Edwards nEXT300D 터보 진공 펌프, Conflat CF 6.0" DN100 CF 입구, 펌핑 속도 300 l/s, 공랭 또는 수랭식. 에드워즈 부품 번호: B82200200. DN100 CF, Conflat CF 6.0인치 입구 플랜지가 장착된 Edwards nEXT300D 터보 분자 고진공 펌프는 초당 300리터(l/s)의 펌핑 속도와 5 x
10-10 mbar(3.7 x
10-10 Torr)의 도달 압력을 제공합니다. 이 nEXT300D 펌프는 ISO KF-25 배기 포어라인 플랜지를 사용합니다. 입구 스크린(거친 또는 미세)은 옵션으로 제공됩니다. nEXT300D 시리즈 터보 펌프는 최대 200W의 24~48VDC 입력 전원을 필요로 합니다(정상 작동 시에는 일반적으로 160W 미만). 영구적으로 연결된 DB15 전원 및 제어 케이블이 펌프에 기본으로 제공됩니다. 모든 nEXT300D 터보 펌프에는 RS232 및 RS485 인터페이스, 5개의 상태 LED, 그리고 공기 냉각 팬 또는 솔레노이드 벤트 밸브를 제어할 수 있는 3핀 Phoenix 커넥터 소켓을 갖춘 소형 온보드 컨트롤러가 있습니다. 필요한 것은 적절한 전원 공급 장치와 시작/정지 로직뿐입니다. 실험실용으로는 200W Edwards Turbo Instrument Controller(TIC) 또는 Turbo Active Gauge(TAG)를 권장합니다. 이 제품은 소형 nEXT 펌프의 전원 공급 장치 및 원격 컨트롤러 역할을 모두 수행할 수 있습니다. 또한 TIC 및 TAG, 강제 공기 및 수냉 키트, 솔레노이드 작동 벤트 밸브 등 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다. 이 nEXT300D 터보 펌프의 부품 번호는 B82200200입니다.
Edwards nEXT300D 터보 펌프 사양:- 부품 번호: B82200200
- 입구 플랜지: DN100 CF, CF 6.0인치
- 기저 압력: 5 x 10-10 mbar(3.7 x 10-10 Torr)
- 작동 속도: 60,000 RPM
- 작동 위치: 수평에서 수직(입구 위쪽)
- 펌핑 속도: 300 l/s
- 냉각: 강제 공기 또는 물
- 배기 플랜지: KF-25
- 작동 전압: 24-48 VDC
- 최대 전력: 200와트(일반 작동 < 160와트)
- 전원 및 통신: DB15 직렬 RS232/RS485 인터페이스
- 액세서리 포트 1개
- 권장 러핑 펌프: nXDS10i 또는 RV12
nEXT 터보 펌프는 높은 신뢰성을 유지하면서 펌프 성능을 최적화하도록 설계된 로터를 사용합니다. nEXT 터보 펌프의 "D" 모델은 터보 분자 단계와 드래그 단계를 모두 갖추고 있어 높은 배압에 대한 내성을 향상시키고, 모든 가스 종류에 걸쳐 탁월한 펌핑 속도와 압축력을 제공합니다. 향상된 성능 외에도 모든 nEXT 터보 펌프는 현장 정비가 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링을 갖추고 있어 가동 중단 시간을 획기적으로 줄여줍니다. nEXT D 터보 펌프는 펌프 작동 및 대기 속도 제어, 솔레노이드 벤트 밸브(TAV5, TAV6) 및 공랭 장치(24VDC 액세서리 포트를 통해) 작동을 위한 구동 전자 장치가 내장된 소형 온보드 컨트롤러의 이점을 누리고 있습니다. 통합 컨트롤러는 RS232 및 RS485 직렬 통신 및 펌프 전원 공급을 위한 DB15 인터페이스를 갖추고 있습니다. 또한 컨트롤러에는 펌프의 일반적인 상태, 작동 및 서비스 상태를 나타내는 5개의 LED 표시등이 있습니다. 옵션으로 제공되는 TIC 터보 계기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러는 펌프에 전원을 공급하고 제어할 수 있습니다.
CF 플랜지가 있는 Edwards nEXT 펌프는 최대 진공도가
10-10 Torr 범위인 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전금속 흡기 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 세척 및 베이크아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 (고무/엘라스토머 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최대 진공도가
10-8 Torr 범위로 제한됩니다. Conflat 플랜지가 있는 nEXT300D 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식일 때 최대 120°C까지 베이크될 수 있습니다. Conflat 펌프의 히터 밴드는 별도 판매됩니다.
진공 시스템 통합 애플리케이션의 경우, nEXT300D 펌프는 사용자가 공급하는 적절한 24~48VDC 전원으로 구동될 수 있습니다. 실험실 애플리케이션의 경우, 200W Edwards TIC 터보 계측기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러를 권장합니다. 이 컨트롤러는 전원을 공급하고 펌프를 제어할 수 있습니다. TIC 시리즈 컨트롤러는 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원 공급 장치로, RS232/RS485를 통해 Edwards nEXT 시리즈 펌프와 통신하고 터보 펌프의 완벽한 모니터링 및 제어를 제공하며, 선택적으로 하나 이상의 진공 게이지 계측기를 제어할 수 있습니다. Edwards 릴레이 박스를 추가하면 TIC 컨트롤러와 주 전원 백업 펌프, 터보 펌프 플랜지 히터 밴드 및 백업 라인 차단 밸브 간의 제어 인터페이스가 됩니다. TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러는 nEXT300D 터보 펌프와 진공 게이지에 전원을 공급할 수 있으며, 대형 LED 디스플레이는 펌프 속도 또는 진공 압력을 표시할 수 있습니다.
펌프 사용 설명서와 Edwards nEXT 펌프 제품 브로셔는 다운로드 섹션에서 다운로드할 수 있습니다.
일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.- 일반 클린 펌핑 응용 프로그램
- 주사전자현미경(SEM)
- 빔 라인과 고에너지 물리학
- 질량 분석법
- 전자 현미경
- 샘플 준비
- 연구개발
- 고에너지 물리학
- 산업
- 반도체
- 코팅
- 표면 과학 기기
