Bomba de vácuo turbomolecular com rolamento cerâmico Ebara EBT70, flange de entrada ISO-K 63, com controlador integrado, velocidade de bombeamento N2 de 75 l/s, ventilador forçado resfriado a ar. Número da peça Ebara: EBT70FRAB-20. A bomba turbomolecular composta por rolamento cerâmico mecânico Ebara EBT70 com ISO-K 63 é uma solução altamente eficiente e econômica que fornece geração de vácuo limpa e confiável para suas aplicações de alto vácuo. A turbobomba EBT70 oferece um valor excepcional e é equipada com rolamentos cerâmicos de precisão para anos de operação sem problemas (>30.000 horas antes da substituição). Os novos rotores de design composto podem suportar tratamentos de choque pouco frequentes durante condições de alto fluxo ou ventilação. A eficiência aprimorada resulta em velocidades de bombeamento e compressão de gás mais altas. Isso acomoda pressões foreline mais altas, tornando-os ideais para diversas aplicações, incluindo UHV, carrinhos de vácuo móveis e sistemas analíticos.
Recursos e benefícios dos modelos Ebara EBT:- Design de rolamento robusto ideal para aplicações móveis
- Altas velocidades de bombeamento
- Altas taxas de compressão para gases leves
- Partidas e paradas rápidas
- Ventilação rápida (sem pulsação de ventilação)
- Ventilador ou resfriamento de água (não incluído)
- Flanges ISO ou Conflat (CF)
- Controlador Integrado (Modelos Selecionados)
As aplicações típicas da bomba turbo incluem:- Semicondutor
- Filme Fino
- Fotovoltaico
- Espectrometria de massa
- Lâmpadas para instrumentos analíticos
- Tratamento da superfície
- Tubos de elétrons/raios X
- Fonte de íons / EB
- União de wafer
- Pulverização
- Revestimento de vidro/filme
- Carrinhos de exaustão
O manual de instruções da bomba e os folhetos dos produtos da bomba turbo Ebara EBT estão disponíveis para download.