Descrição
Também oferecemos bomba de vácuo de palhetas rotativas de estágio duplo Alcatel 2063CP e 2063CP+ reconstruída com fluidos inertes de perfluoropoliéster (PFPE) (óleos Krytox® ou Fomblin®) para compatibilidade com semicondutores C1 e C2.
Estas bombas de vácuo de palhetas rotativas de estágio duplo Alcatel 2063C foram totalmente reconstruídas para uso com fluidos inertes de perfluoropoliéster (PFPE) (óleos Krytox® ou Fomblin®) para serem compatíveis com semicondutores C1 e C2. As bombas da série compatível com semicondutores C2 compartilham os recursos de resistência química da série C1, mas diferem de maneiras que aumentam sua resistência a gases contendo cloro e flúor encontrados no processamento de semicondutores. A palheta no estágio de alta pressão é feita de um material compósito, que oferece alta resistência química. O hardware de entrada e exaustão é de aço inoxidável. Nossas bombas semicondutoras reconstruídas compatíveis com C2 são preparadas para fluidos PFPE inertes, que devem ser pedidos separadamente. Deslocamento da velocidade de bombeamento @ 60 Hz 48 CFM. Pressão máxima 1,5X10 -4 Torr.