Agilent Varian TPS-Compact Dry TwisTorr 305 FS 터보분자 진공 펌핑 시스템, ISO-100 주입구. PN: X3580A-011-023-120

Agilent Varian TPS-Compact는 건식 고진공 터보 분자 펌핑 시스템입니다. 이 TPS-Compact TwisTorr 305 FS 시스템 부품 번호 X3580A-011-023-120은 단상 115VAC 50/60Hz용으로 설정되어 있으며 TwisTorr 305 FS 터보분자 진공 펌프 ConFlat/CF/CFF 6인치 흡입구 255l/와 함께 제공됩니다. 최대 펌핑 속도. TPS-Compact는 최종 압력이 1x10 ^-11 Torr인 완전 건식 고진공 펌핑 시스템입니다. TPS-Compact 내부의 배압 펌프는 60l/min Agilent Varian IDP-3 건식 스크롤 진공 펌프입니다. 이러한 Agilent Varian TPS-Compact 시스템은 오일을 사용하지 않는 고성능 진공 펌핑이며 탁월한 스크롤 펌프 성능으로 인해 전력 소비가 감소되었습니다. Agilent Varian TPS-Compact는 비용 효율적이면서도 까다로운 응용 분야를 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 새 제품이며 Agilent Varian 공장 보증이 제공됩니다.

대기압부터 3.8x10 ^-9 Torr까지 진공 압력을 측정할 수 있는 Varian FRG-700 전체 범위(활성 피라니 및 역자석 게이지) 옵션을 사용할 수 있습니다. Agilent Varian MiniTask, TPS Compact 및 Agilent Varian AG 터보 펌프 컨트롤러는 장치 전면에 압력 판독값이 표시되는 FRG-700 게이지를 제어할 수 있습니다. TPS-Compact 장치 전면에 디스플레이가 내장된 이러한 게이지 인터페이스는 압력 판독값을 mbar, Torr 또는 Pascal로 표시할 수 있습니다. 우리는 또한 전체 범위의 게이지 키트를 제공합니다. 여기에는 Agilent Varian FRG-700 활성 피라니 및 역전 마그네트론 게이지, 게이지 연결용 케이블, 연결 하드웨어가 포함된 진공 티가 포함됩니다.

이 장치에는 바퀴도 있습니다. 모든 TPS-Compact 장치는 포함되지 않은 PC를 통해 T-Plus 소프트웨어로 작동할 수 있습니다. (위 중간 그림 참조) 전체 사양 및 사용 설명서는 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.