全新 MKS HPS® 910 系列 DualTrans™ Micropirani 绝对式压电传感器，KF25，RS485，显示屏，无继电器，PN 910-21024
MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/绝对压电真空传感器专为宽量程压力测量应用而设计，配备 NW25 尺寸 ISO-KF 法兰接头。组合输出比传统热导率真空计具有更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。910 结合了两种压力测量技术，提供卓越的性能和功能。910 提供独立于气体的绝对压力测量，测量范围从 11 至 1500 Torr，其精度高于热导率传感器。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani 中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成，可在极小的体积内进行测量。得益于 MicroPirani 技术，910 可读取低至 10-5 Torr 的压力，比标准皮拉尼传感器低二十倍。该传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 910 可以以任何方向安装，而不会影响精度。
压电式绝对压力传感器 (Piezo) 是一款绝对压力传感器，可直接读取压力，测量结果不受气体影响。压电式传感器的测量范围为小于 1 Torr 至 1500 Torr。910 配备 RS232 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。910 还具有 1VDC/decade 的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备进行压力读取或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面选择。910 配备三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点可以分配给压电式绝对压力测量或 MicroPirani/压电式组合测量。910 的紧凑设计显著减少了真空计占用的空间。这对系统设计师尤其有吸引力，并有助于构建更紧凑的真空系统。注意：完整规格请参见“下载”页面侧面的 .pdf 文件。
