Agilent Varian IDP-15 IDP15 ドライ スクロール真空ポンプ、一体型絶縁バルブ付き、単相、PN: X3815-64010

Agilent Varian IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプは、50 dBA 未満の極めて静かな動作と低振動動作を実現するように設計されており、60 Hz で 9.4 cfm (15.4 m3/h) のピーク排気速度を実現し、10 mTorr の到達圧力を生成します。これらの新しい Agilent IDP-15 ドライ スクロール ポンプは密封されており、希ガスおよびヘリウム 3He 再循環アプリケーションに適しています。真空スペースがモーターやベアリングから完全に隔離された気密設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクが排除されます。 IDP-15 のこれらの重要な設計要素により、モーターとベアリングが大気圧で動作することが可能になり、アプリケーションからの真空プロセスガスや水蒸気にさらされることがなくなります。 Agilent IDP-15 は、50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の動作電圧範囲に対応するグローバル単相モータをサポートしており、高電圧と低電圧の使用を切り替えるための簡単にアクセスできるシンプルなスイッチが組み込まれています。

この IDP-15 モデル (Agilent テクノロジー部品番号 X3815-64010) には、統合型入口遮断バルブが含まれています。隔離バルブはモジュール内に取り付けられているため、ポンプ入口に高さが追加されません。 IDP-15 の電源が失われたときに、スクロール ポンプ入口を通る空気の逆方向の移動を防ぎます。この隔離バルブは、システムの電源喪失時に顧客のチャンバーまたは機器が突然排気されるのを防ぎます。遮断弁機構には、入口弁を通常は閉じた状態に保持するバネが組み込まれています。ポンプ内のより低い圧力は、スプリングを圧縮し、入口隔離バルブを開いた状態に保つために使用されます。電力損失が発生すると、ソレノイド バルブが開き、真空ポンプが排気され、入口隔離バルブが閉じます。閉じる時間は通常 20 ミリ秒です。電源が復旧すると、電磁弁が閉じて真空ポンプ内部の真空排気が始まり、約 10 秒後に入口隔離弁が開きます。

ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプは、ドライバッキングポンプ技術と組み合わせて使用されることが増えています。スクロール技術に基づくポンプは、ターボ分子高真空ポンプを支援するために最適なドライポンプ技術となっています。これらの Agilent Varian IDP-15 スクロール テクノロジーがドライ ポンプの優れた選択肢となる理由には、クリーンで予測可能なパフォーマンス、低い振動と騒音、長い耐用年数などのいくつかの要因があります。

最新の Agilent IDP-15 スクロール テクノロジーはスムーズな軌道動作に基づいており、ガスの圧縮と排出の真空ポンプ サイクルは最小限の脈動と非常に低い振動で発生します。アプリケーションによっては、振動が何らかの悪影響を及ぼす可能性があり、防振装置などの追加コンポーネントの使用につながる場合があります。新しい Agilent IDP-15 は、振動が要因となるさまざまなアプリケーションに最適なドライ ポンプです。

現在のスクロール技術とチップシール設計は、低いベース圧力を提供し、耐用年数にわたって徐々にベース圧力を増加させるために連携して機能する要素です。このベース圧力の段階的な増加により、真空が許容できなくなる前にメンテナンスを行うことができ、予定外のダウンタイムが削減されます。 Agilent IDP-15 のような一般的なスクロール ポンプは、10 mTorr のベース圧力を達成します。

これらの Agilent IDP-15 ドライ スクロール ポンプは、ネストされたスクロールの 1 つがもう 1 つのスクロールの周囲を周回するシンプルなデュアル スクロール メカニズムを使用して真空を生成し、捕捉されたガスの移動ゾーンを作成します。ガスは外周に設置されたスクロールに入り、ハブの中心に向かって移動および圧縮され、そこで排出されます。単純なデュアル スクロール設計は、騒音と振動のレベルが低いこと、メンテナンスが簡単で頻度が低いこと、致命的な故障モードがなくなることなど、多くの利点をもたらします。

これらの新しい Agilent Technologies IDP-15 には、チップ シールの寿命とサービス間隔を延長するために改良されたソリッド チップ シールが含まれています。固体チップシール材料は、凝縮性蒸気用途に優れた性能を発揮します。 IDP-15のチップシール交換がこれまでより簡単になりました。必要なのは、簡単な工具、マイナス ドライバー、4 mm および 5 mm の六角レンチ、イソプロピル アルコール、糸くずの出ないワイプ、チップ シール キット部品番号 X3815-67000 だけです。チップシールの交換手順は取扱説明書の24～30ページをご覧ください。新しい Agilent IDP-15 密閉型ドライ スクロール真空ポンプの PDF 形式の取扱説明書とパンフレットは、以下のダウンロード セクションからダウンロードできます。