描述
我们还提供采用全氟聚酯 (PFPE) 惰性流体(Krytox® 或 Fomblin® 油)重建的阿尔卡特 2063CP 和 2063CP+ 双级旋片真空泵,以实现半导体 C1 和 C2 兼容性。
这些阿尔卡特 2063C 双级旋片真空泵经过全面改造,可与全氟聚酯 (PFPE) 惰性流体(Krytox® 或 Fomblin® 油)一起使用,与半导体 C1 和 C2 兼容。 C2 半导体兼容系列泵具有 C1 系列的耐化学特性,但在提高半导体加工中对含氯和含氟气体的耐受性方面有所不同。高压级叶片由复合材料制成,具有高耐化学性。入口和排气硬件为不锈钢。我们重建的半导体 C2 兼容泵适用于惰性 PFPE 流体,必须单独订购。抽速排量 @ 60Hz 48 CFM。极限压力 1.5X10 -4 Torr。