MKS T2BA 버터플라이 배기 스로틀 밸브, KF40, "F-씰"(플래퍼의 Viton O-링), RS232, 센서 전원 공급 장치(Baratron용). PN: T2BA01K320003V210025

MKS T2BA 배기 스로틀 밸브는 단순하면서도 고급 압력 제어 시스템이 필요한 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. T2BA는 스로틀 밸브 어셈블리 내에 모든 제어, 통신 및 드라이버 회로를 통합하므로 별도의 압력 제어 전자 모듈을 장착할 필요가 없습니다. 고유한 모델 기반 제어 알고리즘과 고속 작동은 오버슈트를 최소화하면서 시스템을 설정 지점으로 신속하게 구동하고 작업자 개입 없이 반복 가능한 프로세스 레시피를 보장합니다.

제품 특징:

• 컴팩트한 압력 제어 시스템 - 온보드 컨트롤러 전자 장치가 통합된 밸브
  - 손쉬운 통합으로 추가 케이블이나 랙 공간이 필요하지 않습니다.
• 고속 구성 가능(<250msec. 열림부터 닫힘까지)
  - 흐름 및 압력 교란으로부터 더 빠른 설정점 및 복구
  - 높은 도구 처리량 가능
• 선택 가능한 높은 토크 드라이브
- 열악한 공정 조건에서 가동 시간 연장
• 범위 자동 전환 기능이 있는 듀얼 채널 Baratron® 센서 입력
- 넓은 동압 제어 범위 지원
- 높은 압력 제어 정확도를 허용합니다.
• 고급 모델 기반 압력 제어 알고리즘
- 포인트 설정 시간 최소화
- 작업자 개입 없이 반복 가능한 프로세스 레시피 보장
• 낮은 전도도의 소프트 씰링 버전으로 제공
- 낮은 유량에서도 고압 프로세스를 지원합니다(Epi, RTP, SACVD 등).
- "집 배기" 또는 대기 응용 분야에 적합
• 연결된 Baratron 정전식 압력계에 전원을 공급합니다(옵션, 일부 모델).

T2BA 배기 스로틀 밸브는 플래퍼 위치 지정 또는 압력 제어라는 두 가지 기본 모드로 작동할 수 있으며, 둘 중 하나는 I/O 인터페이스를 통해 사용자가 활성화할 수 있습니다. 조정 가능한 모든 설정 매개변수, 런타임 작동 및 진단 정보는 통신 인터페이스를 통해 사용할 수 있습니다. EtherCAT T2BA는 EtherCAT 압력계와 완벽하게 호환됩니다. 아날로그 압력계에는 게이트웨이가 필요합니다.

다운스트림 압력 제어 기술은 넓은 동적 범위를 제공하고 모든 유형의 펌프와 함께 작동하며 빠른 응답을 제공하고 대부분의 배출 가스에 내성이 있습니다. "지능형 장비" 개념은 귀중한 시스템 공간 절약, 향상된 소음 내성, 시간이 중요한 프로세스 및 교정 정보뿐만 아니라 온보드 진단 기능에 대한 쉬운 액세스를 제공합니다.

T2BA는 직접 구동 고속 스테퍼 모터를 사용합니다. 밸브 드라이버는 고해상도 압력 제어를 제공합니다. 선택사양인 높은 토크 직접 구동 모터는 가동 시간을 연장하고 예방적 유지 관리 주기를 연장합니다. 이는 단 한 시간의 가동 중지 시간으로 인해 수천 달러의 비용이 발생할 수 있는 까다로운 공정에서 큰 이점을 제공합니다. T2BA는 기어 버전으로도 제공되므로 최대 토크를 제공하고 열악한 환경에서 장기간 작동이 가능합니다. T2BA 밸브는 선택적으로 MKS 외부 히터를 사용하여 최대 200°C까지 가열할 수 있습니다(적절한 씰 재질 선택 필요).

T2BA는 고유한 MKS 낮은 전도도 버전으로 제공되므로 밸브 전도도를 최소화하기 위해 O-링 기반 설계에 의존할 필요 없이 배기 압력 제어, CVD 및 RTP를 포함한 대기 응용 분야에서 고속 압력 제어가 가능합니다. 진단 목적으로 엔코더 기반 위치 피드백 시스템이 제공됩니다. 밸브는 대부분의 공정 가스와 호환되는 내부식성 316 스테인리스 스틸로 제작되었으며 보어 크기가 1" ~ 4"인 표준 ISO 플랜지 스타일로 제공됩니다(맞춤형 기준에 따라 대체 크기 사용 가능). 제공되는 표준 씰은 Viton®이며, 다양한 공정 화학 및/또는 가열 응용 분야와의 호환성을 위해 대체 재료를 지정할 수 있습니다.