MKS 범용 유량 제어 밸브, 500sccm, 4 VCR M Swagelok 튜브 피팅, Viton 씰 MKS 부품 번호: 148JA52CR1M
제어 전류가 공급되면 이 범용 변형 솔레노이드 밸브는 가스 흐름을 조절합니다. MKS 컨트롤러 및 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 148J 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 흐름을 조절합니다. 유량 제어, 상류 또는 하류 압력 제어 등에 사용됩니다. 이 모델 148JA52CR1M 밸브는 500sccm(표준 분당 세제곱센티미터)의 질소(풀 스케일 범위), 4개의 VCR M 튜브 피팅, 그리고 바이톤 씰을 갖추고 있습니다. 밸브가 닫힌 상태에서 누설 컨덕턴스는 < 1x10-5scc /sec He입니다.
Swagelok-TM Swagelok 회사