MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) アナログ制御、範囲 0.4 ~ 20 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR オス。
MKS部品番号: GM50A013201RMM020。 MKS GM50A マスフローコントローラは、N2 または同等の物質を制御するように構成でき、フルスケールのフロー範囲は 20 sccm、制御範囲は 0.4 ~ 20 sccm です。このコントローラには、接地された 15 ピン D サブミニチュア アナログ コネクタ、0 ~ 5 VDC のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングがあります。通常の応答時間は 500 ミリ秒程度です。
スウェージロック、VCR-TM スウェージロック社