Trampa de escape enfriada por agua modelo 250 de Edwards. Ref.: A53114000

La trampa de escape enfriada por agua modelo 250 de Edwards enfría los gases de escape de la bomba y hace que las partículas se acumulen en la trampa. Esto evita la acumulación de partículas en el sistema de escape. La trampa de escape está diseñada para conectarse a una bomba que se utiliza en un proceso de nitruro LPCVD que utiliza diclorosilano o hexaclorodisilano y amoníaco.

La trampa de escape no es adecuada para la conexión a una bomba que se utiliza en otros procesos. El purgador Edwards modelo 250 está diseñado para adaptarse a las bombas secas CDP y QDP de BOC Edwards y a los sistemas de bombeo seco Drystar MKI, MKII y QMKII. El sistema debe incorporar un interruptor de presión para apagar la bomba si el sistema de escape se bloquea.

La trampa de escape tiene un cuerpo exterior principal que está montado en un bastidor base. La altura del cuerpo de la trampa se puede ajustar en la estructura base para adaptar la trampa a diferentes bombas. El bastidor base tiene ruedas para facilitar el movimiento y patas niveladoras para que pueda colocarse de forma segura en su posición de funcionamiento. La trampa de escape refrigerada por agua modelo 250 tiene el número de pieza A53114000 de Edwards.

Especificaciones de la trampa de escape enfriada por agua modelo 250 de Edwards:

• Se adapta a las bombas secas Edwards: bombas secas CDP y QDP y sistemas de bombeo seco Drystar MKI, MKII y QMKII
• Material: el cuerpo de la trampa es de acero inoxidable AIS 304L y las baterías de refrigeración por agua son de cobre
• El número de pieza de repuesto del revestimiento es A53115020

Para obtener especificaciones completas, descargue el manual de instrucciones.