Edwards STP-1003 5축 자기 베어링 터보 분자 펌프, ISO200F 입구, KF40 입구 YT390Z001

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Edwards STP-1003 5축 자기 베어링 터보 분자 펌프. 흡입구 플랜지 ISO200F 배출구 포트 KF40, 수냉식 키트 없음, 원격 인터페이스 기본 설정 I/O 원격. 부품 번호 YT390Z001

STP 시리즈 펌프는 자기 부상 터보 분자 펌프 시리즈입니다.

다음을 특징으로 합니다:

• 오일 프리
• 낮은 진동
• 높은 신뢰성

STP 펌프는 회전익과 고정익이 축방향으로 교대로 배열되도록 구성된다. 로터의 고속 회전에 의해 가스 분자가 흡입구에서 배출구로 펌핑됩니다. 로터 블레이드는 기계적 접촉 없이 자기 베어링에 의해 지지됩니다. 따라서 STP 펌프는 볼 베어링을 사용하는 기존 터보분자 펌프와 달리 윤활유가 필요하지 않습니다. 자기 베어링은 5쌍의 활성 자기 베어링으로 구성됩니다. 로터는 방사형 센서와 방사형 전자석으로 구성된 4쌍의 방사형 방향 활성 자기 베어링에 의해 방사형 방향으로 지지됩니다. 한 쌍의 축 방향 능동 자기 베어링은 축 방향으로 회전자를 지지하는 축 센서와 축 전자석으로 구성됩니다. 로터가 기계적 접촉 없이 지지되기 때문에 낮은 진동에서도 회전이 가능합니다. 마찰이 없기 때문에 자기 베어링에서 발생하는 열이 적습니다.

따라서 STP 펌프에는 냉각이 필요하지 않습니다. 그러나 STP 펌프는 베이킹 및 가스 펌핑 중에 물 또는 공기 냉각이 필요합니다. 자기베어링의 파손을 고려하여 고체윤활 코팅된 터치다운 베어링을 장착하였습니다. 정격 작동 중에는 로터와 접촉하지 않습니다. 방사형 센서, 축 센서, 회전 센서 및 온도 센서는 항상 자기 베어링과 로터를 모니터링합니다. 이상/오류가 발생하면 로터가 정지합니다. 이 펌프의 모든 부속품은 이 웹사이트에서 구입하거나 자세한 내용을 알아보려면 505-872-0037로 전화하세요. 전체 사양을 보려면 아래 그래픽을 참조하거나 왼쪽 다운로드에서 STP manual.pdf를 다운로드하세요.

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Edwards STP 603-1003 시리즈 터보 분자 펌프

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Edwards STP 603-1003 시리즈 터보 분자 펌프(사양 및 부품)

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