TC 110 구동 장치 DN63 ISO-K 63 흡입 플랜지 67 l/s 펌핑 속도 공랭식 또는 수냉식을 갖춘 Pfeiffer HiPace 80 터보 펌프. 파이퍼 부품 번호: PM P03 940 A. DN63 ISO-K 흡입 플랜지가 장착된 Pfeiffer HiPace 80 터보분자 고진공 펌프는 초당 67리터(l/s)의 펌핑 속도와 7.5 x 10
-8 Torr의 최종 압력을 갖습니다. 이 Pfeiffer HiPace 80 펌프는 펌프 측면에 통합 TC 110 구동 장치가 장착되어 있으며 ISO KF-16 배기 포어라인 플랜지가 있습니다. 펌프는 어떤 방향으로도 장착할 수 있습니다. 최대 110W의 24VDC 입력 전원이 필요합니다. ISO-K 63 흡입구와 TC 110 구동 장치를 갖춘 이 HiPace 80 터보 펌프의 부품 번호는 PM P03 940 A입니다.
포함된 TC 110 드라이브 장치는 펌프 전원 공급을 위한 단일 X3(15핀 D-Sub) 커넥터, RS485 통신 및 액세서리 포트(공기 냉각 팬 또는 솔레노이드 환기 밸브 제어용)를 포함하는 소형 온보드 컨트롤러입니다. OEM(Original Equipment Manufacturer) 및 시스템 통합 애플리케이션의 경우 펌프를 시작하는 데 필요한 것은 시작/중지 논리와 함께 적합한 24VDC 전원 공급 장치뿐입니다. 실험실 응용 분야의 경우 전원을 공급하고 펌프를 제어할 수 있는 200W Pfeiffer OmniControl 200 컨트롤러를 권장합니다. OmniControl 200은 RS485를 통해 Pfeiffer HiPace 시리즈 터보 펌프와 통신하고 전체 모니터링 및 제어를 제공하는 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원입니다. 대안으로, 보다 경제적인 Pfeiffer DCU 110 컨트롤러를 사용하여 전원을 공급하고 펌프를 제어할 수도 있습니다. 펌프와 컨트롤러를 상호 연결하고 RS485 커넥터와 액세서리 포트를 분리하려면 파이퍼 케이블 부품 번호 P103335 또는 P1011168을 사용하십시오.
당사는 OmniControl 200 및 DCU 110 펌프 컨트롤러, 흡입구 스크린, 강제 공랭식 및 수냉식 키트, 솔레노이드 작동식 환기 밸브 및 히터 밴드(ConFlat CF 플랜지 펌프에만 해당)를 포함한 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다.
ISO-K 63 흡입구 및 TC 110 구동 장치 사양을 갖춘 Pfeiffer HiPace 80 터보 펌프:- 부품 번호: PM P03 940A
- 입구 플랜지: ISO-63K(플랜지는 이중 발톱 클램프로 연결됨)
- 기본 압력: 7.5 x 10 -8 Torr
- 작동 속도: 90,000RPM
- 장착 방향: 모두
- 펌핑 속도: 67l/s
- 냉각 방식 표준: 대류
- 냉각 방법 옵션: 강제 공기 또는 물(75 l/h, 15 ~ 25 °C)
- 배기 플랜지: KF-16, G 1/4"(BSPP)
- 환기 연결: G 1/8”(BSPP)
- 일체형 컨트롤러: TC 110 드라이브 유닛
- 작동 전압: 24VDC
- 최대 전력: 110와트
- 런업타임' 1.7분
- 인터페이스: RS485, 원격, 15핀 D-Sub X3 커넥터 사용
- 액세서리 포트: 15핀 D-Sub X3 커넥터를 통한 2개
- 입력 전원: 15핀 D-Sub X3 커넥터를 통해
- 작동 모드 디스플레이: 3개의 LED
- 권장 러핑 펌프: HiScroll 6 건식 스크롤 펌프
파이퍼 베큠 HiPace 터보 펌프 시리즈는 검증된 하이브리드 베어링을 갖춘 독특한 로터 설계를 특징으로 합니다. HiPace 펌프는 높은 펌핑 속도와 높은 가스 처리량은 물론 가벼운 가스에 대한 높은 압축도 달성합니다. HiPace 펌프는 더 높은 백킹 라인 압력에 대한 내성을 개선하기 위해 터보분자 단계와 드래그 단계를 모두 갖추고 있으며 모든 가스종에 걸쳐 향상된 펌핑 속도를 제공합니다. HiPace 하이브리드 베어링은 전진공 측의 세라믹 볼 베어링과 고진공 측의 영구 자석 레이디얼 베어링의 조합입니다. 이 베어링 기술에는 전자석이 필요하지 않으며 일반적인 유지 관리 간격이 약 4년으로 연장된 서비스 수명을 제공합니다. 향상된 성능 외에도 모든 HiPace 터보 펌프에는 현장에서 서비스 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링이 있어 가동 중지 시간이 크게 줄어듭니다.
Conflat CF 플랜지가 있는 Pfeiffer HiPace 펌프는 최종 압력이 10
-10 Torr 범위에 이르는 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전체 금속 흡입 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 청소하고 베이크아웃한 경우). . ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 (고무/탄성중합체 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최종 압력이 10
-8 Torr 범위로 제한됩니다. Conflat-flanged HiPace 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식인 경우 최대 120°C까지 구워질 수 있습니다.
일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.- 일반 클린 펌핑 애플리케이션
- 주사전자현미경 - SEM
- 빔 라인과 고에너지 물리학
- 질량 분석
- 전자현미경
- 샘플 준비
- 연구 및 개발
- 고에너지 물리학
- 산업용
- 반도체
- 코팅
- 표면 과학 장비
펌프 사용 설명서와 Pfeiffer HiPace 펌프 제품 브로셔는 다운로드할 수 있습니다.
