Bomba de vacío en seco Edwards iXL600N. Suministro trifásico de 200-460 V 50/60 Hz. 600 m3h-1 Velocidad máxima de bombeo. Incluye: accesorios de agua de conexión rápida de 3/8".
Edwards PN: A54134010 El iXL600N es una combinación de bomba seca y sistema de refuerzo. Los sistemas son para uso en aplicaciones de servicio liviano y la variante N está equipada con un módulo de gas que suministra gas de purga de nitrógeno a las áreas del mecanismo de la bomba. El estator, el motor y los impulsores del inversor se enfrían con agua. Los sistemas de bombeo pueden ser controlados por el panel frontal, un accesorio PDT o por la herramienta a través de MicroTIM. Los sistemas de bomba seca están diseñados para usarse en aplicaciones de carga liviana y bloqueo de carga. Las aplicaciones comunes incluyen bloqueo de carga, transferencia, metrología, litografía, proceso de PVD y limpieza previa de PVD.