재구축 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 터보분자 고진공 펌프, CF 8인치 흡입구, 수냉식

이 재구축된 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 터보분자 고진공 펌프에는 흡입 플랜지에 CF-8이 있고 최대 압력은 1x10 ^-10 Torr이며 Agilent Varian 부품 번호는 X3511-64017입니다. TwisTorr 704 터보분자 펌프는 질소(N2) 펌핑 속도가 660l/s로 최소 비용으로 성능을 극대화합니다. TwisTorr 704는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축비를 생성하는 TwisTorr 드래그 스테이지를 활용하여 높은 처리량과 포어라인 압력에 대한 높은 내성을 제공하므로 더 작고 경제적인 배압 펌프를 사용할 수 있습니다. 모든 펌핑 프로필에서 TwisTorr 704 FS를 작동하는 데 사용할 수 있는 8 CFM만큼 작은 기본 펌프 크기(예: Agilent Varian TriScroll 300 및 IDP-15 건식 스크롤 진공 펌프 또는 DS302 회전 날개 진공 펌프)를 권장합니다. ISO 및 Conflat 흡입 플랜지가 있는 TwisTorr 704 터보 펌프는 베이크가 가능하며 흡입 플랜지의 최대 베이크아웃 온도는 80°C(ISO) 및 120°C(ConFlat)입니다. 이 장치는 수냉식으로 설계되었지만 별도로 구매할 수 있는 공냉식 키트도 동시에 실행할 수 있습니다.

Agilent Varian TwisTorr 704 터보분자 고진공 펌프는 전자현미경(SEM, TEM), 집속 이온빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 다양한 분석 장비 응용 분야에 통합됩니다. SEM, TEM 및 FIB와 같은 최신 집속 빔 시스템은 컬럼을 사용합니다. 자세한 분석을 위해 미세한 샘플에 전자나 이온을 투사합니다. 최종 사용자는 유기 화합물부터 반도체 웨이퍼까지 모든 유형의 물질을 분석합니다. 특히 반도체 산업에서는 더 나은 샘플 분해능을 위해 더 높은 감도가 필요합니다. 또 다른 주요 요구 사항은 이러한 기기의 소유 비용을 낮추기 위한 높은 시료 처리량입니다. Agilent Varian TwisTorr 704 터보분자 고진공 펌프는 대형 시료 챔버에서 오일 없이 빠르게 공기를 배출할 수 있기 때문에 최신 집속 빔 시스템의 핵심 구성 요소이기도 합니다. 반도체 제조).

모든 옵션 액세서리, 컨트롤러 및 다양한 구성은 Ideal Vacuum Products에서 구매하실 수 있습니다. 사용자 매뉴얼과 데이터시트는 다운로드 섹션에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다. 모든 터보 펌프 요구사항에 대해서는 (505) 872-0037로 전화해 주십시오.