MKS 627H 0.1Torr 가열 45°C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.15%, 수직 교정.
MKS 부품 번호 PN: : 627H.1TBD1B. 627H Baratron® 용량식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다.
이 목록은 45°C로 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 0.1Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.15%, MKS 부품 번호: 627H.1TBD1B.
호환 컨트롤러 및 케이블:
제품 특징:
- 우수한 장기 안정성
- 더 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도 백분율
- 저압 공정의 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위
- 전체 인코넬 부식 방지 습식 표면
- 더 빨라진 예열 시간
- 온도 및 히터 제어 회로의 시각적, 전기적 상태
- 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능
- 가스 구성에 관계없이 총 압력을 직접 측정합니다.
- 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급
- 클린룸 호환 스테인리스강 패키지