Agilent IDP-15 밀폐형 건식 스크롤 진공 펌프, 115-230VAC, 일체형 격리 밸브 포함. PN: X3815-64010 Agilent Varian IDP-15 건식 스크롤 진공 펌프는 50dBA 미만의 매우 조용하고 낮은 진동 작동을 위해 설계되었으며, 60Hz에서 9.4cfm(15.4m3/h)의 최고 펌핑 속도를 제공하고 10mTorr의 최종 압력을 생성합니다. 새로운 Agilent IDP-15 건식 스크롤 펌프는 밀폐 밀봉되어 희가스 및 헬륨 3He 재순환 응용 분야에 적합합니다. 모터와 베어링으로부터 완전히 분리된 진공 공간을 갖춘 밀폐형 설계는 펌프를 통해 깨끗한 가스 경로를 제공하여 오일이나 그리스 오염의 위험을 제거합니다. IDP-15의 이러한 주요 설계 요소는 모터와 베어링이 대기압에서 작동할 수 있도록 하여 응용 분야의 진공 공정 가스나 수증기에 노출되지 않도록 합니다. Agilent IDP-15는 50/60Hz에서 100-120V 또는 200-230 VAC 사이의 작동 전압 범위에 대한 글로벌 단상 모터를 지원하며 고전압 사용과 저전압 사용 간에 전환하기 위해 쉽게 접근할 수 있는 간단한 스위치를 통합합니다.
이 IDP-15 모델(Agilent Technologies 부품 번호 X3815-64010)에는 통합 흡입구 차단 밸브가 포함되어 있습니다. 차단 밸브는 모듈 내부에 설치되며 펌프 흡입구에 높이를 추가하지 않습니다. IDP-15의 전원이 꺼졌을 때 스크롤 펌프 흡입구를 통해 공기가 역방향으로 이동하는 것을 방지합니다. 이 차단 밸브는 시스템 전원 손실로 인해 고객의 챔버나 장비가 갑자기 환기되는 것을 방지합니다. 차단 밸브 메커니즘에는 흡입 밸브를 정상적으로 닫혀 있도록 유지하는 스프링이 포함되어 있습니다. 펌프의 낮은 압력은 스프링을 압축하고 흡입구 차단 밸브를 열어두는 데 사용됩니다. 전력 손실 시 솔레노이드 밸브가 열리고 진공 펌프를 배출하여 흡입구 차단 밸브가 닫히며 닫히는 시간은 일반적으로 20밀리초입니다. 전원이 복구되면 솔레노이드 밸브가 닫히고 진공 펌프 내부가 진공화되기 시작하며 약 10초 후에 흡입 차단 밸브가 다시 열립니다.
터보 분자 펌프와 같은 고진공 펌프는 건식 배압 펌프 기술과 함께 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 스크롤 기술을 기반으로 한 펌프는 터보 분자 고진공 펌프를 지원하기 위해 선택되는 건식 펌프 기술이 되었습니다. Agilent Varian IDP-15 스크롤 기술이 깨끗하고 예측 가능한 성능, 낮은 진동 및 소음, 긴 서비스 수명을 포함하여 탁월한 건식 펌프 선택이 되는 데는 여러 가지 요소가 있습니다.
최신 Agilent IDP-15 스크롤 기술은 원활한 궤도 작동을 기반으로 하며, 가스 압축 및 배출의 진공 펌프 주기는 최소한의 맥동과 매우 낮은 진동으로 발생합니다. 응용 분야에 따라 진동은 일부 부정적인 영향을 미칠 수 있으며 진동 절연 장치와 같은 추가 구성 요소를 사용해야 할 수도 있습니다. 새로운 Agilent IDP-15는 진동이 영향을 미치는 다양한 응용 분야에서 선택되는 건식 펌프입니다.
현재 스크롤 기술과 팁 씰 설계는 낮은 기본 압력을 제공하고 서비스 수명 동안 기본 압력의 점진적인 증가를 제공하는 요소입니다. 이러한 기본 압력의 점진적인 증가를 통해 진공 상태가 허용되지 않게 되기 전에 유지 관리를 수행할 수 있으며 예기치 않은 가동 중지 시간이 단축됩니다. Agilent IDP-15와 같은 일반적인 스크롤 펌프는 10mTorr의 기본 압력을 달성합니다.
이러한 Agilent IDP-15 건식 스크롤 펌프는 중첩된 스크롤 중 하나가 다른 스크롤 주위를 선회하여 포집된 가스의 이동 영역을 생성하는 간단한 이중 스크롤 메커니즘을 사용하여 진공을 생성합니다. 가스는 외부 둘레에 있는 스크롤 세트로 들어가고 배기되는 허브 중심을 향해 이동 및 압축됩니다. 복잡하지 않은 이중 스크롤 설계는 낮은 소음 및 진동 수준, 간단하고 빈번하지 않은 유지 관리 요구 사항, 치명적인 오류 모드 제거 등 많은 이점을 제공합니다.
새로운 Agilent Technologies IDP-15에는 팁 씰 수명과 서비스 간격을 연장하기 위해 향상된 솔리드 팁 씰이 포함되어 있습니다. 견고한 팁 씰 소재는 응축성 증기 응용 분야에 적합합니다. IDP-15의 팁 씰 교체는 이전보다 더 쉽습니다. 필요한 것은 간단한 도구, 일자 드라이버, 4mm 및 5mm Allen 렌치, 이소프로필 알코올, 보풀 없는 천, 팁 밀봉 키트 부품 번호 X3815-67000입니다. 팁 씰 교체 절차는 사용 설명서의 24~30페이지를 참조하십시오. 새로운 Agilent IDP-15 밀폐형 건식 스크롤 진공 펌프에 대한 PDF 형식의 사용 설명서와 브로셔는 아래의 다운로드 섹션에서 다운로드할 수 있습니다.
