시리즈 900 변환기용 MKS PDR900 진공 게이지 컨트롤러 MKS PDR900 전원 공급 장치 및 판독 장치는 시리즈 900 디지털 진공 변환기와 함께 사용하기 위한 독립형 단일 채널 컨트롤러입니다. 이 기기는 진공 게이지 컨트롤러에 대한 새로운 표준을 설정하고 독립형 전원 공급 장치 판독 장치로 사용하거나 OEM 애플리케이션에서 시스템 통합 변환기의 구성, 교정 및 진단을 위한 도구로 사용할 수 있습니다. PDR900 컨트롤러는 진공 측정, 디지털 변환기 구성 및 고급 시스템 진단을 위한 이상적인 솔루션입니다. 컨트롤러는 원격 변환기 매개변수의 설정 및 구성을 통해 사용자를 안내하는 사용하기 쉬운 메뉴 기반 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 판독 장치는 변환기 케이블을 통해 아날로그 측정 노이즈 커플링을 제거하는 변환기와 디지털 방식으로 통신합니다. 장치는 900 시리즈 변환기 유형을 자동으로 감지하며 RS232 및 RS485 변환기와 함께 사용할 수 있습니다(909/909A 또는 903 아날로그 변환기와 호환되지 않음). 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.

MKS HPS® 시리즈 901P Plus MicroPirani™ Piezo Loadlock 진공 변환기 ISO-KF NW 25, RS-232 PN 901P-21030MKS HPS® 시리즈 901P Plus 변환기에는 펌프 모니터링을 위해 1x10-5 ~ 1,000 Torr를 측정하는 결합 센서 출력이 있습니다. 다운 사이클. 특허를 받은 이 고유한 변환기는 로드록 환경을 위해 특별히 설계되었으며 901 Plus(901P)는 하나의 소형 패키지에서 최대 3개의 센서를 대체합니다. 901P는 MicroPirani™ 및 피에조 센서 기술을 통합하여 압력 측정 및 대기 전환 기능을 모두 제공합니다. 차동 센서는 최적의 로드록 성능을 위해 다양한 기압 조건에서 정확한 대기압 감지를 보장합니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 901P를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다.MKS HPS® 시리즈 901P Plus MicroPirani™ 피에조 로드록 진공 변환기 옵션, 부품 번호(PN): ISO-KF NW 16, RS-232PN 901P-11030ISO-KF NW 16, RS-485PN 901P-12030ISO-KF NW 25, RS-232PN 901P-21030ISO-KF NW 25, RS-485PN 901P-220304 VCR-F, RS-232PN 901P-410304 VCR-F, RS-485PN 901P-420308 VCR-F, RS-232PN 901P-510308 VCR-F, RS-485PN 901P-52030ISO-KF NW 16 EXT, RS-232PN 901P-81030ISO-KF NW 16 EXT, RS-485PN 901P-82030

MKS HPS 902 절대 피에조 변환기 KF16 RS-232, 0.1 ~ 1,000 Torr PN 902B-11010 HPS® 시리즈 902 절대 피에조 변환기는 MEMS 기반 피에조 센서의 압력 측정 기술과 통합 전자 장치를 결합합니다. 902는 가스 유형에 관계없이 경제적이고 절대적인 측정을 제공합니다. 0.1~1,000Torr 풀 스케일의 측정 범위를 갖춘 이 센서는 반도체 제조, 박막 코팅, 동결 건조, 램프 및 전구 생산, 의료 기기, 자동차 및 항공우주를 포함한 응용 분야에 이상적입니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 902를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 등록 상표입니다. MKS Instruments, Inc.Options, (PN) 부품 번호 및 가격: MKS HPS® 시리즈 902 절대 피에조 변환기 빨간색 LED 변환기 디스플레이, PN 902001, 2009 가격 $202ISO-KF NW 16, RS- 485, PN 902-1112 2009 가격 $576ISO-KF NW 16, RS-232, PN 902-1113, 2009 가격 $563ISO-KF NW 16, 아날로그 0-10V, PN 902-1105, 2009 가격 $5004 VCR-F, RS-485, PN 902-1212 2009 가격 $5764 VCR-F, RS-232, PN 902-1213 2009 가격 $5764 VCR-F, 아날로그 0-10V, PN 902-1205, 2009 가격 $5128 VCR-F, RS-485 , PN 902-1312 2009 가격 $5828 VCR-F, RS-232, PN 902-1313 2009 가격 $5828 VCR-F, 아날로그 0-10V, PN 902-1305 2009 가격 $519모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 909AR 디지털 및 아날로그 열음극 변환기, KF-40, RS-232 PN 909AR-51HPS® 열음극 센서는 그리드 중앙에 위치한 미세 와이어 수집기를 활용하는 Bayard-Alpert 스타일입니다. 면적이 작기 때문에 수집기에 닿는 X선이 거의 없습니다. 따라서 게이지는 매우 낮은 압력을 측정할 수 있습니다. 909AR 변환기에는 가동 중지 시간을 줄이기 위해 이트리아 코팅 이리듐 필라멘트 2개가 포함되어 있습니다. 이트리아 코팅 이리듐은 높은 산소 분압과 대기 노출로 인한 손상에 강합니다. 튜브 센서는 더 낮은 온도에서 작동하여 화학 반응 속도를 낮추고 열 간섭을 최소화합니다. 센서에는 큰 입자로부터 센서를 보호하는 스크린이 포함되어 있습니다. 시리즈 909AR에는 RS232 또는 RS485 디지털 통신이 표준 기능으로 포함되어 있습니다. 디지털 통신을 통해 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. 추가적인 프로세스 제어를 위해 909AR에는 릴레이 설정점이 있습니다. 설정점 압력, 히스테리시스 및 방향은 모두 디지털 포트를 통해 조정하고 모니터링할 수 있습니다. 시리즈 909AR은 또한 단순화된 시스템 통합을 위해 0~10V 반대수 출력, 10년당 1V의 아날로그 제어 및 아날로그 출력 기능을 갖추고 있습니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 909AR을 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments, Inc.Options(PN)의 등록 상표입니다. 부품 번호 및 가격: MKS HPS® 시리즈 909AR 디지털 및 아날로그 열음극 변환기CF 1.33, RS-232, PN 909AR-11, 2009 가격 $1221CF 1.33, RS-485, PN 909AR-12, 2009 가격 $1221CF 2.75, RS-232, PN 909AR-21, 2009 가격 $1234CF 2.75, RS-485, PN 909AR-22, 2009 가격 $1234KF 16, RS-232 , PN 909AR-31, 2009 가격 $1202KF 16, RS-485, PN 909AR-32, 2009 가격 $1202KF 25, RS-232, PN 909AR-41, 2009 가격 $1214KF 25, RS-485, PN 909AR-42 , 2009 가격 $1214KF 40, RS-232, PN 909AR-51, 2009 가격 $1221KF 40, RS-485, PN 909AR-52, 2009 가격 $1221모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani 절대 피에조 변환기, KF16, RS485, PN 910-12030 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/절대 피에조 진공 변환기는 광범위한 압력 측정 응용 분야를 위해 특별히 설계되었으며 크기는 NW16 ISO- KF 플랜지 피팅. 결합된 출력은 기존 열전도율 게이지보다 훨씬 더 높은 정확도, 안정성, 반복성 및 더 빠른 응답 시간을 제공합니다. 910은 두 가지 압력 측정 기술을 결합하여 뛰어난 성능과 기능을 제공합니다. 910은 열전도율 센서에 비해 정확도가 향상된 11~1500Torr의 가스 독립적인 절대 압력 측정 기능을 제공합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani의 센서 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. MicroPirani 기술의 결과로 910은 표준 Pirani 센서보다 20년 낮은 10-5 Torr까지 압력을 읽을 수 있습니다. 센서 설계는 대류 영향을 최소화하므로 910은 정확성을 저하시키지 않고 어떤 방향으로도 장착할 수 있습니다. 피에조(Piezo)는 절대 압력 센서로, 직접 압력 판독값을 제공하여 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 피에조 센서는 1Torr 미만에서 1500Torr까지 측정합니다. 910에는 변환기 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS485 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 910에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비와 인터페이스할 수 있는 1VDC/10년의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 910에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 세 개의 기계적 릴레이(예: 연동 차단 밸브 및 진공 펌프)가 있습니다. 각 설정점은 압전 측정 또는 결합된 절대 MicroPirani/Piezo 측정에 할당될 수 있습니다. 910의 컴팩트한 디자인은 진공 게이지가 차지하는 공간을 크게 줄여줍니다. 이는 시스템 설계자에게 특히 매력적이며 보다 컴팩트한 진공 시스템을 가능하게 합니다.

MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani 절대 피에조 변환기, KF16, RS232, PN 910-11 HPS® 시리즈 910은 Pirani 및 Piezo의 압력 측정 기술과 통합 전자 제어 회로를 결합한 이중 센서 변환기입니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다. Series 910 디지털 통신을 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. 910에는 RS485 또는 RS232 통신이 표준 기능으로 포함되어 있습니다. Series 910은 수형 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다. 프로세스 제어를 위해 910에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 910은 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차등 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 910 DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 등록 상표입니다. MKS Instruments, Inc.Options, (PN) 부품 번호 및 가격: NEW MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani Absolute Piezo 변환기 PN 910-11ISO-KF NW 16, RS-232, PN 910-11, 2009 가격 $635ISO-KF NW 16, RS-485, PN 910-12, 2009 가격 $6354 VCR-F, RS-232, PN 910-41, 2009 가격 $6654 VCR-F, RS-485, PN 910-42, 2009 가격 $6658 VCR-F, RS-232, PN 910-51, 2009 가격 $6708 VCR-F, RS-485, PN 910-52, 2009 가격 $670 모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다.

새로운 MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani 절대 피에조 변환기, KF25, RS485, 디스플레이, 릴레이 없음, PN 910-21024 MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/절대 피에조 진공 변환기는 광범위한 압력 측정 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. NW25 ISO-KF 플랜지 피팅 크기가 특징입니다. 결합된 출력은 기존 열전도율 게이지보다 훨씬 더 높은 정확도, 안정성, 반복성 및 더 빠른 응답 시간을 제공합니다. 910은 두 가지 압력 측정 기술을 결합하여 뛰어난 성능과 기능을 제공합니다. 910은 열전도율 센서에 비해 정확도가 향상된 11~1500Torr의 가스 독립적인 절대 압력 측정 기능을 제공합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani의 센서 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. MicroPirani 기술의 결과로 910은 표준 Pirani 센서보다 20년 낮은 10-5 Torr까지 압력을 읽을 수 있습니다. 센서 설계는 대류 영향을 최소화하므로 910은 정확성을 저하시키지 않고 어떤 방향으로도 장착할 수 있습니다. 피에조(Piezo)는 절대 압력 센서로, 직접 압력 판독값을 제공하여 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 피에조 센서는 1Torr 미만에서 1500Torr까지 측정합니다. 910에는 변환기 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS232 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 910에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비와 인터페이스할 수 있는 1VDC/10년의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 910에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 세 개의 기계적 릴레이(예: 연동 차단 밸브 및 진공 펌프)가 있습니다. 각 설정점은 압전 측정 또는 결합된 절대 MicroPirani/Piezo 측정에 할당될 수 있습니다. 910의 컴팩트한 디자인은 진공 게이지가 차지하는 공간을 크게 줄여줍니다. 이는 시스템 설계자에게 특히 매력적이며 보다 컴팩트한 진공 시스템을 가능하게 합니다. 참고: 전체 사양은 다운로드 옆에 있는 .pdf를 참조하세요.

MKS HPS 925 MicroPirani 변환기 NW/KF 16, RS-232, 10-5 - 대기압(디스플레이 포함). PN: 925-11034 MKS 925는 표준 피라니 센서보다 20년 낮은 1x10-5 Torr부터 대기까지 압력 측정 범위가 증가한 것이 특징입니다. Series 925 MicroPirani™ 변환기는 열전도도 게이지이며 MEMS MicroPirani™ 센서 기술을 소형 패키지에 통합합니다. 925에는 세 가지 옵션 설정점 릴레이가 있습니다. 범위가 확장된 925는 특정 응용 분야에서 여러 변환기를 대체할 수 있습니다. 여기에는 KF16 플랜지 RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수 및 3개의 릴레이가 있습니다. 통합 터치스크린 디스플레이는 사용자가 구성할 수 있습니다. 사용자는 압력 단위와 방향을 변경할 수 있으며 설정점 매개변수와 가스 유형에 액세스할 수 있습니다. 디스플레이에는 사용 가능한 설정점 릴레이의 상태도 표시됩니다. 표시된 판독값은 고대비 디스플레이를 통해 5m 이상 떨어진 곳에서도 볼 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments의 등록 상표입니다. 옵션 및 (PN) 부품 번호: NEW MKS HPS® 시리즈 925 MicroPirani™ 변환기 KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1개의 릴레이 설정점(925C 호환) PN 925-11010 , 2009 KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-11020, 2009 KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개의 릴레이 PN 925-11030, 2009 KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-12020, 2009 KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15 핀 sub-D 수, 3개의 릴레이 PN 925-12030, 2009 KF25, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-21020, 2009 KF25, RS232/아날로그, 0- 9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-21030, 2009 KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-22020, 2009 KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-22030, 2009 1/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1개의 릴레이 설정점(925C 호환) PN 925-31010, 2009 1/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-31020, 2009 1/8인치 NPT ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-31030, 2009 1/8인치 NPT, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-32020, 2009 1/8인치 NPT, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-32030, 2009 VCR4, RS232/아날로그, 0- 9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1개의 릴레이 설정점(925C) 호환 PN 925-41010, 2009 VCR4, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925 -41020, 2009 VCR4, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 릴레이 3개 PN 925-41030, 2009 VCR4, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 릴레이 없음 PN 925-42020, 2009 VCR4 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-42030, 2009 VCR8 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/10년 , 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-51020, 2009 VCR8 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개 PN 925-51030, 2009 VCR8 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-52020, 2009 VCR8 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개 PN 925-52030, 2009

MKS HPS 925 MicroPirani 변환기 NW/KF 25, RS-232, 10-5 - 대기압(디스플레이 포함). PN: 925-21034 MKS 925는 표준 Pirani 센서보다 20년 낮은 1x10-5 Torr부터 대기까지 압력 측정 범위가 증가한 것이 특징입니다. Series 925 MicroPirani™ 변환기는 열전도도 게이지이며 MEMS MicroPirani™ 센서 기술을 소형 패키지에 통합합니다. 925에는 세 가지 옵션 설정점 릴레이가 있습니다. 범위가 확장된 925는 특정 응용 분야에서 여러 변환기를 대체할 수 있습니다. 여기에는 KF25 플랜지 RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수 및 3개의 릴레이가 있습니다. 통합 터치스크린 디스플레이는 사용자가 구성할 수 있습니다. 사용자는 압력 단위와 방향을 변경할 수 있으며 설정점 매개변수와 가스 유형에 액세스할 수 있습니다. 디스플레이에는 사용 가능한 설정점 릴레이의 상태도 표시됩니다. 표시된 판독값은 고대비 디스플레이를 통해 5m 이상 떨어진 곳에서도 볼 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 옆에 있는 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 전체 사양 및 작동 정보는 옆에 있는 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments의 등록 상표입니다. 옵션 및 (PN) 부품 번호: NEW MKS HPS® 시리즈 925 MicroPirani™ 변환기 KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1 릴레이 설정점(925C 호환) PN 925-11010 , 2009 KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-11020, 2009 KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개의 릴레이 PN 925-11030, 2009 KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-12020, 2009 KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15 핀 sub-D 수, 3개의 릴레이 PN 925-12030, 2009 KF25, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-21020, 2009 KF25, RS232/아날로그, 0- 9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-21030, 2009 KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-22020, 2009 KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-22030, 2009 1/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1개의 릴레이 설정점(925C 호환) PN 925-31010, 2009 1/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-31020, 2009 1/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-31030, 2009 1/8인치 NPT, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-32020, 2009 1/8인치 NPT, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-32030, 2009 VCR4, RS232/아날로그, 0- 9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1개의 릴레이 설정점(925C) 호환 PN 925-41010, 2009 VCR4, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925 -41020, 2009 VCR4, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 릴레이 3개 PN 925-41030, 2009 VCR4, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 릴레이 없음 PN 925-42020, 2009 VCR4 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이 PN 925-42030, 2009 VCR8 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/10년 , 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-51020, 2009 VCR8 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개 PN 925-51030, 2009 VCR8 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음 PN 925-52020, 2009 VCR8 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개 PN 925-52030, 2009

MKS 910 및 925 MicroPirani 변환기에 이상적인 진공 AC 전원 공급 장치 어댑터, 120VAC를 12VDC로 변환, 15핀 연결, 6피트(1.8m) 케이블 길이. 이러한 Ideal Vacuum AC 범용 전원 공급 장치 벽 변압기는 MKS Granville-Phillips® 275 Mini-Convectron® 모듈식 진공 압력 변환기용 또는 디스플레이가 내장된 MKS Granville-Phillips 900 시리즈 변환기용입니다. 이 케이블은 50-60Hz, 120-240VAC를 12VDC로 변환하고 15핀 연결을 통해 연결됩니다. 케이블 길이는 1.8m(6피트)입니다.

MKS HPS® 시리즈 925 MicroPirani™ 변환기 PN 925-22020MKS 925는 표준 Pirani 센서보다 20년 낮은 1x10-5 Torr부터 대기까지 압력 측정 범위가 증가한 것이 특징입니다. Series 925 MicroPirani™ 변환기는 열전도도 게이지이며 MEMS MicroPirani™ 센서 기술을 소형 패키지에 통합합니다. 925에는 세 가지 옵션 설정점 릴레이가 있습니다. 확장된 범위를 통해 925는 특정 응용 분야에서 여러 변환기를 대체할 수 있습니다. 여기에는 KF25 플랜지 RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수 및 릴레이가 없습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 변경될 수 있습니다. 업데이트된 가격 정보를 원하시면 (505)872-0037로 전화해 주세요. HPS® 및 MicroPirani™는 등록 상표 MKS Instruments입니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하십시오. 옵션, (PN) 부품 번호 및 가격: NEW MKS HPS® 시리즈 925 MicroPirani™ 트랜스듀서 KF16, RS232/아날로그, 0- 9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1 릴레이 설정점(925C 호환)PN 925-11010, 2009 가격 $505KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-11020, 2009 가격 $505KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-11030, 2009 가격 $540KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15 핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-12020, 2009 가격 $540KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개PN 925-12030, 2009 가격 $540KF25, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-21020, 2009 가격 $540KF25, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개PN 925-21030, 2009 가격 $560KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-22020, 2009 가격 $540KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수 , 3개 릴레이PN 925-22030, 2009 가격 $5801/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 9핀 하위 D 수, 1개 릴레이 설정점(925C 호환)PN 925-31010, 2009 가격 $5651/ 8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 릴레이 없음PN 925-31020, 2009 가격 $5451/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 -D 수형, 3개 릴레이PN 925-31030, 2009 가격 $5851/8인치 NPT,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15핀 하위 D 수형, 릴레이 없음PN 925-32020, 2009 가격 $5451/8인치 NPT, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-32030, 2009 가격 $585VCR4,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 릴레이 세트 1개 포인트(925C) 호환PN 925-41010, 2009 가격 $580VCR4 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-41020, 2009 가격 $560VCR4 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-41030, 2009 가격 $600VCR4 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-42020, 2009 가격 $560VCR4 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-42030, 2009 가격 $600VCR8 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-51020, 2009 가격 $565VCR8 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-51030, 2009 가격 $605VCR8 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15 핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-52020, 2009 가격 $565VCR8 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개PN 925-52030, 2009 가격 $605가격은 변경될 수 있습니다. 업데이트된 가격 정보를 원하시면 (505)872-0037로 전화해 주세요.

MKS HPS® 시리즈 925 MicroPirani™ 변환기 PN 925-21030MKS 925는 표준 Pirani 센서보다 20년 낮은 1x10-5 Torr부터 대기까지 압력 측정 범위가 증가한 것이 특징입니다. Series 925 MicroPirani™ 변환기는 열전도도 게이지이며 MEMS MicroPirani™ 센서 기술을 소형 패키지에 통합합니다. 925에는 세 가지 옵션 설정점 릴레이가 있습니다. 확장된 범위를 통해 925는 특정 응용 분야에서 여러 변환기를 대체할 수 있습니다. 여기에는 KF25 플랜지 RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수 및 3개의 릴레이가 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments의 등록 상표입니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하십시오. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 등록 상표입니다. MKS Instruments.Options, (PN) 부품 번호 및 가격: NEW MKS HPS® 시리즈 925 MicroPirani™ 변환기 KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 9핀 sub-D 수 , 1개의 릴레이 설정점(925C 호환)PN 925-11010, 2009 가격 $505KF16, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-11020, 2009 가격 $505KF16, RS232/ 아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 릴레이 3개PN 925-11030, 2009 가격 $540KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 릴레이 없음PN 925-12020 , 2009 가격 $540KF16, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수, 3개 릴레이PN 925-12030, 2009 가격 $540KF25, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/디케이드, 15핀 하위 D 수형, 릴레이 없음PN 925-21020, 2009 가격 $540KF25, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 하위 D 수형, 3개 릴레이PN 925-21030, 2009 가격 $560KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-22020, 2009 가격 $540KF25, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 3개PN 925-22030, 2009 가격 $5801/ 8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 9핀 sub-D 수, 1 릴레이 설정점(925C 호환)PN 925-31010, 2009 가격 $5651/8인치 NPT, RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-31020, 2009 가격 $5451/8인치 NPT,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-31030, 2009 가격 $5851/8인치 NPT, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-32020, 2009 가격 $5451/8인치 NPT, RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-32030, 2009 가격 $585VCR4,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 9핀 sub-D 수, 1 릴레이 설정점(925C) 호환PN 925-41010, 2009 가격 $580VCR4 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-41020, 2009 3개 릴레이PN 925-41030, 2009 가격 $600VCR4 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-42020, 2009 가격 $560VCR4 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade , 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-42030, 2009 가격 $600VCR8 ,RS232/아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 릴레이 없음PN 925-51020, 2009 가격 $565VCR8,RS232/ 아날로그, 0-9VDC 1V/Decade, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-51030, 2009 , 2009 가격 $565VCR8 ,RS485/아날로그, 0-9VDC 1V/10년, 15핀 sub-D 수, 3개 릴레이PN 925-52030, 2009 가격 $605모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다.

MKS HPS 971 UniMag 변환기 NW25, RS232, KF 25, 10-3 ~ 10-8 Torr SubD 수 릴레이 없음, PN 971B-21030971 UniMag 변환기는 1x10-8Torr ~ 5x10-3Torr의 측정 범위를 제공하며 냉음극을 기반으로 합니다. 반전형 마그네트론 센서 기술. 971은 기본 압력 측정 및 제어를 위한 비용 효과적인 솔루션입니다. 시리즈 971 UniMag에는 변환기 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS232 또는 RS485 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 971 UniMag 변환기에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비와 인터페이스할 수 있는 0.5VDC/decade의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 시리즈 971 UniMag에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 최대 3개의 기계식 릴레이가 있으며, 예를 들어 연동 밸브 또는 펌프가 있습니다. 971 UniMag 변환기에는 변환기 전자 장치를 분해하지 않고도 손쉬운 서비스를 제공하는 사용자 변경 가능 냉음극 양극 모듈이 있습니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 971 UniMag를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 등록 상표입니다. MKS Instruments, Inc. 옵션, (PN) 부품 번호 및 가격: NEW MKS HPS® 시리즈 971 UniMagTransducerNW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수형 릴레이PN 971-21020, 2009 가격 $7102 3/4" CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 971-71020, 2009 가격 $815NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 971-91020, 2009 가격 $755NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-없음 릴레이PN 971-22020, 2009 가격 $7452 3/4" CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-없음 릴레이PN 971-72020, 2009 가격 $815NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-없음 릴레이PN 971 -92020, 2009 가격 $755NW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 971-21030, 2009 가격 $7852 3/4" CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 971-71030, 2009 가격 $855NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 971-91030, 2009 가격 $795NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 971-22030, 2009 가격 $7952 3/4" CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 971-72030, 2009 가격 $855NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 971-92030, 2009 가격 $895모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 974 QuadMag MicroPirani™ 압전 냉음극 변환기, KF-40, RS-232. MKS 부품 번호: 974-91020 974 QuadMag는 1x10-8 ~ 1500 Torr의 측정 범위를 제공하고 냉음극 반전 마그네트론, MicroPirani™ 및 Piezo 차동 센서 기술을 결합합니다. 974는 진공 로드록 내 압력 측정을 위해 특별히 설계되었습니다. 대기에서 10-8Torr까지의 절대 압력 측정 및 대기 전환 기능으로 로드록의 여러 압력 측정 장치를 대체할 수 있는 기능이 있습니다. 결과적으로 OEM은 단순화된 로드록 설계를 통해 비용을 절감할 수 있습니다. 974는 절대 압력 측정과 대기 전환 기능이 모두 필요한 로드락이나 진공 챔버에서 사용할 수 있습니다. Series 974 QuadMag에는 변환기 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS232 또는 RS485 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 974 QuadMag 변환기에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비와 인터페이스할 수 있는 0.5VDC/decade의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 기타 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. Series 974 QuadMag에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 최대 3개의 기계식 릴레이가 있으며, 예를 들어 연동 밸브 또는 펌프가 있습니다. 974 QuadMag 변환기에는 변환기 전자 장치를 분해하지 않고도 손쉬운 서비스 가능성을 제공하는 사용자 변경 가능 냉음극 양극 모듈이 있습니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974 QuadMag를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS®는 등록 상표이고 MicroPirani™는 ©2009 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다. 판권 소유. 옵션, (PN) 부품 번호 및 가격: NEW MKS HPS® 시리즈 974 QuadMag MicroPirani™ 피에조 냉음극 변환기NW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-21020, 2009 가격 $12952 3/4 CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-71020, 2009 가격 $1365NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수- 릴레이 없음PN 974-91020, 2009 가격 $1325NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-22020, 2009 가격 $12952 3/4 CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-72020, 2009 가격 $1335NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-없음 릴레이PN 974-92020, 2009 가격 $1275NW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-21030, 2009 가격 $13052 3/4 CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-71030, 2009 가격 $1375NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-91030, 2009 가격 $1315NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-22030, 2009 가격 $13052 3/4 CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-72030, 2009 가격 $1395NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-92030, 2009 가격 $1315?모든 가격에는 다음이 적용됩니다. 예고 없이 바뀌나요?

MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기 KF-25, 1 x 10-8 ~ 1500 Torr. RS232, 절대 프로세스 측정. MKS 부품 번호: 974B-21020 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기는 1~4개의 센서(냉음극, MicroPirani™ 및 Piezo 기술)를 활용하는 컴팩트하고 저렴한 범용 변환기 제품군인 MKS 970 시리즈에 속합니다. . 이러한 감지 기술을 결합하면 대기에서 10-8 Torr까지 넓은 측정 범위가 가능해집니다. 작은 크기, 광범위한 범위 및 저렴한 비용 외에도 970 시리즈는 디지털 통신을 통해 작동하거나 자율 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다. 디지털 통신 기능이 있는 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기를 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. MKS 974B 변환기는 RS485 또는 RS232 통신을 표준 기능으로 지원합니다. 이 974B QuadMag 냉음극 변환기는 수 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다. 프로세스 제어를 위해 974B에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 974B는 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차동 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974B DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.

MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기 KF-40, 1 x 10-8 ~ 1500 Torr. MKS 부품 번호: 974B-92020 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기는 1~4개의 센서(냉음극, MicroPirani™ 및 Piezo 기술)를 활용하는 컴팩트하고 저렴한 범용 변환기 제품군인 MKS 970 시리즈에 속합니다. . 이러한 감지 기술을 결합하면 대기에서 10-8 Torr까지 넓은 측정 범위가 가능해집니다. 작은 크기, 광범위한 범위 및 저렴한 비용 외에도 970 시리즈는 디지털 통신을 통해 작동하거나 자율 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다. 디지털 통신 기능이 있는 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기를 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. MKS 974B 변환기는 RS485 또는 RS232 통신을 표준 기능으로 지원합니다. 이 974B QuadMag 냉음극 변환기는 수 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다. 프로세스 제어를 위해 974B에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 974B는 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차동 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974B DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.

MKS HPS 시리즈 979B 대기-진공 MicroPirani, KF-16. MKS 부품 번호: 979B-31 MKS HPS® 시리즈 979B 대기-진공(ATV) 변환기는 10-10 torr(UHV)에서 대기압까지 넓은 측정 범위를 제공하는 범용 진공 변환기입니다. 979B는 단순화된 게이지 통합을 위해 MEMS 기반 MicroPirani™와 소형 열음극 센서를 단일 하우징에 결합합니다. 979B는 디지털 통신(RS232 또는 RS485)을 통해 작동하거나 자율 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다. 가스 제거 및 필라멘트 선택은 디지털 통신, 상단 패널의 푸시 버튼 제어 또는 아날로그 연결을 통해 제어할 수 있습니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러 PN P102879와 함께 979B를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 다운로드 섹션을 참조하세요. 특징 및 이점. 결합된 진공 센서와 넓은 측정 범위로 인해 복잡한 매니폴드, 배선 및 제어 요구 사항이 제거됩니다. MicroPirani™는 정확도 향상을 위해 펌프 다운 주기 동안 자동으로 영점을 조정합니다. 손쉬운 제어를 위한 특허받은 가스 제거 기능과 프로세스 제어를 위한 사용자 구성 가능 릴레이 3개.

MKS HPS® 시리즈 999 Quattro™ 다중 센서 열음극 변환기, KF-40, RS232. MKS 부품 번호 999-51 MKS HPS® 시리즈 999 Quattro™는 대기 전환 기능과 결합하여 10-10 Torr에서 대기까지의 압력 측정을 제공하는 최고의 변환기 솔루션입니다. Quattro는 HPS의 핵심 기술 3가지를 통합 게이지 솔루션으로 결합하고 하나의 소형 패키지에 4개의 센서 기능을 갖추고 있습니다. Quattro에는 소형 열음극 이온화 센서, MEMS 기반 MicroPirani™ 센서 및 고유한 압전 센서가 포함되어 있어 차동 및 절대 센서 기능을 모두 제공합니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 999를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 다운로드 섹션을 참조하세요.

단일 902 또는 902B 피에조 변환기에 대한 MKS MGPD-E 컨트롤러용 이상적인 진공 케이블, DB9 수-암, 10피트, RS232 RS485. 이 이상적인 진공 케이블은 MKS MGPD-E 디지털 전원 공급 장치와 판독값을 단일 902 또는 902B 절대 피에조 진공 압력 변환기에 연결합니다. RS232 또는 RS485 직렬 통신용 DB 수 - DB9 암 커넥터. 길이는 3미터(10피트)입니다.

MKS 케이블은 PDR900을 시리즈 902, 925 및 925C, RS232, 9핀 - 15핀, 10피트에 연결합니다. 부품 번호 100013613. 이 MKS 케이블은 PDR900을 시리즈 902, 925 및 925C - 9핀, 15핀 트랜스듀서, 10피트(3m) 길이, RS232에 연결합니다. 모든 MKS 900 시리즈 진공 트랜스듀서의 선택 가이드는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양과 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS®는 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다.

MKS 15핀 - 15핀 진공 게이지 컨트롤러 케이블, PRR900을 트랜스듀서에 연결, RS232, 10피트(3미터) 길이, MKS 부품 번호: 100013620. 이 MKS 진공 게이지 케이블은 PDR900 컨트롤러를 대부분의 MKS 900 시리즈 진공 압력 트랜스듀서에 연결합니다. 길이가 10피트(3미터)인 15핀 수-암 케이블이며 MKS 부품 번호는 100013620이며 다음 변환기 모델과 함께 작동합니다. MKS 901P MKS 909AR MKS 910 MKS 925 MKS 979B MKS 971 MKS 972 MKS 973 MKS 974 MKS 999 MKS 900 시리즈 진공 압력 변환기에 대한 추가 정보 및 참조는 아래 다운로드 섹션에서 제공되는 선택 가이드를 참조하십시오. HPS는 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS®는 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다.