 AutoExplor의 소프트웨어 인터페이스를 사용하지 않고도 PlasmaVac 장비를 기존 소프트웨어 테스트 제품군에 통합할 수 있도록 하는 AutoExplor API (애플리케이션 프로그래밍 인터페이스)가 포함되어 있습니다. 프리미엄 버전은 매년 갱신해야 하며, 갱신하지 않을 경우 기본 버전으로 전환됩니다.

PlasmaVAC MAX 시리즈 진공 플라즈마 챔버는 다양한 제품 공정 요구 사항에 완벽한 솔루션을 제공합니다.

샘플 응용 프로그램

• 플라즈마 세척, 오염 제거 및 멸균
• SEM 및 TEM, 시료 준비
• ALD, PVD 및 CVD 기판 준비
• 산화물 제거 및 표면 환원
• 연마 스퍼터링
• 플라스틱, 유리 및 세라믹의 표면 활성화
• 플라즈마 강화 화학 기상 증착
• 내마모성 및 소수성 코팅
• 반도체 건식 식각
• 미세 규모 및 나노 규모 표면 구조 변형

표면 활성화에 관하여:
진공 플라즈마 표면 활성화는 화학적 프라이머나 기계적 연마 없이 기판을 후속 코팅 공정에 적합하게 준비하는 방법입니다. 활성화 전에 기판을 세척하는 것이 좋으며, 이는 동일한 플라즈마 장비에서 단일 공정 단계로 수행할 수 있습니다. 플라스틱, 고분자 및 유리 표면 활성화에는 일반적으로 산소 플라즈마가 사용됩니다. 플라즈마에서 생성된 반응성 산소종은 표면과 반응하여 표면의 산소 함량과 표면 에너지를 증가시키지만, 전체적인 물성은 변화시키지 않습니다. 또한 산소 플라즈마는 미세한 수준에서 표면 거칠기를 증가시켜 접착에 사용할 수 있는 표면적을 넓히면서도 시각적 또는 치수적 변화를 최소화할 수 있습니다. 수소 플라즈마는 금속 활성화에 자주 사용되며, 산화막을 환원시켜 금속 본연의 상태를 회복시킵니다.

기능성 코팅은 성장하는 시장 분야입니다. 코팅은 기존의 강하고 저렴하며 제조가 용이한 소재 표면에 기능성 층을 추가하여 내구성, 화학적 부식 저항성, 자외선 저항성, 정전기 방지, 반사율 및 위생성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 코팅은 색상, 광택 및 질감을 더하여 밋밋한 소재의 외관을 개선할 수 있습니다. 그러나 플라스틱, 유리, 세라믹과 같은 일부 소재는 목재, 콘크리트, 금속과 같은 소재에 비해 코팅이 잘 되지 않습니다. 이러한 접착력 차이는 화학적 요인과 표면 거칠기의 차이에서 비롯됩니다.

코팅이 어려운 부품의 프라이밍 작업에는 세척, 표면 거칠기 증가를 위한 수동 샌딩, 표면 활성화를 위한 화학 처리, 그리고 원하는 효과를 얻기 위한 다층 코팅 도포 등이 포함될 수 있습니다. 이러한 과정은 비용이 많이 들고 시간이 오래 걸리며, 상당한 양의 폐기물을 발생시킵니다. 진공 플라즈마 표면 활성화 기술은 부품 치수를 크게 변경하거나 액체 또는 고체 폐기물을 발생시키지 않고도 단일 공정으로 세척, 미세 텍스처링, 그리고 기판 표면의 화학적 변형을 수행할 수 있습니다. 또한, 진공 플라즈마 표면 활성화 기술은 PTFE와 같은 비점착성 소재의 코팅도 가능하게 합니다.

광학 코팅은 광학 소자를 반사 방지, 초고반사 또는 파장 선택성으로 만들 수 있습니다. 또한 유리 표면에 긁힘 방지, 소수성 또는 소유성 특성을 부여하여 수명을 연장하고 오염을 방지할 수 있습니다. 이러한 코팅은 일반적으로 가정 및 차량 창문에 자외선과 적외선을 차단하여 실내 가구의 열 발생 및 손상을 방지하고, 안경에 청색광을 차단하고 긁힘을 방지하며, 카메라 렌즈에 반사 및 눈부심을 줄이는 데 사용됩니다. 과학 및 산업용 레이저, 램프, 광학 센서에도 사용됩니다. 광학 코팅은 기판의 청결도에 매우 민감한데, 작은 균열, 불순물 또는 먼지 한 톨이라도 눈에 띄는 광학적 결함을 유발할 수 있기 때문입니다. 유리, 용융 실리카, 아크릴, 폴리카보네이트를 포함한 대부분의 광학 기판은 비교적 불활성이며 대부분의 코팅 재료와의 접착력이 약합니다. 아르곤-산소 혼합 가스를 이용한 플라즈마 세척 후 플라즈마 표면 활성화 처리를 통해 불순물을 제거하고 코팅 접착력을 향상시키며 박리를 방지할 수 있으며, 광학 표면에 김서림이나 주름을 발생시키지 않습니다.

자동차 및 항공우주 산업에서 많은 부품은 경량 플라스틱, 복합재, 알루미늄 또는 티타늄 합금으로 만들어지지만, 미관과 내구성을 향상시키기 위해 코팅이 필요합니다. 플라스틱, 복합재 및 수지 부품은 화학적으로 플라스틱을 구성하는 탄화수소 사슬의 비극성 때문에 오래 지속되는 코팅을 적용하기가 매우 어렵습니다. 산소 또는 물 플라즈마를 이용한 표면 활성화는 폴리머 표면에 산화물 및 하이드록시기를 도입하여 재료의 전체적인 물성을 변화시키지 않으면서 접착력을 훨씬 높일 수 있습니다. 알루미늄과 티타늄은 공기에 노출되면 산화막을 형성합니다. 이러한 산화막은 표면을 부동태화시키고 많은 재료와의 접착력을 저해합니다. 수소 플라즈마 혼합물을 이용한 진공 플라즈마 표면 활성화는 이러한 산화막을 환원시켜 반응성이 더 높은 원래의 금속 상태로 되돌릴 수 있습니다.

의료용 도구, 기기 및 임플란트는 고유한 코팅 요구 사항을 가지고 있습니다. 의료용 도구와 기기는 세균 번식을 억제하는 표면 처리가 필요할 수 있습니다. 진공 플라즈마 표면 활성화(VPAS)는 단일 공정으로 도구 표면을 세척, 살균 및 활성화할 수 있습니다. 의료용 임플란트와 콘택트렌즈는 용도에 맞는 매우 특정한 특성을 지닌 생체 적합성 재료로 만들어져야 합니다. 최상의 편안함을 위해 이러한 기기는 인체의 자연 체액에 잘 젖는 친수성 표면을 가져야 합니다. 진공 플라즈마 표면 활성화는 플라스틱 및 금속 표면의 산소 함량을 증가시켜 표면 에너지와 친수성을 향상시킬 수 있습니다.

기능성 섬유는 방수, 흡습성, 항균성 또는 선명한 색상과 같은 특성을 가져야 할 수 있습니다. 많은 합성 섬유는 코팅 및 염색이 잘 되지 않고 본래 흡습성이 떨어지는 불활성 플라스틱으로 만들어집니다. 진공 플라즈마 표면 활성화 기술은 섬유 표면을 활성화하여 코팅 지속 시간을 늘리고 색상 견뢰도를 향상시킵니다.

PlasmaVAC MAX 의 표면 활성화 모델은 이러한 모든 응용 분야 및 그 이상의 분야에서 플라즈마 세척이 가능합니다.