새로운 MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani 절대 압전 변환기, KF25, RS485, 디스플레이, 릴레이 없음, PN 910-21024
MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/절대 압전 진공 트랜스듀서는 광범위한 압력 측정 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었으며, NW25 ISO-KF 플랜지 피팅을 갖추고 있습니다. 결합된 출력은 기존 열전도도 게이지보다 훨씬 높은 정확도, 안정성, 반복성 및 빠른 응답 시간을 제공합니다. 910은 두 가지 압력 측정 기술을 결합하여 탁월한 성능과 기능을 제공합니다. 910은 열전도도 센서보다 향상된 정확도로 11~1500 Torr의 가스 독립 절대 압력 측정을 제공합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani의 센서 소자는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 제작되어 매우 작은 부피에서도 측정이 가능합니다. MicroPirani 기술 덕분에 910은 표준 Pirani 센서보다 20배 낮은 10-5 Torr까지의 압력을 판독할 수 있습니다. 센서 설계는 대류의 영향을 최소화하므로 정확도 저하 없이 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다.
Piezo는 절대 압력 센서로, 직접적인 압력 판독값을 제공하여 가스에 관계없이 측정할 수 있습니다. Piezo 센서는 1 Torr 미만에서 1500 Torr까지 측정합니다. 910은 RS232 디지털 통신 인터페이스를 통해 트랜스듀서 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공합니다. 910은 또한 외부 아날로그 장비와 연결하여 압력 판독 또는 제어를 수행할 수 있는 1VDC/decade의 아날로그 압력 출력을 제공합니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 910에는 3개의 기계식 릴레이가 있어 공정 제어(예: 연동 차단 밸브 및 진공 펌프)에 사용할 수 있습니다. 각 설정점은 Piezo 측정 또는 MicroPirani/Piezo 결합 절대 측정에 할당할 수 있습니다. 910의 컴팩트한 디자인은 진공 게이지가 차지하는 공간을 크게 줄입니다. 이는 특히 시스템 설계자에게 매력적이며 더욱 컴팩트한 진공 시스템을 구현할 수 있습니다. 참고: 전체 사양은 다운로드 옆의 .pdf 파일을 참조하십시오.