MKS 627H 10 Torr 加熱 45 °C、絶対バラトロン静電容量マノメーター、真空フィッティング VCR 8 メス、精度 0.12% 読み取り値、垂直キャリブレーション。
MKS 部品番号 PN: 627H11TBC1B。 627H Baratron® 静電容量マノメータは 45°C まで加熱され、読み取り値の 0.12% の精度で、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御エレクトロニクスを備えています。この静電容量マノメータは、今日の低プロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で使用できます。確立された Baratron 静電容量マノメータ技術に基づいて、センサの濡れ面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つ Inconel® です。最新のステンレス鋼パッケージは、クリーンルーム対応製品です。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量マノメータと互換性があり、MKS 電源、ディスプレイ ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスで使用できます。
このリストは、45 °C に加熱され、スレッド ロック付きの 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、10 Torr フルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 8 メス真空フランジ接続、読み取り精度 0.12%、垂直キャリブレーション付き、MKS 部品番号 627H11TBC1B を持つ MKS タイプ 627H 静電容量マノメータ用です。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
製品の特徴:
- 優れた長期安定性
- 低圧力範囲でより正確な出力信号を得るための読み取り精度のパーセント
- フルスケール範囲は 20 mTorr (0.03 mbar) と低く、低圧プロセスを正確に測定できます。
- 耐腐食性オールインコネルの接液面
- ウォームアップ時間の短縮
- 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態
- 以前のBaratron静電容量マノメータ、MKS電源/読み出しモジュール、圧力コントローラと互換性があります
- ガスの組成に関係なく、全圧を直接測定します
- 高い過圧定格により信頼性が向上
- クリーンルーム対応ステンレスパッケージ