Ebara EBT70 Turbomolekular-Vakuumpumpe mit Keramiklager, ISO-K 63-Einlassflansch, mit integrierter Steuerung, 75 l/s Sauggeschwindigkeit N2, Zwangslüfter luftgekühlt. Ebara-Teilenummer: EBT70FRAB. Die mechanische Keramiklager-Turbomolekularpumpe Ebara EBT70 mit ISO-K 63 ist eine hocheffiziente, kostengünstige Lösung, die eine saubere und zuverlässige Vakuumerzeugung für Ihre Hochvakuumanwendungen bietet. Die EBT70-Turbopumpe bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungs-Verhältnis und ist mit Präzisionskeramiklagern für jahrelangen störungsfreien Betrieb ausgestattet (>30.000 Stunden vor dem Austausch). Die Rotoren mit neuem Verbunddesign halten seltener Schockbehandlung bei hohem Durchfluss oder Entlüftungsbedingungen stand. Eine verbesserte Effizienz führt zu höheren Pumpgeschwindigkeiten und Gaskompression. Dies ermöglicht höhere Vordruckdrücke und eignet sich daher ideal für verschiedene Anwendungen, einschließlich UHV, mobile Vakuumwagen und Analysesysteme.
Merkmale und Vorteile der Ebara EBT-Modelle:- Robustes Lagerdesign, ideal für mobile Anwendungen
- Hohe Sauggeschwindigkeiten
- Hohe Kompressionsverhältnisse für leichte Gase
- Schnelle Starts und Stopps
- Schnelle Entlüftung (kein Entlüftungspulsieren)
- Lüfter oder Wasserkühlung (nicht im Lieferumfang enthalten)
- ISO- oder Conflat-Flansche (CF).
- Integrierter Controller (ausgewählte Modelle)
Zu den typischen Anwendungen von Turbopumpen gehören:- Halbleiter
- Dünner Film
- Photovoltaik
- Massenspektrometer
- Lampen für Analyseinstrumente
- Oberflächenbehandlung
- Elektronen-/Röntgenröhren
- Ionen-/EB-Quelle
- Wafer-Bonding
- Stottern
- Glas-/Folienbeschichtung
- Auspuffwagen
Die Bedienungsanleitung der Pumpe und Produktbroschüren zur Ebara EBT-Turbopumpe stehen in den Downloads zur Verfügung.