Controller Ebara ETC76 da utilizzare con le pompe per vuoto turbomolecolari con cuscinetti ceramici EBT70. Numero parte Ebara: ETC76. Si tratta di un controller Ebara ETC76 da utilizzare con le pompe per vuoto turbomolecolari con cuscinetti ceramici EBT70. Le pompe turbomolecolari con cuscinetti ceramici meccanici Ebara EBT70 sono soluzioni altamente efficienti ed economiche che forniscono una generazione di vuoto pulita e affidabile per le vostre applicazioni ad alto vuoto. La turbopompa EBT70 offre un valore eccezionale ed è dotata di cuscinetti ceramici di precisione per anni di funzionamento senza problemi (>30.000 ore prima della sostituzione). I nuovi rotori dal design composito possono resistere a trattamenti d'urto poco frequenti in condizioni di flusso elevato o di sfiato. Una migliore efficienza si traduce in velocità di pompaggio e compressione del gas più elevate. Ciò consente pressioni della linea principale più elevate rendendoli ideali per molteplici applicazioni tra cui UHV, carrelli mobili a vuoto e sistemi analitici.
Caratteristiche e vantaggi dei modelli Ebara EBT:- Design robusto del cuscinetto ideale per applicazioni mobili
- Elevate velocità di pompaggio
- Rapporti di compressione elevati per gas leggeri
- Avviamenti e arresti rapidi
- Sfiato rapido (nessuna pulsazione dello sfiato)
- Ventola o raffreddamento ad acqua (non incluso)
- Flange ISO o Conflat (CF).
- Controller integrato (modelli selezionati)
Le applicazioni tipiche delle pompe turbo includono:- Semiconduttore
- Pellicola sottile
- Fotovoltaico
- Spettrometria di massa
- Lampade per strumenti analitici
- Trattamento della superficie
- Tubi elettronici/raggi X
- Sorgente ionica/EB
- Incollaggio dei wafer
- Sputare
- Rivestimento in vetro/pellicola
- Carrelli di scarico
Il manuale di istruzioni della pompa e le brochure del prodotto turbopompa Ebara EBT sono disponibili nei download.