HALO View 更换/升级窗口,适用于非照明视口、ISO-200、LF200、3/8 英寸熔融石英。此款熔融石英窗口片可替换或升级 Ideal Vacuum ISO-200 HALO 非照明视口窗口组件。非照明 HALO 视口窗口片可现场维修。请参阅下载中的 HALO 视口窗口手册,了解如何更换窗口介质。
我们的熔融石英窗口片采用最高品质的天然石英制成,具有最高的纯度和最低的内含物和气泡水平。与贺利氏 TSC-3 相比,这些窗口片具有更高的透射率,并且比标准玻璃具有更宽的可用波长范围。其特性包括低折射率变化和低热膨胀系数。熔融石英用于等离子蚀刻和沉积系统等半导体应用,建议在要求低碱和低铝含量的情况下使用。它通常用于可见光和近红外至中红外波长范围内的透射光学元件,这些应用需要较高的激光损伤阈值。熔融石英的吸收带在 2600 至 2900 nm 范围内,与熔融石英相似,但吸收强度不如熔融石英。由于在 270 nm 区域有吸收,因此不适用于紫外线工作。
我们还提供采用标准低铁钢化玻璃或熔融石英的 HALO 观察窗组件和替换玻璃。钢化玻璃通常用于粗加工或高真空腔体工艺的常规直接观察,可用于辅助腔体组件的光学对准、观察流体的脱气过程,或用于通过直接观察帮助教授真空工艺。玻璃材质为标准低铁浮法玻璃。表面质量和平整度达到 Q4 级,符合 ASTM 1036-06 和 1048-04 标准。由于玻璃铁含量低,因此略带蓝色。这种经济型玻璃不适用于可见光以下或近红外 (NIR) 波长以外的激光实验。
我们的高纯度熔融石英窗口片双面均经过研磨和抛光,达到光学级标准,总厚度变化 (TTV) <10µm,表面光洁度为 S/D 40/20,表面粗糙度 Ra < 1 nm(与康宁 HPFS 7980 相当)。这些窗口片的透射率显著提高,并且比标准玻璃具有更宽的可用波长范围。其特性包括极低的折射率变化、低双折射率和超低的热膨胀系数。熔融石英适用于需要高激光损伤阈值的透射光学元件。熔融石英适用于工作在深紫外、可见光和近红外波长范围内的光学元件。
请注意,由于 Ideal Vacuum 正在转向使用熔融石英作为其高端窗口产品,熔融石英库存有限。另请注意,熔融石英窗口的熔融石英零件编号标签可能存在错误。您可以通过查看销售发票来验证窗口材料。
非照明 HALO 观察窗可现场维修。如果实验需求发生变化,可以更换窗格或将其更改为其他材料。钢化玻璃、熔融石英和熔融石英的透射率曲线如下图所示:

非照明 HALO 观察窗提供 ISO 63、80、100、160、200 和 250 尺寸,用于替代 ISO 法兰毛坯。与其他 ISO 配件一样,这些 ISO 法兰观察窗使用单爪或双爪夹具以及带 O 形圈的定心环。ISO-K 到 ISO-K 连接使用双爪夹具。ISO-K 到 ISO-F(螺栓连接)连接使用单爪夹具。下表列出了建议使用的爪夹具数量和类型以及所需的定心环:

我们的 ISO 观察窗采用创新的零金属与玻璃接触设计,将 3/8 英寸厚的窗玻璃固定在不锈钢安装法兰上。这种带缓冲的窗安装系统可确保操作员安全,即使在高真空压力下,也比其他观察窗配置更不易泄漏。Ideal Vacuum ISO HALO 观察窗交付时已完全组装,并使用 Viton O 形圈和 Teflon 垫片。烘烤温度最高可达 150 °C。
注意:所有观察窗或视口本质上都是易碎的,应小心处理,并在使用前务必检查。理想真空观察窗的设计和额定值仅适用于真空环境,如果暴露在快速温度变化(>10°C /分钟)下,可能会受到热冲击。如果将激光束穿过观察窗,请确保激光波长能够合理地穿透观察窗材料。请下载并阅读 HALO 观察窗用户手册中的所有安全警告。