Edwards STP-451 3축 자기 베어링 초고압 터보 분자 펌프, DN160CF CF 8인치, B74841010

이 목록은 새로운 Edwards STP-451 3축 자기 베어링 초고압 터보 분자 펌프에 대한 것입니다. Edwards SCU-350 제어 장치, 초당 480리터(l/s)의 질소 펌핑 속도, DN160CF CF 8인치 흡입 플랜지, ISO KF-25 배기 포어라인 플랜지 및 KF-10 퍼지 포트와 함께 사용됩니다. 부식 모델. 기본 펌프 시스템에는 Edwards STP-451 펌프, SCU-350 컨트롤러, 수냉식 액세서리 및 적합한 배압 러핑 펌프가 필요합니다. Edwards STP-451 터보 분자 펌프는 전자현미경, 과학 기기 및 반도체 응용 분야에 사용하기 위해 현장에서 입증된 신뢰성을 제공합니다.

STP-451은 자기 부상 터보 분자 펌프 시리즈입니다. STP 펌프는 회전익과 고정익이 축방향으로 교대로 배열되도록 구성된다. 로터의 고속 회전에 의해 가스 분자가 흡입구에서 배출구로 펌핑됩니다. 로터 블레이드는 기계적 접촉 없이 자기 베어링에 의해 지지됩니다. 따라서 STP 펌프는 볼 베어링을 사용하는 기존 터보분자 펌프와 달리 윤활유가 필요하지 않습니다. 자기 베어링은 3쌍의 활성 자기 베어링으로 구성됩니다. 로터는 방사형 센서와 방사형 전자석으로 구성된 2쌍의 방사형 활성 자기 베어링에 의해 방사형 방향으로 지지됩니다. 한 쌍의 축 방향 능동 자기 베어링은 축 방향으로 회전자를 지지하는 축 센서와 축 전자석으로 구성됩니다. 로터는 기계적 접촉 없이 지지되기 때문에 매우 낮은 진동으로 회전할 수 있습니다.

마찰이 없기 때문에 자기 베어링에서 발생하는 열이 적습니다. 따라서 STP 펌프에는 냉각이 필요하지 않습니다. 그러나 STP 펌프는 베이킹, 가스 펌핑 또는 기타 공정 중에 수냉식 또는 공냉식이 필요합니다. 자기베어링의 파손을 고려하여 고체윤활 코팅된 터치다운 베어링을 장착하였습니다. 정격 작동 중에는 로터와 접촉하지 않습니다. 방사형 센서, 축 센서, 회전 속도 센서 및 온도 센서는 항상 자기 베어링과 로터를 모니터링합니다. 이상/오류가 발생하면 로터가 정지합니다.

높은 수준의 부식 저항성을 보장하기 위해 부식 방지 모델 STP(C)에는 이온 주입 및 플라즈마 에칭에 적합한 니켈 코팅 회전자/고정자와 펌프 내부가 있습니다. 이러한 부식 방지 펌프에는 KF10 질소 퍼지 시설이 있으며, 펌프를 통한 지속적인 질소 흐름은 부식성 가스를 희석시켜 펌프 모터 및 센서 코일의 손상을 최소화합니다. 이 펌프의 모든 부속품은 이 웹사이트에서 구입하거나 자세한 내용을 알아보려면 505-872-0037로 전화하세요. 전체 사양을 보려면 아래 그래픽을 참조하거나 아래의 사용 가능한 다운로드에서 STP manual.pdf를 다운로드하세요.