MKS 722C 汎用 Baratron 絶対静電容量圧力計、圧力範囲 100 Torr、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D コネクタ、PN 722C12TCD2FA。今日のプロセス環境では、正確で再現性があり、信頼性の高い測定を低コストで提供する小型の圧力測定機器が必要です。 MKS は、静電容量圧力計の設計および製造技術における専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対式 Baratron® 静電容量圧力計の開発に応用しました。 722C の柔軟な設計により、新しい機器の設計だけでなく改造用途にも理想的なソリューションになります。堅牢なセンサー構造により高い過圧耐性が得られ、時折発生するライン圧力のスパイクによって引き起こされるエラーが軽減されます。センサーの接液面はすべてインコネル® で作られており、多くのプロセス ガスとの互換性を最大限に確保しています1。洗練された技術と厳密なプロセス制御により、すべての接液面できれいで滑らかな仕上げ (=10 Ra) が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには 2 年間の完全保証が付いています。
これらのリストは、9 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4 メス真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 722C12TCD2FA を持つ MKS タイプ 722C 汎用静電容量圧力計用です。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
製品の特徴:
- 9 ピン D-sub コネクタ付き 0 ~ 10 VDC 比例アナログ出力
- ガスの種類や組成に関係なく、チャンバーの全圧を直接測定
- 広い動作温度範囲にわたって高精度
- 45 psia または 2x フルスケール (どちらか大きい方) の過圧制限により、ゼロ再現性やパフォーマンスの低下が保証されません。
- すべての接液センサー表面は =10 Ra まで微細仕上げされており、腐食が進行する介在物サイトを排除します。
- 圧力計のサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小できます
- 耐食性 - 全金属、全溶接構造により、インコネルとステンレス鋼のみが媒体にさらされます。
- 以前の 722 Baratron 静電容量圧力計と互換性のあるドロップイン交換品