설명
우리는 또한 반도체 C1 및 C2 호환성을 위해 퍼플루오로폴리에스테르(PFPE) 불활성 유체(Krytox® 또는 Fomblin® 오일)로 재구축된 Alcatel 2063CP 및 2063CP+ 이중 스테이지 로터리 베인 진공 펌프를 제공합니다.
이러한 Alcatel 2063C 이중 스테이지 로터리 베인 진공 펌프는 퍼플루오로폴리에스테르(PFPE) 불활성 유체(Krytox® 또는 Fomblin® 오일)와 함께 사용하도록 완전히 재구축되어 반도체 C1 및 C2와 호환됩니다. C2 Semiconductor Compatible 시리즈 펌프는 C1 시리즈의 내화학성 기능을 공유하지만 반도체 공정에서 발견되는 염소 및 불소 함유 가스에 대한 저항성을 높이는 방식이 다릅니다. 고압 스테이지의 베인은 복합 재료로 만들어져 높은 내화학성을 제공합니다. 입구 및 배기 하드웨어는 스테인레스 스틸입니다. 재구축된 반도체 C2 호환 펌프는 불활성 PFPE 유체용으로 준비되어 있으며 별도로 주문해야 합니다. 펌핑 속도 변위 @ 60Hz 48 CFM. 최종 압력 1.5X10 -4 Torr.