MKS T2BA バタフライ排気スロットル バルブ、KF40、「F シール」 (フラッパー上のバイトン O リング)、RS232、センサー電源 (バラトロン用)。 PN: T2BA01K320003V210025

MKS T2BA 排気スロットル バルブは、シンプルでありながら高度な圧力制御システムが必要な用途向けに特別に設計されています。 T2BA は、すべての制御、通信、ドライバー回路をスロットル バルブ アセンブリ内に統合しているため、別個の圧力制御電子モジュールを取り付ける必要がありません。独自のモデルベースの制御アルゴリズムと高速動作により、システムは最小限のオーバーシュートで迅速に設定点に到達し、オペレーターの介入なしで再現可能なプロセスレシピを保証します。

製品の特徴：

• コンパクトな圧力制御システム - 統合されたオンボードコントローラー電子機器を備えたバルブ
  -統合が簡単で、追加のケーブルやラックスペースが不要
• 高速構成が利用可能 (<250 ミリ秒、開閉まで)
  -流量と圧力の変動からのより速い設定点と回復
  -高いツールスループットを実現
• 選択可能な高トルクドライブ
-過酷なプロセス条件での稼働時間を延長します
• レンジ自動切り替え機能付きデュアルチャンネル Baratron® センサー入力
-広い動圧制御範囲をサポート
-高い圧力制御精度が可能
• 高度なモデルベースの圧力制御アルゴリズム
-設定点までの時間を最小限に抑えます
-オペレーターの介入なしで再現可能なプロセスレシピを保証します
• 低伝導性のソフトシールバージョンも利用可能
-低流量でも高圧プロセスをサポート (Epi、RTP、SACVD など)
- 「住宅排気」または大気用途に適しています
• 接続されたバラトロン静電容量圧力計に電力を供給します (オプション、一部のモデル)

T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパー位置決めまたは圧力制御という 2 つの主要なモードで動作でき、どちらも I/O インターフェイスを介してユーザーがアクティブ化できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時動作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを通じて利用できます。 EtherCAT T2BA は EtherCAT 圧力計と完全な互換性があります。アナログ圧力計にはゲートウェイが必要です。

下流圧力制御技術は広いダイナミックレンジを提供し、あらゆるタイプのポンプで動作し、高速応答を提供し、ほとんどの流出ガスに耐性があります。 「インテリジェント機器」コンセプトにより、システムの貴重なスペースが節約され、ノイズ耐性が向上し、タイムクリティカルなプロセスと校正情報、およびオンボード診断機能に簡単にアクセスできるようになります。

T2BA は、ダイレクトドライブ高速ステッピング モーターを利用します。バルブドライバーは高分解能の圧力制御を提供します。オプションの高トルク ダイレクト ドライブ モーターは稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、わずか 1 時間のダウンタイムで数千ドルのコストがかかる可能性がある要求の厳しいプロセスにおいて大きな利点となります。 T2BA はギア付きバージョンも用意されており、最大のトルクを提供し、過酷な環境での長期間の動作を可能にします。T2BA バルブは、オプションで利用可能な MKS 外部ヒーターを使用して最大 200°C まで加熱可能です (シール材料の適切な選択が必要です)。

T2BA には独自の MKS 低コンダクタンス バージョンが用意されており、バルブ コンダクタンスを最小限に抑えるための O リングベースの設計に依存することなく、排気圧力制御、CVD、RTP などの大気アプリケーションでの高速圧力制御が可能になります。エンコーダベースの位置フィードバック システムが診断目的で提供されています。このバルブは、ほとんどのプロセスガスと互換性のある耐食性 316 ステンレス鋼で構成されており、内径 1 インチから 4 インチの標準 ISO フランジ スタイルで利用できます (カスタムベースで代替サイズも利用可能)。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス化学薬品や加熱用途との互換性のために代替材料を指定することもできます。