EBT70セラミックベアリングターボ分子真空ポンプと併用するエバラETC76コントローラ。エバラ品番:ETC76。これは、EBT70セラミックベアリングターボ分子真空ポンプで使用するエバラETC76コントローラです。 Ebara EBT70 メカニカルセラミックベアリング複合ターボ分子ポンプは、高真空用途にクリーンで信頼性の高い真空生成を提供する、高効率でコスト効率の高いソリューションです。 EBT70 ターボポンプは優れた価値を提供し、精密セラミック ベアリングを備えており、長年にわたってトラブルなく動作します (交換までに 30,000 時間以上)。新しい複合設計のローターは、高流量またはベント条件下でのまれな衝撃処理に耐えることができます。効率の向上により、ポンピング速度とガス圧縮が向上します。これにより、より高いフォアライン圧力に対応できるため、UHV、移動式真空カート、分析システムなどの複数の用途に最適です。
エバラ EBT モデルの特徴と利点:- モバイル用途に最適な頑丈なベアリング設計
- 高い排気速度
- 軽ガスの高い圧縮比
- 素早いスタートとストップ
- クイックベント (ベントパルスなし)
- ファンまたは水冷 (別売り)
- ISO または Conflat (CF) フランジ
- 統合コントローラー (一部のモデル)
一般的なターボ ポンプの用途には次のようなものがあります。- 半導体
- 薄膜
- 太陽光発電
- 質量分析法
- 分析機器用ランプ
- 表面処理
- 電子管/X線管
- イオン / EB ソース
- ウェーハボンディング
- 燻る
- ガラス・フィルムコーティング
- 排気カート
ポンプの取扱説明書やエバラEBTターボポンプの製品パンフレットをダウンロードしてご利用いただけます。