MKS 946 ハーフラック真空ゲージ コントローラー電源および読み出し、カードなし、RS232 および RS485、6 チャンネル。 MKS 部品番号: 946-US-NANAN-NA。 MKS 946 は多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。これはカードのない生のユニットです。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 の信号ケーブルとオプションのカードは、この Web サイトで入手できます。

MKS コントロール カード マスフロー コントローラー シリーズ 946 およびデュアル マスフロー コントローラー。 MKS 部品番号: 20000712。MKS コントロール カード マス フロー コントローラーは、946 およびデュアル マス フロー コントローラーと互換性があります。これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 0.4 ～ 20 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。 MKS 部品番号: GM50A013201RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、フルスケール流量範囲 20 sccm、制御範囲 0.4 ～ 20 sccm を備え、N2 または同等のものを制御するように構成できます。これには、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア アナログ コネクタ、0 ～ 5 VDC フロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングが備えられています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 1 ～ 50 sccm、15 ピン コネクタ、4 VCR オス。 PN: GM50A013501RMM020。 MKS 部品番号: GM50A013501RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 2 ～ 100 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。 PN: GM50A013102RMM020。 MKS 部品番号: GM50A013102RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 100 sccm、制御範囲は 2 ～ 100 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 4 ～ 200 sccm、15 ピン D サブミニチュア。 MKS 部品番号: GM50A013202RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 200 sccm、制御範囲は 4 ～ 200 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 10 ～ 500 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。 MKS 部品番号: GM50A013502RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® です。フルスケール流量範囲は 500 sccm、制御範囲は 10 ～ 500 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A マスフロー コントローラー (MFC) デジタル制御、範囲 20 ～ 1000 sccm、15 ピン D-サブミニチュア コネクタ、4 VCR オス。 MKS 部品番号: GM50A013103RMM020。 MKS GM50A マスフロー コントローラーは、広範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール流量範囲は 1000 sccm、制御範囲は 20 ～ 1000 sccm、接地接続された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC 流量入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の 1% の精度が得られます。マルチレンジ機能は、イーサネット ケーブル経由で MFC をルーターまたはコンピュータに接続することでアクセスできる Web ブラウザ ベースのアプリケーションを通じて設定できます。 E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視したり、データをプロットしたり変数を選択したりすることができます。 Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A、長さ 10 フィート (3m) に接続します。 MKS 部品番号: 100016744。MKS マスフロー コントローラ ケーブルは、179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A マスフロー コントローラを 15 ピン タイプ D High-946 コントローラに接続します。密度超小型コネクタから 15 ピン標準超小型コネクタまで。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は、多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A、長さ 25 フィート (7.5m) に接続します。 MKS 部品番号: 100016745。MKS マスフロー コントローラ ケーブルは、179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A マスフロー コントローラを 15 ピン タイプ D High- の 946 コントローラに接続します。密度超小型コネクタから 15 ピン標準超小型コネクタまで。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は、多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。

MKS 真空センサー カード容量圧力計およびピエゾ、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。 MKS 部品番号: 100015267。MKS 真空センサー カードは、937B および 946 真空システム コントローラーで静電容量圧力計とピエゾ センサーをサポートします。これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空フィッティング KF-16、PN 626D.1TDEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、0.1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D.1TDE を持つ MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、UHV 真空継手 Con flat CF 1.33 インチ フランジ、626D.1TCEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、0.1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、Conflat CF 1.33 インチ超高真空 UHV フランジ接続を備え、MKS 部品番号を持つ MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。 626D.1TCE。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 1 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16、PN 626D01TDEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D01TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 10 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16、PN 626D11TDEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、10 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D11TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 10 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空フィッティング VCR 8 メス、PN 626D11TBEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、10 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D11TBE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 20 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空フィッティング VCR 8 メス、PN: 626D21TBEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 20 ミリ秒未満)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 バール) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、20 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D21TBE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 100 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16。 MKS 部品番号: 626D12TDE。 MKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D12TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 100 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空フィッティング VCR 8 メス、PN 626D12TBEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D12TBE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 1000 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16、PN 626D13TDE。 MKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D13TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 1000 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空フィッティング VCR 8 メス、PN 626D13TBEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D13TBE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 1000 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、UHV 真空継手 Conフラット CF 1.33 インチ フランジ、PN 626D13TCEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、Conflat CF 1.33 インチ超高真空 UHV フランジ接続を備え、MKS 部品番号を持つ MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。 626D13TCE。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 627H 0.02 Torr、45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空フィッティング VCR 8 メス、精度 0.25% の読み取り値、垂直校正。 MKS 部品番号 PN: 627HU2TBE1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、0.02 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.25% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627HU2TBE1B です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し製品の特徴: 優れた長期安定性 低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取りパーセント精度 正確な測定のための 20 mTorr (0.03 mbar) の低いフルスケール範囲低圧プロセスのオールインコネル耐食性接液面 ウォームアップ時間の短縮 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源 / 読み出しモジュール、および圧力コントローラーとの互換性 全圧を独立して直接測定高い過圧力定格による信頼性の向上 クリーンルーム対応のステンレススチールパッケージ

MKS 627H 0.05 Torr、45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空フィッティング VCR 8 メス、精度 0.15% の読み取り値、垂直校正。 MKS 部品番号 PN: 627HU5TBD1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、0.05 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.15% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627HU5TBD1B です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し製品の特徴: 優れた長期安定性 低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取りパーセント精度 正確な測定のための 20 mTorr (0.03 mbar) の低いフルスケール範囲低圧プロセスのオールインコネル耐食性接液面 ウォームアップ時間の短縮 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源 / 読み出しモジュール、および圧力コントローラーとの互換性 全圧を独立して直接測定高い過圧力定格による信頼性の向上 クリーンルーム対応のステンレススチールパッケージ

MKS 627H 0.1 Torr、45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空フィッティング VCR 8 メス、精度 0.15% の読み取り値、垂直校正。 MKS 部品番号 PN: : 627H.1TBD1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D-サブミニチュア信号コネクタ、0.1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.15% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号: 627H.1TBD1B。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し製品の特徴: 優れた長期安定性 低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取りパーセント精度 正確な測定のための 20 mTorr (0.03 mbar) の低いフルスケール範囲低圧プロセスのオールインコネル耐食性接液面 ウォームアップ時間の短縮 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源 / 読み出しモジュール、および圧力コントローラーとの互換性 全圧を独立して直接測定高い過圧力定格による信頼性の向上 クリーンルーム対応のステンレススチールパッケージ

MKS 627H 1 Torr 45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空フィッティング VCR 8 メス、精度 0.12% の読み取り値、垂直校正。 MKS 部品番号 PN: 627H01TBC1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.12% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627H01TBC1B です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し製品の特徴: 優れた長期安定性 低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取りパーセント精度 正確な測定のための 20 mTorr (0.03 mbar) の低いフルスケール範囲低圧プロセスのオールインコネル耐食性接液面 ウォームアップ時間の短縮 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源 / 読み出しモジュール、および圧力コントローラーとの互換性 全圧を独立して直接測定高い過圧力定格による信頼性の向上 クリーンルーム対応のステンレススチールパッケージ

MKS 627H 10 Torr、45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空継手 VCR 8 メス、精度 0.12% の読み取り値、垂直校正。 MKS 部品番号 PN: 627H11TBC1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D-サブミニチュア信号コネクタ、10 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.12% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627H11TBC1B です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し製品の特徴: 優れた長期安定性 低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取りパーセント精度 正確な測定のための 20 mTorr (0.03 mbar) の低いフルスケール範囲低圧プロセスのオールインコネル耐食性接液面 ウォームアップ時間の短縮 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源 / 読み出しモジュール、および圧力コントローラーとの互換性 全圧を独立して直接測定高い過圧力定格による信頼性の向上 クリーンルーム対応のステンレススチールパッケージ

MKS 627H 100 Torr、45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空継手 VCR 8 メス、精度 0.12% の読み取り値、垂直校正。 MKS 部品番号 PN: 627H12TBC1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.12% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627H12TBC1B です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し製品の特徴: 優れた長期安定性 低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取りパーセント精度 正確な測定のための 20 mTorr (0.03 mbar) の低いフルスケール範囲低圧プロセスのオールインコネル耐食性接液面 ウォームアップ時間の短縮 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源 / 読み出しモジュール、および圧力コントローラーとの互換性 全圧を独立して直接測定高い過圧力定格による信頼性の向上 クリーンルーム対応のステンレススチールパッケージ

MKS 627H 1,000 Torr、45 °C 加熱、絶対 Baratron 静電容量圧力計、真空フィッティング VCR 8 メス、精度 0.12% の読み取り値、垂直校正。 MKS 部品番号 PN: 627H13TBC1B。 627H Baratron® 静電容量圧力計は 45°C に加熱され、読み取り値の 0.12% までの精度があり、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が組み込まれています。この静電容量圧力計は、今日のより低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立されたバラトロン静電容量圧力計技術に基づいて、センサーの接液面はインコネル® で腐食性ガスに対する優れた耐性を備えています。現代的なステンレス鋼のパッケージにより、クリーンルーム対応の製品が提供されます。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量圧力計と互換性があり、MKS 電源、表示ユニットおよび圧力コントローラー、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスとともに使用できます。これらのリストは、45 °C に加熱された MKS タイプ 627H 静電容量圧力計用で、スレッド ロック付き 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1,000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続を備えています。 、読み取り値の 0.12% の精度、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627H13TBC1B です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し製品の特徴: 優れた長期安定性 低い圧力範囲でより正確な出力信号を実現する読み取りパーセント精度 正確な測定のための 20 mTorr (0.03 mbar) の低いフルスケール範囲低圧プロセスのオールインコネル耐食性接液面 ウォームアップ時間の短縮 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的ステータス 以前の Baratron 静電容量圧力計、MKS 電源 / 読み出しモジュール、および圧力コントローラーとの互換性 全圧を独立して直接測定高い過圧力定格による信頼性の向上 クリーンルーム対応のステンレススチールパッケージ

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 626 または 627 圧力計に接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100007555。MKS 真空計信号ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 626 または 627 圧力計に接続します。 9 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタと 15 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタを備えています。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 626 または 627 圧力計に 25 フィート (7.5m) 接続します。長さ。 MKS 部品番号: 100007556。MKS 真空計信号ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 626 または 627 圧力計に接続します。 9 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタと 15 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタを備えています。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 1 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C01TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計は、新しい機器設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションとなります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C01TCD2FA を持つ MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想的な真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM) 、電源およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 9 ピン D-sub コネクタを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 広い動作温度範囲にわたる高精度 45 psia の過圧制限または 2x フルスケール (どちらか大きい方) でゼロ再現性または性能の劣化がないことを保証 すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在部位を排除 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズ縮小が可能 耐食性 - すべて金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます 以前の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品

MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 10 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C11TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計は、新しい機器設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションとなります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、10 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C11TCD2FA を持つ MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想的な真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM) 、電源およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 9 ピン D-sub コネクタを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 広い動作温度範囲にわたる高精度 45 psia の過圧制限または 2x フルスケール (どちらか大きい方) でゼロ再現性または性能の劣化がないことを保証 すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在部位を排除 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズ縮小が可能 耐食性 - すべて金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます 以前の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品

MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 100 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C12TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計は、新しい機器設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションとなります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C12TCD2FA を持つ MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想的な真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM) 、電源およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 9 ピン D-sub コネクタを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 広い動作温度範囲にわたる高精度 45 psia の過圧制限または 2x フルスケール (どちらか大きい方) でゼロ再現性または性能の劣化がないことを保証 すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在部位を排除 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズ縮小が可能 耐食性 - すべて金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます 以前の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品

MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 1,000 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C13TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計は、新しい機器設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションとなります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1,000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C13TCD2FA の MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想的な真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM) 、電源およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 9 ピン D-sub コネクタを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 広い動作温度範囲にわたる高精度 45 psia の過圧制限または 2x フルスケール (どちらか大きい方) でゼロ再現性または性能の劣化がないことを保証 すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在部位を排除 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズ縮小が可能 耐食性 - すべて金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます 以前の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品

MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 5,000 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C53TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計は、新しい機器設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションとなります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、5,000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C53TCD2FA を持つ MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想的な真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM) 、電源およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 9 ピン D-sub コネクタを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 広い動作温度範囲にわたる高精度 45 psia の過圧制限または 2x フルスケール (どちらか大きい方) でゼロ再現性または性能の劣化がないことを保証 すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在部位を排除 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズ縮小が可能 耐食性 - すべて金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます 以前の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品

MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 10,000 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C14TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計は、新しい機器設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションとなります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、10,000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C14TCD2FA の MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想的な真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM) 、電源およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 9 ピン D-sub コネクタを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 広い動作温度範囲にわたる高精度 45 psia の過圧制限または 2x フルスケール (どちらか大きい方) でゼロ再現性または性能の劣化がないことを保証 すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在部位を排除 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズ縮小が可能 耐食性 - すべて金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます 以前の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品

MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 20,000 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C24TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計により、新しい機器の設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションになります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、20,000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C24TCD2FA を持つ MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想的な真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM) 、電源およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 9 ピン D-sub コネクタを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 広い動作温度範囲にわたる高精度 45 psia の過圧制限または 2x フルスケール (どちらか大きい方) でゼロ再現性または性能の劣化がないことを保証 すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在部位を排除 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズの縮小が可能 耐食性 - すべて金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます 初期の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 722 圧力計に接続、DB9 オスから DB9 メス、長さ 10 フィート (3m)。 MKS 部品番号: 100016951。MKS マノメータ ケーブルは、937B または 946 コントローラをシリーズ 722 静電容量マノメータに接続します。 9ピンタイプDサブミニチュアコネクタを備えています。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 722 圧力計に接続、DB9 オスから DB9 メス、25 フィート (7.5m)。長さ。 MKS 部品番号: 100016952。MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーをシリーズ 722 圧力計、DB9 オスから DB9 メスに接続します。 9ピンタイプDサブミニチュアコネクタを備えています。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、および超高真空から大気圧以上までの測定範囲の絶対圧電センサーを含む幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空センサー カード デュアル対流ピラニ、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。 MKS 部品番号: 100015132。MKS 真空センサー カードはデュアル ピラニ対流センサーをサポートし、937B および 946 真空システム コントローラーで使用されます。これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化型ピラニ センサー KF16 NW16 (PN 103170010SH) (MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性あり) MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供します。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 100 Torr から 1,000 Torr に増加します。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、この KF16 NW16 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化型ピラニ センサー KF25 NW25 (PN 103170027SH) (MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性あり) MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供します。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 100 Torr から 1,000 Torr に増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、この KF25 NW25 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化ピラニ真空センサーは、0.001 ～ 1000 Torr、Conflat CF 1.33 インチを備えています。MKS 部品番号: 103170013SH。 MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 0.001 から 1,000 Torr まで増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、CF 1.33 インチ Mini-CF フランジ フィッティングなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化ピラニ真空センサーは、0.001 ～ 1000 Torr、Conflat CF 1.33 インチを備えています。MKS 部品番号: 103170013SH。 MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 0.001 から 1,000 Torr まで増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、CF 1.33 インチ Mini-CF フランジ フィッティングなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS 真空ゲージ ケーブル、945、947、937B または 946 コントローラーに接続する 345 または 317 用、長さ 25 フィート (7.5m)。 MKS部品番号：103170007SH。 MKS 真空計信号ケーブルは、345 または 317 真空計センサーを 945、947、937B、または 946 コントローラーに接続します。 MKS コントローラーの背面と MKS 345 または 317 ピラニ センサーの側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 947 対流強化ピラニ コントローラは、多くの標準機能を備え、使いやすいです。圧力に比例するアナログ出力信号が標準装備されており、このケーブルが接続されているコントローラーの背面からアクセスできます。プロセスは、このシングルチャネル コントローラの標準である 2 つの独立したリレー設定値で制御されます。リレーは、コントローラの設定値範囲内のどこにでもトリップするように設定できます。電源オン/オフ スイッチを含むすべての操作コントロールは、コントローラのフロント パネルから簡単にアクセスできます。大きくて読みやすいディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定値を調整します。設定値の有効化は赤色の LED インジケーターで示されます。設定値は、プロセス制御を中断することなくいつでも確認できます。

MKS 真空ゲージ ケーブル、937B および 946 コントローラーに接続する 345 または 317 用、10 フィート。 (3m) 長い。 MKS部品番号：103170006SH。 MKS 真空計信号ケーブルは、345 または 317 真空計センサーを 945、947、937B、および 946 コントローラーに接続します。 MKS コントローラーの背面と MKS 345 または 317 ピラニ センサーの側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 947 対流強化ピラニ コントローラは、多くの標準機能を備え、使いやすいです。圧力に比例するアナログ出力信号が標準装備されており、このケーブルが接続されているコントローラーの背面からアクセスできます。プロセスは、このシングルチャネル コントローラの標準である 2 つの独立したリレー設定値で制御されます。リレーは、コントローラの設定値範囲内のどこにでもトリップするように設定できます。電源オン/オフ スイッチを含むすべての操作コントロールは、コントローラのフロント パネルから簡単にアクセスできます。大きくて読みやすいディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定値を調整します。設定値の有効化は赤色の LED インジケーターで示されます。設定値は、プロセス制御を中断することなくいつでも確認できます。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、1/8 オス NPT MKS Granville Phillips 部品番号 275071 275 MKS Granville Phillips Convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (写真にある MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは入手可能ですが、定価には含まれていません)。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、1/4 インチ メス 4 VCR フィッティング MKS Granville Phillips 部品番号: 275185 275 MKS Granville Phillips convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (写真にある MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは入手できないため、MKS Granville Phillips 475 に置き換えられます)。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、Conflat 2.75 インチ MKS Granville Phillips 部品番号: 275238 275 MKS Granville Phillips Convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (写真にある MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは入手可能ですが、定価には含まれていません)。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、Conflat 8 VCR 1/2 インチ フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275282 275 MKS Granville Phillips Convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは MKS Granville Phillips 475 に置き換えられますが、付属しません)。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、Conflat 1.33 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275256 275 MKS Granville Phillips Convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (写真にある MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは入手可能ですが、定価には含まれていません)。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、NW KF 16 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275203 275 MKS Granville Phillips Convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (写真にある MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは入手可能ですが、定価には含まれていません)。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、NW KF 25 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275196 275 MKS Granville Phillips Convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (写真にある MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは入手可能ですが、定価には含まれていません)。

MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、NW KF 40 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275316 275 MKS Granville Phillips Convectron 圧力測定ゲージ チューブ センサーは、業界標準の対流強化ピラニ ゲージです。 MKS Granville Phillips 275 は、大気から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、荒加工およびフォアライン圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように数秒ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空計センサーの高精度と再現性により、プロセスが何度でも望ましい圧力で開始されることが保証されます。ただし、これらは測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。 (写真にある MKS Granville Phillips 375 Convectron コントローラーは入手可能ですが、定価には含まれていません)。

MKS 真空計ケーブルは、937B コントローラーを GP275 真空計に接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100016980。MKS 真空計信号ケーブルは、937B コントローラを GP275 真空計に接続します。 MKS コントローラーの背面と GP275 真空計の側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空計ケーブルは、937B コントローラーを GP275 真空計に接続し、長さ 25 フィート (7.5m) です。 MKS 部品番号: 100016981。MKS 真空計信号ケーブルは、937B コントローラを GP275 真空計に接続します。 MKS コントローラーの背面と GP275 真空計の側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空センサー カード冷陰極、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。 MKS 部品番号: 100018446。MKS 真空センサー カード冷陰極は、937B および 946 真空システム コントローラーで使用されます。これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。

MKS HPS® 423 I-Mag® センサー冷陰極真空ゲージ KF25、NW25、MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性があります。 MKS 部品番号: 104230004 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag® センサーは、適切なコントローラーを使用すると、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは冷陰極センサーのみです。このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーはこの Web サイトで別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS 423 I-Mag センサー冷陰極真空計 Conflat 2.75 インレット。 MKS 部品番号: 104230002 (MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性あり) 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag センサーは、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。適切なコントローラー。この増加した圧力範囲により、HPS 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは新品の冷陰極センサーです。このウェブサイトでは、このユニットの MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーのみが別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag® 冷陰極センサーに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100016295。MKS マノメーター ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag® 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル組み合わせ真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag 冷陰極センサーに接続し、長さ 25 フィート (7.5 m) です。 MKS 部品番号: 100016296。MKS マノメーター ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 431 冷陰極真空センサー、1x10-11 ～ 1x10-2 Torr、CF-2.75 インチ フランジ フィッティング。 MKS 部品番号: 104310002。MKS 431 冷陰極真空センサーは、1x10-11 ～ 1x10-2 Torr の真空測定範囲、高い動作温度、および 2.75 インチ サイズの CF フランジ フィッティングを備えています。これはガスのイオン化確率に基づいており、電子の高電圧放電の結果としてイオン化が起こります。これらの冷陰極圧力真空センサーは、測定範囲を拡大するための反転マグネトロン設計に基づいています。イオン収集用のデュアル フィードスルーは独自の機能であり、他の冷陰極真空センサーや圧力センサーよりも圧力の読み取りが正確になります。この冷陰極真空センサーの信号ケーブルは、この Web サイトから入手できます。

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100016217。MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続し、長さ 25 フィート (7.5m) です。 MKS 部品番号: 100016218。MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空センサー カード ホット カソード、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。 MKS 部品番号: 100015641。MKS 真空センサー カード冷陰極は、937B および 946 真空システム コントローラーで使用されます。これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。

MKS 熱陰極真空センサーヌードチューブ、1x10-2 ～ 1x10-11 Torr 用イリジウムフィラメント、フランジフィッティングの CF-2.75。 MKS 部品番号: 100006842。MKS ヌード チューブ真空センサーは、1x10-2 ～ 1x10-11 Torr の真空測定範囲に対応するイットリア コーティングされたイリジウム フィラメントと 2.75 インチの CF フランジ フィッティングを備えています。この Bayard-Alpert スタイルのイオン化真空センサーは、グリッドの中心に配置された細線コレクタを使用します。面積が小さいため、コレクタに当たる X 線はほとんどなく、真空計は非常に低いレベルまでの圧力を測定できます。チューブの感知部分は真空システム内に配置され、システムの真の圧力を受けるため、ヌードチューブは代表的な圧力測定値を提供し、圧力変化に対してガラスエンベロープセンサーよりも迅速に応答します。この冷陰極真空センサーの信号ケーブルは、この Web サイトから入手できます。

MKS 熱陰極真空センサーヌードチューブ、1x10-2 ～ 1x10-11 Torr 用のタングステンフィラメント、フランジフィッティングの CF-2.75。 MKS 部品番号: 100005980. MKS ヌード チューブ真空センサーは、1x10-2 ～ 1x10-11 Torr の真空測定範囲用のタングステン フィラメントと 2.75 インチの CF フランジ フィッティングを備えています。この Bayard-Alpert スタイルのイオン化真空センサーは、グリッドの中心に配置された細線コレクタを使用します。面積が小さいため、コレクタに当たる X 線はほとんどなく、真空計は非常に低いレベルまでの圧力を測定できます。チューブの感知部分は真空システム内に配置され、システムの真の圧力を受けるため、ヌードチューブは代表的な圧力測定値を提供し、圧力変化に対してガラスエンベロープセンサーよりも迅速に応答します。この冷陰極真空センサーの信号ケーブルは、この Web サイトから入手できます。

MKS 真空計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100010909。MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続し、長さ 25 フィート (7.5 m) です。 MKS 部品番号: 100010910。MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、および超高真空から大気圧以上までの測定範囲の絶対圧電センサーを含む幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS T2BA バタフライ排気スロットル バルブ、KF40、「F シール」 (フラッパー上のバイトン O リング)、低電力モーター (8 インチポンド)、105°C、RS232、+/-15VDC センサー電源付き (バラトロン用) ）。 MKS 部品番号: T2BA01K320003V210025。 MKS T2BA 排気スロットル バルブは、シンプルでありながら高度な圧力制御システムが必要な用途向けに特別に設計されています。 T2BA は、すべての制御、通信、ドライバー回路をスロットル バルブ アセンブリ内に統合しているため、別個の圧力制御電子モジュールを取り付ける必要がありません。独自のモデルベースの制御アルゴリズムと高速動作により、システムは最小限のオーバーシュートで迅速に設定点に到達し、オペレーターの介入なしで再現可能なプロセスレシピを保証します。製品の特徴: コンパクトな圧力制御システム - 統合されたオンボードコントローラー電子機器を備えたバルブ - 統合が簡単で、追加のケーブルやラックスペースは不要 高速構成が利用可能 (開閉まで 250 ミリ秒未満) - より速い設定値と流量からの回復および圧力摂動 - 高いツールスループットを実現 選択可能な高トルクドライブ - 過酷なプロセス条件で稼働時間を延長 レンジ自動切り替え機能付きデュアルチャンネル Baratron® センサー入力 - 広い動的圧力制御範囲をサポート - 高い圧力制御精度を実現 高度なモデルベースの圧力制御アルゴリズム- 設定点までの時間を最小限に抑えます - オペレーターの関与なしで再現可能なプロセスレシピを保証します 低コンダクタンスのソフトシールバージョンで利用可能 - 低流量でも高圧プロセスをサポート (Epi、RTP、SACVD など) - 「屋内排気」または大気環境に適していますアプリケーション 接続された Baratron 静電容量圧力計に電力を供給します (オプション、一部のモデル) T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパー位置決めまたは圧力制御という 2 つの主要モードで動作でき、どちらも I/O インターフェイスを介してユーザーが起動できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時動作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを通じて利用できます。 EtherCAT T2BA は EtherCAT 圧力計と完全な互換性があります。アナログ圧力計にはゲートウェイが必要です。下流圧力制御技術は広いダイナミックレンジを提供し、あらゆるタイプのポンプで動作し、高速応答を提供し、ほとんどの流出ガスに耐性があります。 「インテリジェント機器」コンセプトにより、システムの貴重なスペースが節約され、ノイズ耐性が向上し、タイムクリティカルなプロセスと校正情報、およびオンボード診断機能に簡単にアクセスできるようになります。 T2BA は、ダイレクトドライブ高速ステッピング モーターを利用します。バルブドライバーは高分解能の圧力制御を提供します。オプションの高トルク ダイレクト ドライブ モーターは稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、わずか 1 時間のダウンタイムで数千ドルのコストがかかる可能性がある要求の厳しいプロセスにおいて大きな利点となります。 T2BA はギア付きバージョンも用意されており、最大のトルクを提供し、過酷な環境での長期間の動作を可能にします。T2BA バルブは、オプションで利用可能な MKS 外部ヒーターを使用して最大 200°C まで加熱可能です (シール材料の適切な選択が必要です)。 T2BA には独自の MKS 低コンダクタンス バージョンが用意されており、バルブ コンダクタンスを最小限に抑えるための O リングベースの設計に依存することなく、排気圧力制御、CVD、RTP などの大気アプリケーションでの高速圧力制御が可能になります。エンコーダベースの位置フィードバック システムが診断目的で提供されています。このバルブは、ほとんどのプロセスガスと互換性のある耐食性 316 ステンレス鋼で構成されており、内径 1 インチから 4 インチの標準 ISO フランジ スタイルで利用できます (カスタムベースで代替サイズも利用可能)。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス化学薬品や加熱用途との互換性のために代替材料を指定することもできます。

MKS T2BA バタフライ排気スロットル バルブ、ISO100、ノンシール (O リングなし、0.003 インチ ラジアル ギャップ)、低出力モーター (8 インチポンド)、105 °C、バイトン (ボディ シール)、RS232、+/- 付き15VDC センサー電源 (バラトロン用). MKS 部品番号: T2BA04N220303V210025. MKS T2BA 排気スロットル バルブは、シンプルでありながら高度な圧力制御システムが必要なアプリケーション向けに特別に設計されています. T2BA は、すべての制御、通信、およびドライバー回路を統合していますスロットルバルブアセンブリ内に組み込まれているため、別個の圧力制御電子モジュールを取り付ける必要がなくなり、独自のモデルベースの制御アルゴリズムと高速動作により、システムは最小限のオーバーシュートで迅速に設定値に到達し、オペレータの介入なしに再現可能なプロセスレシピを保証します。製品の特徴: コンパクトな圧力制御システム - 統合されたオンボードコントローラー電子機器を備えたバルブ - 統合が簡単で、追加のケーブルやラックスペースは不要 高速構成が利用可能 (<250 ミリ秒、開閉まで) - より速い設定値と回復流量と圧力の変動 - 高いツールスループットを実現 選択可能な高トルクドライブ - 過酷なプロセス条件で稼働時間を延長 レンジ自動切り替え機能付きデュアルチャンネル Baratron® センサー入力 - 広い動的圧力制御範囲をサポート - 高い圧力制御精度を実現 高度なモデルベースの圧力制御アルゴリズム - 設定点までの時間を最小限に抑えます - オペレーターの介入なしで再現可能なプロセスレシピを保証します 低コンダクタンスのソフトシールバージョンが利用可能 - 低流量でも高圧プロセスをサポート (Epi、RTP、SACVD など) - 「住宅排気」または大気用途 接続された Baratron 静電容量圧力計 (オプション、一部のモデル) に電力を供給します。 T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパー位置決めまたは圧力制御という 2 つの主要モードで動作でき、どちらも I/O インターフェイスを介してユーザーが起動できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時動作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを通じて利用できます。 EtherCAT T2BA は EtherCAT 圧力計と完全な互換性があります。アナログ圧力計にはゲートウェイが必要です。下流圧力制御技術は広いダイナミックレンジを提供し、あらゆるタイプのポンプで動作し、高速応答を提供し、ほとんどの流出ガスに耐性があります。 「インテリジェント機器」コンセプトにより、システムの貴重なスペースが節約され、ノイズ耐性が向上し、タイムクリティカルなプロセスと校正情報、およびオンボード診断機能に簡単にアクセスできるようになります。 T2BA は、ダイレクトドライブ高速ステッピング モーターを利用します。バルブドライバーは高分解能の圧力制御を提供します。オプションの高トルク ダイレクト ドライブ モーターは稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、わずか 1 時間のダウンタイムで数千ドルのコストがかかる可能性がある要求の厳しいプロセスにおいて大きな利点となります。 T2BA はギア付きバージョンも用意されており、最大のトルクを提供し、過酷な環境での長期間の動作を可能にします。T2BA バルブは、オプションで利用可能な MKS 外部ヒーターを使用して最大 200°C まで加熱可能です (シール材料の適切な選択が必要です)。 T2BA には独自の MKS 低コンダクタンス バージョンが用意されており、バルブ コンダクタンスを最小限に抑えるための O リングベースの設計に依存することなく、排気圧力制御、CVD、RTP などの大気アプリケーションでの高速圧力制御が可能になります。エンコーダベースの位置フィードバック システムが診断目的で提供されています。このバルブは、ほとんどのプロセスガスと互換性のある耐食性 316 ステンレス鋼で構成されており、内径 1 インチから 4 インチの標準 ISO フランジ スタイルで利用できます (カスタムベースで代替サイズも利用可能)。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス化学薬品や加熱用途との互換性のために代替材料を指定することもできます。

MKS 248D 汎用流量制御バルブ、2000 sccm、1/4 インチ Swagelok チューブ継手、Viton シール。 MKS 部品番号: 0248D-02000SV 制御電流が供給されると、この汎用の改良型ソレノイド バルブはガスの流れを調整します。 MKS コントローラーおよび適切な流量センサーと併用すると、248D バルブは正確かつ正確な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。アプリケーションには、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル 0248D-02000SV バルブは、2000 標準立方センチメートル/分 (sccm) の窒素フルスケール範囲、Swagelok® 1/4 インチ チューブ継手、および Viton シールを備えています。閉じたバルブを通る漏れコンダクタンスは <1x10-5 scc/秒 He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 248D 汎用流量制御バルブ、5000 sccm、1/4 インチ Swagelok チューブ継手、Viton シール。 MKS 部品番号: 0248D-05000RV。制御電流が供給されると、この汎用改良型ソレノイド バルブはガスの流れを調整します。 MKS コントローラーおよび適切な流量センサーと併用すると、248D バルブは正確かつ正確な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。アプリケーションには、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル 0248D-05000RV バルブは、5,000 標準立方センチメートル/分 (sccm) の窒素フルスケール範囲、Swagelok® 1/4 インチ チューブ継手、および Viton シールを備えています。閉じたバルブを通る漏れコンダクタンスは <1x10-5 scc/秒 He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 248D 汎用流量制御バルブ、10000 sccm、1/4 インチ Swagelok チューブ継手、Viton シール。 MKS部品番号:0248D-10000SV。制御電流が供給されると、この汎用改良型ソレノイド バルブはガスの流れを調整します。 MKS コントローラーおよび適切な流量センサーと併用すると、248D バルブは正確かつ正確な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。アプリケーションには、流量制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル 0248D-10000SV バルブは、10000 標準立方センチメートル/分 (sccm) の窒素フルスケール範囲、Swagelok® 1/4 インチ チューブ継手、および Viton シールを備えています。閉じたバルブを通る漏れコンダクタンスは <1x10-5 scc/秒 He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS マスフロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100018192。MKS マス フロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続します。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。

MKS マスフロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続し、長さ 25 フィート (7.5 m) です。 MKS 部品番号: 100018192-25。 MKS マス フロー コントローラー ケーブルは、946 コントローラーを 248D フロー コントロール バルブに接続します。こちらはケーブルのみです。 MKS 946 は多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。

シリーズ 937B および 946 真空ゲージ コントローラー用の MKS ハーフ ラック マウント キット。 MKS品番：RM-13。 MKS ハーフ ラック マウンティング キットは、シリーズ 937B および 946 真空ゲージ コントローラーと互換性があります。これはハードウェアのみです。 MKS 946 は多用途のハーフラック真空計測定および制御システムで、圧力制御のオプションを備えた、最大 6 つの異なる真空計および/またはマスフロー コントローラに電力と同時読み取りを提供します。電源/読み出しは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されています。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネルの連続選択可能な単一読み出しです。マスフローコントローラーおよびマスフロー読み出しと互換性があります。 MKS 946 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。