MKS 627H 0,02 Torr beheizt 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,25 Prozent des Messwerts, vertikale Kalibrierung, PN: 627HU2TBE1B

Das kapazitive Manometer 627H Baratron® wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und enthält eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine überragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses kapazitive Manometer ist in Vollbereichsbereichen bis zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der bewährten kapazitiven Manometertechnologie von Baratron bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen korrosive Gase. Das moderne Edelstahlgehäuse sorgt für ein reinraumkompatibles Produkt. Das Produkt ist mit früheren kapazitiven Manometern 627A, 627B, 627D und 627F von Baratron austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Netzteilen/Anzeigegeräten verwendet werden.

Diese Auflistung gilt für ein Kapazitätsmanometer vom Typ MKS 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, einen 15-poligen D-Sub-Signalstecker mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,02 Torr im Skalenendwert, einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Buchse, eine Genauigkeit von 0,25 % des Messwerts und vertikale Kalibrierung besitzt und die MKS-Teilenummer 627HU2TBE1B hat.

Kompatible Controller und Kabel:

• P102063 - Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Stromversorgung und digitales Anzeigekabel, 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1
• P102062 - MKS PDR 2000 Digitale Stromversorgung und digitaler Kapazitätsmanometer-Controller
• P1010127 - Ideal Vacuum Dual Capacitance Manometer Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige

Produkteigenschaften:

• Ausgezeichnete Langzeitstabilität
• Prozentuale Messwertgenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen
• Skalenendwerte bis zu 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen
• Korrosionsbeständige, vollständig aus Inconel bestehende Oberflächen
• Schnellere Aufwärmzeit
• Optischer und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises
• Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Anzeigemodulen und Druckreglern
• Misst den Gesamtdruck direkt, unabhängig von der Gaszusammensetzung
• Hoher Überdruckwert für verbesserte Zuverlässigkeit
• Reinraumtaugliches Edelstahlgehäuse