MKS HPS 시리즈 979B 대기-진공 MicroPirani, KF-16. MKS 부품 번호: 979B-31 MKS HPS® 시리즈 979B 대기-진공(ATV) 변환기는 10-10torr(UHV)에서 대기압까지 넓은 측정 범위를 제공하는 범용 진공 변환기입니다. 979B는 단순화된 게이지 통합을 위해 MEMS 기반 MicroPirani™와 소형 열음극 센서를 단일 하우징에 결합합니다. 979B는 디지털 통신(RS232 또는 RS485)을 통해 작동하거나 자율 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다. 가스 제거 및 필라멘트 선택은 디지털 통신, 상단 패널의 푸시 버튼 제어 또는 아날로그 연결을 통해 제어할 수 있습니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러 PN P102879와 함께 979B를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 다운로드 섹션을 참조하세요.
특징 및 장점. 진공 센서와 넓은 측정 범위가 결합되어 복잡한 매니폴드, 배선 및 제어 요구 사항이 제거됩니다. MicroPirani™는 정확도 향상을 위해 펌프 다운 주기 동안 자동으로 영점을 조정합니다. 손쉬운 제어를 위한 특허받은 가스 제거 기능과 프로세스 제어를 위한 사용자 구성 가능 릴레이 3개.