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× 真空泵 普通真空室 不锈钢真空室 铝真空室 ExploraVAC 无限室 ExploraVAC TVAC 试验箱 配件和法兰 馈通 真空阀 重建套件、零件和电机 真空液体、油脂和润滑脂 涡轮泵和控制器 过滤器 陷阱 和 消音器 对流和真空预热 漏检和RGA 真空压力测量 循环冷却器和水浴
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阿尔卡特 2063C C1 PFPE 油 Krytox Fomblin 耐化学真空泵翻新

印刷版
健康)状况:
  重建
零件号:
  P101397
保修单:
  90 天

缺货   

NT$170,766.00

在 销售: NT$162,227.70

阿尔卡特 2063C C1 PFPE 油 Krytox Fomblin 耐化学真空泵翻新 162227.7
货币: New Taiwan Dollar (TWD)

描述

我们还提供采用全氟聚酯 (PFPE) 惰性流体(Krytox® 或 Fomblin® 油)重建的阿尔卡特 2063CP 和 2063CP+ 双级旋片真空泵,以实现半导体 C1 和 C2 兼容性。

这些阿尔卡特 2063C 双级旋片真空泵经过全面改造,可与全氟聚酯 (PFPE) 惰性流体(Krytox® 或 Fomblin® 油)一起使用,与半导体 C1 和 C2 兼容。 C2 半导体兼容系列泵具有 C1 系列的耐化学特性,但在提高半导体加工中对含氯和含氟气体的耐受性方面有所不同。高压级叶片由复合材料制成,具有高耐化学性。入口和排气硬件为不锈钢。我们重建的半导体 C2 兼容泵适用于惰性 PFPE 流体,必须单独订购。抽速排量 @ 60Hz 48 CFM。极限压力 1.5X10 -4 Torr。

宣传册

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Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 新墨西哥 87109-5805 USA

电话: (505) 872-0037
传真: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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