Edwards STP-1003 5 轴磁力轴承涡轮分子泵。入口法兰 ISO200F 出口 KF40,不带水冷套件,远程接口默认设置 I/O 远程。零件号 YT390Z001 STP系列泵是磁悬浮涡轮分子泵系列
具有以下特点:
• 不含油
• 低振动
• 高可靠性
STP 泵的转子叶片和定子叶片沿轴向交替排列。转子的高速旋转将气体分子从入口泵送到出口。转子叶片由磁力轴承支撑,无机械接触。因此,与使用滚珠轴承的传统涡轮分子泵不同,STP 泵不需要润滑油。磁力轴承由5对主动磁力轴承组成。转子径向由4对径向主动磁力轴承支撑,轴承由径向传感器和径向电磁铁组成。一对轴向主动磁力轴承由轴向传感器和轴向电磁铁组成,对转子进行轴向支撑。由于转子是无机械接触支撑的,因此可以低振动旋转。由于没有摩擦,磁力轴承产生的热量较少。
因此,STP 泵不需要冷却。然而,STP泵在烘烤和抽气过程中需要水或空气冷却。考虑到磁力轴承的破损,安装了涂有固体润滑的接触轴承。在额定运行期间它们不与转子接触。径向传感器、轴向传感器、旋转传感器和温度传感器始终监控磁力轴承和转子。如果发生异常/错误,转子将停止。该泵的所有配件均可在本网站上获取,或致电 505-872-0037 了解详细信息。有关完整规格,请参见下图或在左侧下载中下载 STP 手册.pdf。