Válvula de mariposa del acelerador de escape MKS T2BA, KF40, "F-Seal" (junta tórica de Viton en la aleta), RS232, fuente de alimentación del sensor (para Baratron). Número de pieza: T2BA01K320003V210025

La válvula reguladora de escape MKS T2BA está diseñada específicamente para aplicaciones en las que se desea un sistema de control de presión simple pero avanzado. El T2BA integra todos los circuitos de control, comunicación y controlador dentro de un conjunto de válvula de mariposa, eliminando así la necesidad de montar un módulo electrónico de control de presión separado. El exclusivo algoritmo de control basado en modelos y la operación de alta velocidad impulsan el sistema para establecer el punto rápidamente con un sobreimpulso mínimo y garantiza recetas de proceso repetibles sin la participación del operador.

Características del producto:

• Sistema de control de presión compacto: válvula con electrónica de control integrada integrada
  - Fácil integración, sin necesidad de cables adicionales o espacio en rack
• Configuraciones de alta velocidad disponibles (<250 mseg. de abrir a cerrar)
  - Punto de ajuste más rápido y recuperación de perturbaciones de flujo y presión
  - Permite un alto rendimiento de la herramienta
• Accionamientos de alto par seleccionables
- Extiende el tiempo de actividad en condiciones de proceso difíciles
• Entrada de sensor Baratron® de doble canal con cambio automático de rango
- Admite un amplio rango de control de presión dinámica
- Permite precisión de control de alta presión
• Algoritmo avanzado de control de presión basado en modelos
- Minimiza el tiempo para establecer el punto
- Garantiza recetas de proceso repetibles sin la participación del operador
• Disponible en versiones de sellado blando de baja conductancia
- Admite procesos de alta presión incluso con flujos bajos (Epi, RTP, SACVD y más)
- Adecuado para "escape doméstico" o aplicaciones atmosféricas
• Proporciona energía para los manómetros de capacitancia Baratron conectados (opcional, algunos modelos)

La válvula reguladora de escape T2BA puede funcionar en dos modos principales: posicionamiento de la aleta o control de presión, cualquiera de los cuales puede ser activado por el usuario a través de la interfaz de E/S. Todos los parámetros de configuración ajustables, la operación de tiempo de ejecución y la información de diagnóstico están disponibles a través de la interfaz de comunicaciones. EtherCAT T2BA es totalmente compatible con los manómetros EtherCAT. Los manómetros analógicos requieren una puerta de enlace.

La técnica de control de presión aguas abajo proporciona un amplio rango dinámico, funciona con todo tipo de bombas, proporciona una respuesta rápida y tolera la mayoría de los gases efluentes. El concepto de "instrumento inteligente" da como resultado un valioso ahorro de espacio en el sistema, una mejor inmunidad al ruido y un fácil acceso a la información de calibración y proceso de tiempo crítico, así como a las funciones de diagnóstico integradas.

El T2BA utiliza un motor paso a paso de alta velocidad de accionamiento directo. El controlador de válvula proporciona un control de presión de alta resolución. El motor de transmisión directa opcional de alto par proporciona un tiempo de actividad prolongado y amplía los ciclos de mantenimiento preventivo, una gran ventaja en procesos exigentes donde solo una hora de tiempo de inactividad puede costar miles de dólares. La T2BA también está disponible en versiones con engranajes, lo que proporciona un par máximo y permite un funcionamiento a largo plazo en entornos hostiles. Las válvulas T2BA se pueden calentar opcionalmente hasta 200 °C con los calentadores externos MKS disponibles (se requiere una selección adecuada de los materiales del sello).

El T2BA está disponible en versiones MKS únicas de baja conductancia, lo que permite el control de presión de alta velocidad en aplicaciones atmosféricas, incluido el control de presión de escape, CVD y RTP sin necesidad de depender de diseños basados en juntas tóricas para minimizar la conductancia de la válvula. Se proporciona un sistema de retroalimentación de posición basado en codificador para fines de diagnóstico. La válvula está construida de acero inoxidable 316 resistente a la corrosión compatible con la mayoría de los gases de proceso y está disponible en estilos de brida ISO estándar con tamaños de orificio de 1" a 4" (tamaños alternativos disponibles a medida). Los sellos estándar que se ofrecen son Viton®, se pueden especificar materiales alternativos para compatibilidad con varios procesos químicos y/o aplicaciones calentadas.