MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼传感器 KF16 NW16 (PN 103170010SH)（与 MKS 947 对流增强型皮拉尼仪表控制器兼容）
MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠且稳定的压力测量。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 100 Torr 提高到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。
与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 KF16 NW16 法兰。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。
