Válvula borboleta de escape MKS T2BA, KF40, "F-Seal" (o-ring Viton na melindrosa), RS232, fonte de alimentação do sensor (para Baratron). PN: T2BA01K320003V210025

A válvula aceleradora de escape MKS T2BA foi projetada especificamente para aplicações onde um sistema de controle de pressão simples, porém avançado, é desejado. O T2BA integra todos os circuitos de controle, comunicação e acionamento dentro de um conjunto de válvula borboleta, eliminando assim a necessidade de montar um módulo eletrônico de controle de pressão separado. O algoritmo de controle exclusivo baseado em modelo e a operação em alta velocidade levam o sistema ao ponto de ajuste rapidamente com ultrapassagem mínima e garantem receitas de processo repetíveis sem envolvimento do operador.

Características do produto:

• Sistema compacto de controle de pressão - válvula com controlador eletrônico integrado integrado
  - Fácil integração, sem necessidade de cabos adicionais ou espaço em rack
• Configurações de alta velocidade disponíveis (<250 mseg. aberto para fechado)
  - Ponto de ajuste e recuperação mais rápidos de perturbações de fluxo e pressão
  - Permite alto rendimento da ferramenta
• Drives de alto torque selecionáveis
- Estende o tempo de atividade em condições de processo adversas
• Entrada de sensor Baratron® de canal duplo com comutação automática de faixa
- Suporta ampla faixa de controle de pressão dinâmica
- Permite precisão de controle de alta pressão
• Algoritmo avançado de controle de pressão baseado em modelo
- Minimiza o tempo para definir o ponto
- Garante receitas de processo repetíveis sem envolvimento do operador
• Disponível em versões de vedação suave de baixa condutância
- Suporta processos de alta pressão mesmo em fluxos baixos (Epi, RTP, SACVD e mais)
- Adequado para "exaustão doméstica" ou aplicações atmosféricas
• Fornece energia para manômetros de capacitância Baratron conectados (opcional, alguns modelos)

A válvula aceleradora de escape T2BA pode operar em dois modos principais: posicionamento da chapeleta ou controle de pressão, qualquer um dos quais pode ser ativado pelo usuário através da interface de E/S. Todos os parâmetros de configuração ajustáveis, operação em tempo de execução e informações de diagnóstico estão disponíveis através da interface de comunicação. EtherCAT T2BA é totalmente compatível com manômetros EtherCAT. Os manômetros analógicos requerem um gateway.

A técnica de controle de pressão a jusante oferece ampla faixa dinâmica, funciona com todos os tipos de bombas, fornece resposta rápida e é tolerante à maioria dos gases efluentes. O conceito de “instrumento inteligente” resulta em valiosa economia de espaço no sistema, maior imunidade a ruídos e fácil acesso a informações de processo e calibração urgentes, bem como funções de diagnóstico integradas.

O T2BA utiliza um motor de passo de alta velocidade com acionamento direto. O acionador da válvula fornece controle de pressão de alta resolução. O motor opcional de acionamento direto de alto torque proporciona maior tempo de atividade e amplia os ciclos de manutenção preventiva — uma grande vantagem em processos exigentes onde apenas uma hora de inatividade pode custar milhares de dólares. A T2BA também está disponível em versões com engrenagens, proporcionando torque máximo e permitindo operação de longo prazo em ambientes agressivos. As válvulas T2BA podem ser aquecidas opcionalmente até 200°C com aquecedores externos MKS disponíveis (é necessária a seleção adequada de materiais de vedação).

O T2BA está disponível em versões exclusivas de baixa condutância MKS, permitindo controle de pressão de alta velocidade em aplicações atmosféricas, incluindo controle de pressão de exaustão, CVD e RTP, sem a necessidade de depender de projetos baseados em O-Ring para minimizar a condutância da válvula. Um sistema de feedback de posição baseado em encoder é fornecido para fins de diagnóstico. A válvula é construída em aço inoxidável 316 resistente à corrosão, compatível com a maioria dos gases de processo e está disponível em estilos de flange ISO padrão com diâmetros de 1" a 4" (tamanhos alternativos disponíveis sob medida). As vedações padrão oferecidas são Viton®; materiais alternativos podem ser especificados para compatibilidade com vários processos químicos e/ou aplicações aquecidas.