A série PlasmaVAC™ MAX é a principal linha de instrumentos de plasma a vácuo da Ideal Vacuum - uma versão especializada da nossa família de instrumentos TVAC ExploraVAC MAX, que obteve grande sucesso.

Este é o nosso sistema de tratamento por plasma a vácuo PlasmaVAC MAX para ativação de superfície, ideal para preparar substratos de difícil revestimento, como vidro, cerâmica e plásticos, para aplicação de revestimento ou pintura. Trata-se de um sistema de vácuo primário totalmente integrado e pronto para uso, composto por uma câmara de vácuo cúbica de 24 polegadas (61 cm), totalmente fechada, iluminada e soldada em alumínio 6061-T6, com porta e visor protegido contra raios ultravioleta (UV) e micro-ondas, e um volume útil de 8,0 pés cúbicos (0,226 m³) com capacidade para até 12 suportes de eletrodos. Este sistema inclui uma bomba de vácuo multi-roots a seco Edwards nXR90i. O plasma é gerado por um gerador de radiofrequência (RF) de 600 W totalmente integrado com rede de adaptação de impedância. A câmara está equipada com múltiplos controladores de fluxo de massa (MFCs) e canais de promoção de fluxo laminar para permitir o controle do fluxo de misturas gasosas selecionáveis pelo usuário ou processos multigás em múltiplas etapas. A pressão da câmara é controlada pelas nossas válvulas inteligentes Ideal Vacuum CommandValves™, permitindo o controle independente de pressão e fluxo. O operador pode selecionar as unidades de pressão preferidas em Torr, atmosferas, bar, pascals ou PSI. Um controlador de manômetro capacitivo integrado fornece medições precisas e exatas da pressão de vácuo na câmara. Quatro RTDs (detectores de temperatura resistivos) Permite a medição da temperatura da amostra durante a operação do plasma.

O sistema inclui um visor touchscreen integrado com o software AutoExplor™ , capaz de controlar todas as funções da câmara. Este sistema inclui uma versão básica do software AutoExplor , com licença vitalícia, executada por um computador Windows e monitor touchscreen integrados. Este software de fácil utilização permite controlar e automatizar todas as funções do PlasmaVAC MAX . Também está incluída uma licença anual renovável da versão premium do AutoExplor , com diversas funcionalidades adicionais (ver abaixo).

Este sistema de ativação de superfície por plasma PlasmaVAC MAX TVAC pode fornecer até 600 W de potência de plasma. Ele pode atingir taxas de fluxo de 10 a 500 SCCM por gás e alcançar uma pressão final de 20 mTorr. Pesa 1100 lb (aproximadamente 500 kg) e requer alimentação monofásica de 208-240 VCA, 50/60 Hz, a 10 A.

Configuração do sistema de limpeza e descontaminação por plasma PlasmaVAC MAX:

• Gerador de plasma RF de 600 W com rede de adaptação de impedância
• Câmara de vácuo de alumínio soldado de 24 polegadas totalmente fechada
• Porta de alumínio para câmara com:
• Ampla janela de visualização com proteção contra raios UV e micro-ondas
• Canais de fluxo laminar de gás
• Fecho de encaixe rápido
• Iluminação LED da câmara através da janela de visualização
• Tela sensível ao toque LCD de 15,5"
• Suportes de eletrodos com espaçamento variável
• Controle independente de pressão e fluxo
• Bomba de vácuo Edwards nXR90i Dry Multi-Roots
• Manômetro capacitivo + sensores de pressão Pirani com convecção aprimorada
• Quatro sensores de temperatura RTD

A série PlasmaVAC MAX de instrumentos de processamento e teste de plasma a vácuo cria ambientes precisos, proporcionando ao operador controle total sobre a pressão interna da câmara e a composição do gás. Projetados com foco na inovação, permitem a exploração de protótipos em vácuo durante a fase de pesquisa e desenvolvimento de produtos, além de um controle preciso do processo em pequenos lotes. Esses instrumentos de plasma a vácuo são projetados para permitir que os usuários adaptem rapidamente os experimentos, coletando dados de análise e diagnóstico do produto enquanto este é submetido ao tratamento com plasma. As câmaras de processamento de plasma a vácuo PlasmaVAC MAX são configuráveis com diversas opções de sistema.

Opções de configuração do sistema PlasmaVAC MAX:

• Controle automatizado de software
• Operação por controle remoto
• Controladores de fluxo de massa de um para quatro
• Prateleiras adicionais para eletrodos, tamanhos de prateleiras e muito mais.

Os sistemas PlasmaVAC MAX são configurados com câmaras de alumínio totalmente fechadas de 24 polegadas cúbicas, com portas, visores e iluminação interna.

O gabinete do sistema PlasmaVAC MAX possui um painel frontal convenientemente angulado com interface touchscreen controlada por computador, que controla todas as funções da câmara. Controladores PID e medidores são instalados conforme necessário para as opções selecionadas pelo usuário. Um CLP gerencia as funções do sistema, incluindo o sequenciamento de bombas e válvulas para ciclos de bombeamento eficientes e intertravamentos de segurança para evitar danos ao equipamento. O gabinete frontal integrado, no formato NEMA, abriga os componentes eletrônicos necessários para a operação do sistema.

A parte traseira do gabinete possui um painel de passagem para ventilação da câmara e exaustão da bomba. Uma segunda passagem possui conexões para até quatro linhas de gás comprimido que alimentam as MFCs. Um painel traseiro digital possui múltiplas portas de comunicação para operar o sistema remotamente a partir de uma estação de trabalho ou laptop com Microsoft Windows 10 ou 11 e nosso software AutoExplor .

A versão básica (sem prazo de validade) do AutoExplor (P1012102) permite ao usuário controlar manualmente os dispositivos enquanto protege o sistema. O usuário pode programar os pontos de ajuste de pressão, fluxo e potência do plasma, taxas de rampa, tempos de estabilização e ventilação. O software fornece dados gráficos em tempo real para que o usuário possa visualizar o comportamento do sistema. O AutoExplor mantém um cronograma interno de manutenção preventiva e notifica o usuário quando a manutenção do sistema é necessária. Isso ajuda a manter o sistema com desempenho operacional máximo. Ele também fornece mensagens de falha e erro, juntamente com informações específicas para solução de problemas em caso de falha de um dispositivo, para que o problema possa ser corrigido rapidamente.

A parte traseira do gabinete possui um painel de passagem para ventilação da câmara e exaustão da bomba. Uma segunda passagem possui conexões para até quatro linhas de gás comprimido que alimentam as MFCs. Um painel traseiro digital possui múltiplas portas de comunicação para operar o sistema remotamente a partir de uma estação de trabalho ou laptop com Microsoft Windows 10 ou 11 e nosso software AutoExplor .

A versão básica (sem prazo de validade) do AutoExplor (P1012102) permite ao usuário controlar manualmente os dispositivos enquanto protege o sistema. O usuário pode programar os pontos de ajuste de pressão, fluxo e potência do plasma, taxas de rampa, tempos de estabilização e ventilação. O software fornece dados gráficos em tempo real para que o usuário possa visualizar o comportamento do sistema. O AutoExplor mantém um cronograma interno de manutenção preventiva e notifica o usuário quando a manutenção do sistema é necessária. Isso ajuda a manter o sistema com desempenho operacional máximo. Ele também fornece mensagens de falha e erro, juntamente com informações específicas para solução de problemas em caso de falha de um dispositivo, para que o problema possa ser corrigido rapidamente.

A versão premium do AutoExplor (P1012100) inclui todos os recursos do pacote de software básico (acima) e adiciona controle automatizado de receitas, registro de dados e recursos de exportação de logs. Receitas de teste complexas podem ser criadas como um processo passo a passo, onde cada etapa pode controlar qualquer aspecto de um processo complexo. Uma ou várias condições finais para cada etapa da receita podem ser definidas usando operadores lógicos. A versão premium permite que o usuário gere rapidamente relatórios de teste a partir de arquivos de log de dados de receitas. Os logs podem ser revisados para garantir que os parâmetros de processo desejados sejam atingidos. A versão premium também inclui o AutoExplor IP Client , que permite que o software seja usado como um host capaz de gerenciar vários clientes de rede externos, e a API (interface de programação de aplicativos) do AutoExplor , que permite que um cientista ou programador integre um instrumento PlasmaVac em seu conjunto de softwares de teste existente sem usar a interface de software do AutoExplor . A versão premium deve ser renovada anualmente; caso contrário, retorna à versão básica.

A série PlasmaVAC MAX de câmaras de plasma a vácuo é a solução perfeita para diversas necessidades de processos de produção.

Exemplos de Aplicações

• Limpeza, descontaminação e esterilização por plasma
• SEM e TEM, Preparação de Amostras
• Preparação de substratos por ALD, PVD e CVD
• Remoção de óxidos e redução de superfície
• Pulverização abrasiva
• Ativação superficial de plásticos, vidros e cerâmicas
• Deposição Química de Vapor Aprimorada por Plasma
• Revestimentos resistentes à abrasão e hidrofóbicos
• Gravação a seco de semicondutores
• Modificação da estrutura da superfície em microescala e nanoescala

Sobre a ativação de superfície:
A ativação de superfície por plasma a vácuo é um método de preparação de substratos para futuras etapas de revestimento sem o uso de primers químicos ou abrasão mecânica. É uma boa prática limpar os substratos antes de ativar suas superfícies, o que pode ser feito em uma única etapa do processo, no mesmo instrumento de plasma. Para ativar superfícies de plástico, polímero e vidro, o plasma de oxigênio é normalmente utilizado. As espécies reativas de oxigênio geradas no plasma reagem com a superfície, aumentando seu teor de oxigênio e energia superficial sem alterar as propriedades do material. O plasma de oxigênio também pode aumentar a rugosidade da superfície em microescala, ampliando a área superficial disponível para adesão, sem alterações visuais ou dimensionais significativas. O plasma de hidrogênio é frequentemente utilizado para ativar metais, reduzindo as camadas de óxido passivantes de volta ao metal original.

Revestimentos de alto desempenho representam um setor de mercado em expansão. Eles podem melhorar a durabilidade, a resistência à corrosão química, a resistência aos raios UV, a proteção contra estática, a reflexão e a higiene, adicionando uma camada funcional à superfície de um material mais resistente, menos dispendioso e mais fácil de fabricar. Os revestimentos também podem aprimorar o apelo visual de uma peça, adicionando cor, brilho e textura a um material que, de outra forma, seria insosso. Alguns materiais, como plásticos, vidro e cerâmica, não aceitam revestimentos tão facilmente quanto outros, como madeira, concreto e metal. A diferença na adesão deve-se a diferenças tanto em fatores químicos quanto na rugosidade da superfície.

A preparação de peças difíceis de revestir pode incluir limpeza, lixamento manual para aumentar a rugosidade da superfície, tratamento químico para ativar a superfície e aplicação de múltiplas camadas para atingir o efeito desejado. Isso pode ser caro, demorado e gerar grandes quantidades de resíduos. A ativação de superfície por plasma a vácuo pode incluir limpeza, microtexturização e modificação química das superfícies do substrato em uma única etapa, sem alterar significativamente as dimensões da peça ou gerar resíduos líquidos ou sólidos. A ativação de superfície por plasma a vácuo permite até mesmo o revestimento de materiais antiaderentes como o PTFE.

Os revestimentos ópticos permitem que uma lente seja antirreflexiva, extremamente reflexiva ou seletiva em relação ao comprimento de onda. Eles podem conferir propriedades antirrisco, hidrofóbicas ou oleofóbicas ao vidro para melhorar sua durabilidade e evitar incrustações. São comumente usados em janelas de residências e veículos para bloquear raios UV e infravermelhos, evitando que aqueçam e danifiquem o mobiliário interno; em óculos para bloquear a luz azul e evitar arranhões; e em lentes de câmeras para reduzir reflexos e brilho. Também são utilizados em lasers científicos e industriais, lâmpadas e sensores ópticos. Os revestimentos ópticos são extremamente sensíveis à limpeza do substrato, pois mesmo uma pequena fissura, impureza ou partícula de poeira pode criar um defeito óptico perceptível. A maioria dos substratos ópticos, incluindo vidro, sílica fundida, acrílico e policarbonato, é relativamente inerte e resiste à adesão da maioria dos materiais de revestimento. A limpeza por plasma com uma mistura de argônio e oxigênio, seguida de ativação da superfície por plasma, pode remover impurezas, melhorar a adesão do revestimento e evitar a delaminação sem embaçar a superfície óptica ou introduzir ondulações.

Nas indústrias automotiva e aeroespacial, muitas peças são fabricadas com plástico leve, compósitos, alumínio ou liga de titânio, mas requerem revestimentos para melhorar a estética e a durabilidade. Peças de plástico, compósitos e resina são notoriamente difíceis de revestir com materiais de longa duração devido à natureza apolar das cadeias de hidrocarbonetos que compõem o plástico em nível químico. A ativação da superfície por plasma de oxigênio ou água pode funcionalizar a superfície de polímeros com grupos óxido e hidroxila que são muito mais adesivos do que a superfície original, sem alterar as propriedades do material em sua forma original. O alumínio e o titânio formam camadas de óxido quando expostos ao ar. Essas camadas de óxido passivam a superfície e resistem à adesão a muitos materiais. A ativação da superfície por plasma a vácuo, utilizando uma mistura de plasma de hidrogênio, pode reduzir essa camada de óxido ao metal original, que é mais reativo.

Instrumentos, dispositivos e implantes médicos possuem necessidades específicas de revestimento. Esses instrumentos e dispositivos podem precisar de uma superfície resistente à colonização bacteriana. A ativação de superfície por plasma a vácuo permite limpar, esterilizar e ativar as superfícies em um único processo. Implantes médicos e lentes de contato devem ser fabricados com materiais biocompatíveis e com propriedades muito específicas para sua aplicação. Para maior conforto, esses dispositivos devem ter superfícies hidrofílicas que se umedeçam com os fluidos naturais do corpo. A ativação de superfície por plasma a vácuo aumenta o teor de oxigênio em superfícies de plástico e metal, elevando sua energia superficial e hidrofilicidade.

Os tecidos de alto desempenho podem precisar ser resistentes à água, ter propriedades de absorção de umidade, ser antimicrobianos ou apresentar cores vibrantes. Muitas fibras têxteis sintéticas são feitas de plásticos inertes que resistem a revestimentos e corantes e não possuem propriedades de absorção de umidade naturais. A ativação da superfície por plasma a vácuo permite a ativação das fibras do tecido, resultando em revestimentos mais duradouros e maior solidez da cor.

O modelo de ativação de superfície do PlasmaVAC MAX é capaz de realizar a limpeza por plasma em todas essas aplicações e muito mais.