Edwards STP-1003 5 軸磁気ベアリングターボ分子ポンプ。入口フランジ ISO200F 出口ポート KF40、水冷キットなし、リモート インターフェイスのデフォルト設定 I/O リモート。部品番号 YT390Z001 STPシリーズポンプは磁気浮上式ターボ分子ポンプのシリーズです。
以下の機能を備えています。
• オイルフリー
・低振動
• 高信頼性
STPポンプは、動翼と静翼が軸方向に交互に並ぶ構造になっています。ローターの高速回転により、ガス分子が入口ポートから出口ポートへ送り出されます。ローターブレードは磁気ベアリングによって機械的接触なしで支持されています。したがって、STPポンプは従来のボールベアリングを使用したターボ分子ポンプとは異なり、潤滑油を必要としません。磁気軸受は 5 対のアクティブ磁気軸受で構成されます。ロータはラジアルセンサとラジアル電磁石からなる4対のラジアル方向能動磁気軸受によりラジアル方向に支持されています。一対のアキシャル方向能動磁気軸受は、アキシャルセンサとアキシャル電磁石で構成され、ロータをアキシャル方向に支持します。ロータは機械的非接触で支持されているため、低振動で回転できます。磁気軸受は摩擦がないため、発熱が少なくなります。
したがって、STP ポンプは冷却を必要としません。ただし、STP ポンプはベーキング中およびガスのポンピング中に水冷または空冷が必要です。磁気軸受の破損を考慮し、固体潤滑をコーティングしたタッチダウン軸受を採用しています。定格運転時にはローターと接触しません。ラジアルセンサー、アキシャルセンサー、回転センサー、温度センサーがローターだけでなく磁気ベアリングも常に監視します。異常・エラーが発生するとローターが停止します。このポンプの付属品はすべてこの Web サイトで入手できるか、詳細については 505-872-0037 までお電話ください。完全な仕様については、下の図を参照するか、左側のダウンロードから STP マニュアル.pdf をダウンロードしてください。