Pfeiffer HiPace 1200 터보 펌프(TC 1200 구동 장치 포함), Conflat CF 10.0인치 흡입 플랜지, 펌핑 속도 1300 l/s, 수냉식, 제품 번호: PM P06 002

DN200 Conflat CF 10.0인치 입구 플랜지가 장착된 Pfeiffer HiPace 1200 터보 분자 고진공 펌프는 펌핑 속도가 초당 1,300리터(l/s)이고 도달 압력은 3.5 x ^10-10 Torr입니다. 이 Pfeiffer HiPace 1200 펌프는 펌프 하단에 장착된 통합 TC 1200 구동 장치와 ISO KF-40 배기 포어라인 플랜지를 갖추고 있습니다. 펌프는 수직(상단 고진공 플랜지)에서 90°(수평)까지 장착할 수 있습니다. 최대 1,300W의 100 - 120/200 - 240 VAC 50/60V 입력 전원이 펌프에 전원을 공급하는 TC1200 구동 장치에 직접 공급됩니다. 필요한 AC 전원 케이블(별매)은 부품 번호 P1012627입니다. CF 10.0" 인렛과 TC 1200 드라이브 유닛이 장착된 이 HiPace 1200 터보 펌프는 수냉 키트와 함께 기본으로 제공되며 Pfeiffer 부품 번호는 PM P06 002입니다.

포함된 TC 1200 구동 장치는 펌프 아래에 장착된 온보드 컨트롤러이자 전원 공급 장치로, RS485 통신 인터페이스, 원격 작동을 위한 D-sub 커넥터, 그리고 두 개의 액세서리 포트(솔레노이드 벤트 밸브 또는 기타 장비 제어용)를 포함합니다. OEM(Original Equipment Manufacturer) 애플리케이션 및 시스템 통합의 경우, 펌프를 시동하는 데 필요한 것은 AC 입력 전원 케이블과 시동/정지 로직뿐입니다. 실험실에서 사용하는 경우 원격 사용자 인터페이스 역할을 하는 Pfeiffer OmniControl 001 터보 펌프 컨트롤러를 권장합니다. OmniControl 001은 벤치탑 또는 랙에 장착할 수 있습니다. 특수 RS485 케이블(부품 번호 P1012287, 별도 판매)을 통해 TC1200 구동 장치에서 전원을 공급받습니다. OmniControl 001은 HiPace 1200 터보 펌프와 통신하고 이 펌프를 완벽하게 모니터링하고 제어합니다.

당사는 OmniControl 001 펌프 컨트롤러, 흡입 스크린, 전원 및 통신 케이블, 솔레노이드 작동 환기 밸브, 히터 밴드(Conflat CF 플랜지 펌프에만 해당)를 포함한 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다.

Conflat CF 10.0인치 입구와 TC 1200 드라이브 유닛이 장착된 Pfeiffer HiPace 1200 터보 펌프 사양:

• 부품 번호: PM P06 002
• 입구 플랜지: Conflat CF 10.0 인치
• 기저 압력: 3.5 x ^10-10 Torr
• 고진공 플랜지에서의 최대 베이크아웃 온도: 120°C
• 작동 속도: 37,800RPM
• 장착 방향: 0°(상단 HV 플랜지) ~ 90°(수평)
• 펌핑 속도: 1300 l/s
• 냉각 방식 표준: 물(100 l/h, 15~35 °C)
• 물 연결: G 1/4인치(BSPP)
• 배기 플랜지: KF-40
• 환기 연결: G 1/8인치(BSPP)
• 통합 컨트롤러: TC 1200 드라이브 유닛
• 작동 전압: 100 - 120/200 - 240 VAC, 50/60 Hz
• 최대 전력: 1350와트
• 준비 시간: 2.5분
• 인터페이스: M12 커넥터를 통한 RS485
• 리모컨: 고밀도 26핀 Sub-D 커넥터
• 액세서리 포트: M12 소켓 2개, A 및 B로 표시됨
• 추천 러핑 펌프: HiScroll 18 건식 스크롤 펌프

Pfeiffer Vacuum HiPace 터보펌프 시리즈는 검증된 하이브리드 베어링을 사용한 독특한 로터 설계를 특징으로 합니다. HiPace 펌프는 높은 펌핑 속도와 높은 가스 처리량, 그리고 가벼운 가스에 대한 높은 압축률을 제공합니다. HiPace 펌프는 터보 분자식 및 드래그 단계를 모두 갖추고 있어 높은 배압 라인 압력에 대한 내성을 향상시키고 모든 가스 종류에 걸쳐 향상된 펌핑 속도를 제공합니다. HiPace 하이브리드 베어링은 전진공 측에 세라믹 볼 베어링, 고진공 측에 영구 자석 레이디얼 베어링을 결합한 구조입니다. 이 베어링 기술은 전자석을 필요로 하지 않으며, 일반적으로 약 4년의 유지보수 주기로 긴 수명을 제공합니다. 향상된 성능 외에도 모든 HiPace 터보펌프는 현장 정비가 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링을 갖추고 있어 가동 중단 시간을 크게 줄여줍니다.

Conflat CF 플랜지가 있는 Pfeiffer HiPace 펌프는 최대 진공도가 ^10-10 Torr 범위인 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전금속 흡기 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 세척 및 베이크 아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 (고무/엘라스토머 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최대 진공도가 ^10-8 Torr 범위로 제한됩니다. Conflat 플랜지가 있는 HiPace 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식일 경우 최대 120°C까지 베이크될 수 있습니다.

일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.

• 일반 클린 펌핑 응용 프로그램
• 주사전자현미경(SEM)
• 빔 라인과 고에너지 물리학
• 질량 분석법
• 전자 현미경
• 샘플 준비
• 연구개발
• 고에너지 물리학
• 산업
• 반도체
• 코팅
• 표면 과학 기기

펌프 사용 설명서와 Pfeiffer HiPace 펌프 제품 브로셔는 다운로드에서 이용할 수 있습니다.