A série PlasmaVAC™ MAX é a principal linha de instrumentos de plasma a vácuo da Ideal Vacuum - uma versão especializada da nossa família de instrumentos TVAC ExploraVAC MAX, que obteve grande sucesso.

Este é o nosso sistema de tratamento por plasma a vácuo PlasmaVAC MAX , com deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD), ideal para a aplicação de revestimentos finos e conformes de polímeros orgânicos e de silicone, carbono tipo diamante e muito mais. Trata-se de um sistema de vácuo primário totalmente integrado e pronto para uso, composto por uma câmara de vácuo cúbica de 24 polegadas (61 cm), totalmente fechada, iluminada e soldada em alumínio 6061-T6, com porta e visor protegido contra raios ultravioleta (UV) e micro-ondas, e um volume útil de 8,0 pés cúbicos (226 litros) com capacidade para até 12 suportes de eletrodos. Este sistema inclui uma bomba de vácuo multi-roots a seco Edwards nXR90i. O plasma é gerado por um gerador de radiofrequência (RF) de 600 W totalmente integrado com rede de adaptação de impedância. A câmara está equipada com múltiplos controladores de fluxo de massa (MFCs) e canais de promoção de fluxo laminar para permitir o controle do fluxo de misturas gasosas selecionáveis pelo usuário ou processos multigás em múltiplas etapas. A pressão da câmara é controlada pelas nossas válvulas inteligentes Ideal Vacuum CommandValves™, permitindo o controle independente de pressão e fluxo. O operador pode selecionar as unidades de pressão preferidas em torr, atmosferas, bar, pascals ou PSI. Um controlador de manômetro capacitivo integrado fornece medições precisas e exatas da pressão de vácuo na câmara. Quatro sensores de temperatura RTD permitem a medição da temperatura da amostra durante a geração de plasma. operação.

O sistema inclui um visor touchscreen integrado com o software AutoExplor™ , capaz de controlar todas as funções da câmara. Este sistema inclui uma versão básica do software AutoExplor , com licença vitalícia, executada por um computador Windows e monitor touchscreen integrados. Este software de fácil utilização permite controlar e automatizar todas as funções do PlasmaVAC MAX . Também está incluída uma licença anual renovável da versão premium do AutoExplor , com diversas funcionalidades adicionais (ver abaixo).

Este sistema de deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD) PlasmaVAC MAX TVAC pode fornecer até 600 W de potência de plasma. Ele pode atingir taxas de fluxo de 10 a 500 SCCM por gás e alcançar uma pressão final de 20 mTorr. Pesa 500 kg e requer alimentação monofásica de 208-240 VCA, 50/60 Hz, a 10 A.

Sistema de Deposição Química de Vapor Aprimorado PlasmaVAC MAX:

• Gerador de plasma RF de 600 W com rede de adaptação de impedância
• Câmara de vácuo de alumínio soldado de 24 polegadas totalmente fechada
• Porta de alumínio para câmara com:
• Ampla janela de visualização com proteção contra raios UV e micro-ondas
• Canais de fluxo laminar de gás
• Fecho de encaixe rápido
• Iluminação LED da câmara através da janela de visualização
• Tela sensível ao toque LCD de 15,5"
• Suportes de eletrodos com espaçamento variável
• Controle independente de pressão e fluxo
• Bomba de vácuo Edwards nXR90i Dry Multi-Roots
• Manômetro capacitivo + sensores de pressão Pirani com convecção aprimorada
• Quatro sensores de temperatura RTD

A série PlasmaVAC MAX de instrumentos de processamento e teste de plasma a vácuo cria ambientes precisos, proporcionando ao operador controle total sobre a pressão interna da câmara e a composição do gás. Projetados com foco na inovação, permitem a exploração de protótipos em vácuo durante a fase de pesquisa e desenvolvimento de produtos, além de um controle preciso do processo em pequenos lotes. Esses instrumentos de plasma a vácuo são projetados para permitir que os usuários adaptem rapidamente os experimentos, coletando dados de análise e diagnóstico do produto enquanto este é submetido ao tratamento com plasma. As câmaras de processamento de plasma a vácuo PlasmaVAC MAX são configuráveis com diversas opções de sistema.

Opções de configuração do sistema PlasmaVAC MAX:

• Controle automatizado de software
• Operação por controle remoto
• Controladores de fluxo de massa de um para quatro
• Prateleiras adicionais para eletrodos, tamanhos de prateleiras e muito mais.

Os sistemas PlasmaVAC MAX são configurados com câmaras de alumínio totalmente fechadas de 24 polegadas cúbicas, com portas, visores e iluminação interna.

O gabinete do sistema PlasmaVAC MAX possui um painel frontal convenientemente angulado com interface touchscreen controlada por computador, que controla todas as funções da câmara. Controladores PID e medidores são instalados conforme necessário para as opções selecionadas pelo usuário. Um CLP gerencia as funções do sistema, incluindo o sequenciamento de bombas e válvulas para ciclos de bombeamento eficientes e intertravamentos de segurança para evitar danos ao equipamento. O gabinete frontal integrado, no formato NEMA, abriga os componentes eletrônicos necessários para a operação do sistema.

A parte traseira do gabinete possui um painel de passagem para ventilação da câmara e exaustão da bomba. Uma segunda passagem possui conexões para até quatro linhas de gás comprimido que alimentam as MFCs. Um painel traseiro digital possui múltiplas portas de comunicação para operar o sistema remotamente a partir de uma estação de trabalho ou laptop com Microsoft Windows 10 ou 11 e nosso software AutoExplor .

A versão básica (sem prazo de validade) do AutoExplor (P1012102) permite ao usuário controlar manualmente os dispositivos enquanto protege o sistema. O usuário pode programar os pontos de ajuste de pressão, fluxo e potência do plasma, taxas de rampa, tempos de estabilização e ventilação. O software fornece dados gráficos em tempo real para que o usuário possa visualizar o comportamento do sistema. O AutoExplor mantém um cronograma interno de manutenção preventiva e notifica o usuário quando a manutenção do sistema é necessária. Isso ajuda a manter o sistema com desempenho operacional máximo. Ele também fornece mensagens de falha e erro, juntamente com informações específicas para solução de problemas em caso de falha de um dispositivo, para que o problema possa ser corrigido rapidamente.

A versão premium do AutoExplor (P1012100) inclui todos os recursos do pacote de software básico (acima) e adiciona controle automatizado de receitas, registro de dados e recursos de exportação de logs. Receitas de teste complexas podem ser criadas como um processo passo a passo, onde cada etapa pode controlar o estado ligado/desligado, os pontos de ajuste e as taxas de variação de vários dispositivos. Uma ou várias condições finais para cada etapa da receita podem ser definidas usando operadores lógicos. A versão premium permite que o usuário gere rapidamente relatórios de teste a partir de arquivos de log de dados da receita. Os logs podem ser revisados para garantir que os parâmetros de processo desejados sejam atingidos. A versão premium também inclui o AutoExplor IP Client , que permite que o software seja usado como um host capaz de gerenciar vários clientes de rede externos, e a API (interface de programação de aplicativos) do AutoExplor , que permite que um cientista ou programador integre um instrumento PlasmaVac em seu conjunto de software de teste existente sem usar a interface de software do AutoExplor . A versão premium deve ser renovada anualmente; caso contrário, retorna à versão básica.

A série PlasmaVAC MAX de câmaras de plasma a vácuo é a solução perfeita para diversas necessidades de processos de produção.

Exemplos de Aplicações

• Limpeza, descontaminação e esterilização por plasma
• SEM e TEM, Preparação de Amostras
• Preparação de substratos por ALD, PVD e CVD
• Remoção de óxidos e redução de superfície
• Pulverização abrasiva
• Ativação superficial de plásticos, vidros e cerâmicas
• Deposição Química de Vapor Aprimorada por Plasma
• Revestimentos resistentes à abrasão e hidrofóbicos
• Gravação a seco de semicondutores
• Modificação da estrutura da superfície em microescala e nanoescala

Sobre a Deposição Química de Vapor Aprimorada por Plasma:
A deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD) é um método de revestimento que produz camadas finas e uniformes sem o uso de produtos químicos líquidos ou altas temperaturas. Os substratos geralmente são limpos e ativados superficialmente antes do revestimento. Um gás monomérico, tipicamente não reativo nas fases líquida e gasosa, é introduzido na câmara. O plasma converte o gás monomérico em uma forma ativa que polimeriza sobre a superfície do substrato. Misturas de monômeros podem ser usadas para criar polímeros mais complexos. Outros gases reativos também podem ser introduzidos para converter as camadas de polímero em outros materiais, como carbono tipo diamante (DLC), nitreto de silício ou dióxido de silício. Devido à ativação eletrônica dos gases precursores, a PECVD pode ser realizada com gases menos reativos e em temperaturas mais baixas do que os métodos convencionais de deposição química de vapor (CVD).

A deposição química em fase vapor assistida por plasma (PECVD) é amplamente utilizada nas indústrias de semicondutores, sistemas microeletromecânicos (MEMS) e fotovoltaica. Camadas de óxido de silício podem ser depositadas utilizando misturas de silano, ortossilicato de tetraetila, oxigênio e/ou óxido nitroso. O nitreto de silício pode ser depositado utilizando silano e amônia ou nitrogênio. A qualidade da camada pode ser melhorada com a adição de argônio, hélio ou nitrogênio como gás de arraste. Essas camadas podem atuar como isolantes ou passivantes, protegendo a superfície de MEMS ou semicondutores, ou como máscaras de gravação em superfícies padronizadas. Filmes depositados por PECVD também podem atuar como camadas antirreflexivas e de prevenção de envenenamento em fotorresistentes e células solares.

A deposição química em fase vapor assistida por plasma (PECVD) é utilizada para depositar camadas transparentes, resistentes ao desgaste e com baixo atrito de carbono tipo diamante (DLC) em diversos substratos e em vários setores industriais. O processo é realizado utilizando uma mistura gasosa de hidrocarbonetos, tipicamente metano, em uma atmosfera redutora para evitar a formação de grafite. O DLC é aplicado em implantes médicos e próteses articulares para aumentar sua durabilidade e reduzir o atrito, mantendo a biocompatibilidade. Nas indústrias automotiva e aeroespacial, o DLC também é utilizado para revestir peças, reduzindo o desgaste. Além disso, é usado para revestir as janelas de sensores ópticos infravermelhos e vermelhos, bem como leitores de código de barras, prevenindo arranhões e mantendo alta transparência.

A deposição química em fase vapor assistida por plasma (PECVD) é utilizada para depositar camadas super-hidrofóbicas conformes de polímeros semelhantes ao PTFE. Isso geralmente é feito utilizando um gás de alimentação de hidrocarboneto fluorado, como o hexafluoroetano, que é ativado pelo plasma, permitindo sua polimerização. Gases de alimentação organossilícios também são utilizados para produzir revestimentos hidrofóbicos ligeiramente mais duráveis. Revestimentos super-hidrofóbicos podem ser usados para proteger componentes eletrônicos delicados contra exposição acidental à água, criar tecidos resistentes à água que ainda permitem a respiração da pele e produzir vidros autolimpantes, como janelas, divisórias de chuveiro e óculos.

Os processos PECVD levam a um acúmulo lento do material depositado em todas as superfícies internas da câmara. Se as camadas ficarem muito espessas, podem se desprender e contaminar ou danificar as amostras que estão sendo revestidas. É uma boa prática limpar periodicamente a câmara com plasma enquanto ela estiver vazia. Para remover camadas contendo silício, utiliza-se um gás contendo flúor, como _NF₃ , _CF₄ ou _SF₆ , para gerar espécies de flúor que reagem com o silício e o removem. Para remover polímeros orgânicos, plasma à base de oxigênio, ar ou água geralmente é suficiente.

O modelo PECVD do PlasmaVAC MAX é capaz de realizar limpeza, ativação de superfície, PECVD e muito mais.