Ebara EBT70 세라믹 베어링 터보분자 진공 펌프, CF 4.50인치 입구 플랜지, 75l/s 펌핑 속도 N2, 강제 팬 공냉식. 에바라 부품 번호: EBT70FCAB-20. CF-4.50인치의 Ebara EBT70 기계식 세라믹 베어링 복합 터보 분자 펌프는 고진공 응용 분야에 깨끗하고 안정적인 진공 생성을 제공하는 매우 효율적이고 비용 효과적인 솔루션입니다. EBT70 터보 펌프는 탁월한 가치를 제공하며 수년간 문제 없이 작동할 수 있도록 정밀 세라믹 베어링이 장착되어 있습니다(교체 전 30,000시간 이상). 새로운 복합 설계 로터는 고유량 또는 환기 조건에서 드물게 발생하는 충격 처리를 견딜 수 있습니다. 효율성이 향상되면 펌핑 속도와 가스 압축이 향상됩니다. 이는 더 높은 포어라인 압력을 수용하므로 UHV, 이동식 진공 카트 및 분석 시스템을 포함한 다양한 응용 분야에 이상적입니다.
Ebara EBT 모델 기능 및 이점:- 모바일 애플리케이션에 이상적인 견고한 베어링 설계
- 높은 펌핑 속도
- 가벼운 가스에 대한 높은 압축비
- 빠른 시작 및 중지
- 빠른 환기(환기 펄스 없음)
- 팬 또는 수냉식(포함되지 않음)
- ISO 또는 CF(ConFlat) 플랜지
- 통합 컨트롤러(일부 모델)
일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.- 반도체
- 얇은 필름
- 태양광
- 질량 분석
- 분석 기기 램프
- 표면 처리
- 전자/X선관
- 이온/EB-소스
- 웨이퍼 본딩
- 탁탁 소리
- 유리/필름 코팅
- 배기 카트
펌프 사용 설명서와 Ebara EBT 터보 펌프 제품 브로셔는 다운로드할 수 있습니다.