EBT70 セラミック ベアリング ターボ分子真空ポンプと併用する Ebara ETC76 コントローラー。荏原部品番号:ETC76。これは、EBT70セラミックベアリングターボ分子真空ポンプと併用する荏原製ETC76コントローラです。荏原製EBT70機械式セラミックベアリング複合ターボ分子ポンプは、高真空アプリケーションにおいてクリーンで信頼性の高い真空生成を実現する、高効率で費用対効果の高いソリューションです。EBT70ターボポンプは卓越した価値を提供し、長年にわたるトラブルフリーの運転(交換前30,000時間以上)を実現する精密セラミックベアリングを搭載しています。新しい複合設計のローターは、高流量またはベント条件下でも、まれな衝撃処理に耐えることができます。効率の向上により、排気速度とガス圧縮が向上します。これにより、より高いフォアライン圧力にも対応でき、UHV、移動式真空カート、分析システムなど、さまざまなアプリケーションに最適です。
荏原EBTモデルの特長と利点:- モバイルアプリケーションに最適な頑丈なベアリング設計
- 高いポンピング速度
- 軽質ガスの高圧縮比
- 素早い発進と停止
- クイックベント(ベント脈動なし)
- ファンまたは水冷(付属していません)
- ISOまたはコンフラット(CF)フランジ
- 統合コントローラー(一部のモデル)
一般的なターボポンプの用途は次のとおりです:- 半導体
- 薄膜
- 太陽光発電
- 質量分析
- 分析機器用ランプ
- 表面処理
- 電子管/X線管
- イオン/EB源
- ウェーハボンディング
- スパッタ
- ガラス/フィルムコーティング
- 排気カート
ポンプの取扱説明書と荏原 EBT ターボポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。