MKS 627H 1 Torr beheizt 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,12 Prozent des Messwerts, vertikale Kalibrierung, PN: 627H01TBC1B

Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H ist auf 45 °C beheizt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturregelelektronik für höchste Langzeitstabilität und Wiederholgenauigkeit. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Messbereichen bis 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich und eignet sich für die heutigen niedrigeren Prozessdrücke. Basierend auf der bewährten Baratron-Kapazitätsmanometertechnologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® und bieten so hervorragende Beständigkeit gegen korrosive Gase. Das moderne Edelstahlgehäuse sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist austauschbar mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Netzteilen/Anzeigegeräten verwendet werden.

Diese Auflistung gilt für ein Kapazitätsmanometer vom Typ MKS 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 1 Torr (Vollausschlag), einen weiblichen Vakuumflanschanschluss VCR 8, eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und eine vertikale Kalibrierung besitzt und die MKS-Teilenummer 627H01TBC1B hat.

Kompatible Controller und Kabel:

• P102063 - Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Stromversorgung und digitales Anzeigekabel, 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1
• P102062 - MKS PDR 2000 Digitale Stromversorgung und digitaler Kapazitätsmanometer-Controller
• P1010127 - Ideal Vacuum Dual Capacitance Manometer Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige

Produkteigenschaften:

• Ausgezeichnete Langzeitstabilität
• Prozentuale Messwertgenauigkeit für ein präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen
• Skalenendwerte bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen
• Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen komplett aus Inconel
• Schnellere Aufwärmzeit
• Optischer und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises
• Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Anzeigemodulen und Druckreglern
• Misst den Gesamtdruck direkt, unabhängig von der Gaszusammensetzung
• Hoher Überdruckwert für verbesserte Zuverlässigkeit
• Reinraumtaugliches Edelstahlgehäuse