MKS HPS 系列 979B 大气真空 MicroPirani,KF-16。 MKS 零件号:979B-31 MKS HPS® 系列 979B 大气真空 (ATV) 传感器是一款通用真空传感器,可提供从 10-10 托 (UHV) 到大气压的宽测量范围。 979B 将基于 MEMS 的 MicroPirani™ 和微型热阴极传感器组合在一个外壳中,以简化仪表集成。 979B 可以通过数字通信(RS232 或 RS485)进行操作,也可以作为独立的模拟单元进行操作。脱气和灯丝选择可以通过数字通信、顶部面板的按钮控制或模拟连接进行控制。同时需要电源和显示器的客户可以将 979B 与本网站上出售的 PDR900 系列控制器 PN P102879 一起使用。有关完整规格和操作信息,请参阅下载部分。
特点与优势。组合真空传感器和宽测量范围消除了复杂的歧管、接线和控制要求。 MicroPirani™ 在抽空循环期间自动归零,以提高精度。获得专利的脱气功能易于控制,3 个用户可配置继电器用于过程控制。