シリーズ 900 トランスデューサ用 MKS PDR900 真空ゲージ コントローラ MKS PDR900 電源および読み出しユニットは、シリーズ 900 デジタル真空トランスデューサで使用するスタンドアロンのシングル チャネル コントローラです。この機器は、真空計コントローラの新しい標準を設定し、スタンドアロンの電源読み出しユニットとして、または OEM アプリケーションでシステム統合トランスデューサの構成、校正、診断用のツールとして使用できます。 PDR900 コントローラは、真空測定、デジタル トランスデューサの構成、および高度なシステム診断に最適なソリューションです。コントローラは、使いやすいメニュー方式のユーザー インターフェイスを備えており、リモート トランスデューサ パラメータのセットアップと構成をユーザーに案内します。読み出しユニットはトランスデューサーとデジタル通信するため、トランスデューサーケーブルを介したアナログ測定ノイズ結合が排除されます。このユニットは 900 シリーズ トランスデューサ タイプを自動的に検出し、RS232 と RS485 トランスデューサの両方で使用できます (909/909A または 903 アナログ トランスデューサとは互換性がありません)。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。

MKS HPS® シリーズ 901P Plus MicroPirani™ ピエゾ ロードロック真空トランスデューサ ISO-KF NW 25、RS-232 PN 901P-21030MKS HPS® シリーズ 901P Plus トランスデューサには、ポンプのモニタリング用に 1x10-5 ～ 1,000 Torr を測定する複合センサー出力が備わっています。ダウンサイクル。このユニークな特許取得済みのトランスデューサーはロードロック環境向けに特別に設計されており、901 Plus (901P) は 1 つのコンパクトなパッケージで最大 3 つのセンサーを置き換えます。 901P は、MicroPirani™ とピエゾ センサー技術を統合することにより、圧力測定と大気切り替え機能の両方を提供します。差動センサーは、変動する気圧条件下でも正確な大気圧検知を保証し、最適なロードロック性能を実現します。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 901P を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様および価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は MKS Instruments, Inc. の登録商標です。MKS HPS® シリーズ 901P Plus MicroPirani™ ピエゾ ロードロック真空トランスデューサー オプション、部品番号 (PN): ISO-KF NW 16、RS-232PN 901P-11030ISO-KF NW 16、RS-485PN 901P-12030ISO-KF NW 25、RS-232PN 901P-21030ISO-KF NW 25、RS-485PN 901P-220304 VCR-F、RS-232PN 901P-410304 VCR-F、RS-485PN 901P-420 308 VCR-F、RS-232PN 901P-510308 VCR-F、RS-485PN 901P-52030ISO-KF NW 16 外部、RS-232PN 901P-81030ISO-KF NW 16 外部、RS-485PN 901P-82030

MKS HPS 902 絶対圧電トランスデューサ KF16 RS-232、0.1 ～ 1,000 Torr PN 902B-11010 HPS® シリーズ 902 絶対圧電トランスデューサは、MEMS ベースの圧電センサーの圧力測定技術と統合された電子機器を組み合わせています。 902 は、ガスの種類に依存しない経済的な絶対測定を提供します。フルスケール 0.1 ～ 1,000 Torr の測定範囲を備えたこのセンサーは、半導体製造、薄膜コーティング、凍結乾燥、ランプおよび電球の製造、医療機器、自動車、航空宇宙などの用途に最適です。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 902 を使用できます。完全な仕様と動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は登録商標です MKS Instruments, Inc.オプション、(PN) 部品番号と価格 : MKS HPS® シリーズ 902 絶対圧電トランスデューサー赤色 LED トランスデューサー ディスプレイ、PN 902001、2009 価格 $202ISO-KF NW 16、RS- 485、PN 902-1112 2009 価格 $576ISO-KF NW 16、RS-232、PN 902-1113、2009 価格 $563ISO-KF NW 16、アナログ 0 ～ 10V、PN 902-1105、2009 価格 $5004 VCR-F、 RS-485、PN 902-1212 2009 価格 $5764 VCR-F、RS-232、PN 902-1213 2009 価格 $5764 VCR-F、アナログ 0 ～ 10V、PN 902-1205、2009 価格 $5128 VCR-F、RS-485 、PN 902-1312 2009 価格 $5828 VCR-F、RS-232、PN 902-1313 2009 価格 $5828 VCR-F、アナログ 0 ～ 10V、PN 902-1305 2009 価格 $519すべて 価格は予告なく変更される場合があります。

MKS HPS® シリーズ 909AR デジタルおよびアナログ熱陰極トランスデューサー、KF-40、RS-232 PN 909AR-51HPS® 熱陰極センサーはベヤード アルパート スタイルで、グリッドの中心に配置された細線コレクターを利用します。面積が小さいため、コレクターに当たる X 線はほとんどありません。したがって、このゲージは非常に低い圧力を測定できます。 909AR トランスデューサには、ダウンタイムを短縮するためにイットリアでコーティングされたイリジウム フィラメントが 2 本含まれています。イットリアでコーティングされたイリジウムは、高い酸素分圧や大気への曝露によって引き起こされる損傷に耐性があります。チューブセンサーは低温で動作するため、化学反応速度が遅くなり、熱干渉が最小限に抑えられます。センサーには、大きな粒子からセンサーを保護するためのスクリーンが含まれています。シリーズ 909AR には、標準機能として RS232 または RS485 デジタル通信が含まれています。デジタル通信により、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで配信できます。追加のプロセス制御のために、909AR にはリレー設定ポイントがあります。設定圧力、ヒステリシス、方向はすべてデジタルポート経由で調整および監視できます。シリーズ 909AR は、システム統合を簡素化するために、0 ～ 10 ボルトの半対数出力、10 年あたり 1 ボルトのアナログ制御とアナログ出力も備えています。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 909AR を使用できます。完全な仕様と動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は MKS Instruments, Inc. の登録商標です。オプション (PN) 部品番号と価格: MKS HPS® シリーズ 909AR デジタルおよびアナログ熱陰極トランスデューサー CF 1.33、RS-232、PN 909AR-11、2009 年価格 $1221CF 1.33、RS-485、PN 909AR-12、2009 価格 $1221CF 2.75、RS-232、PN 909AR-21、2009 価格 $1234CF 2.75、RS-485、PN 909AR-22、2009 価格 $1234KF 16、RS-232 、PN 909AR-31、2009 年価格 $1202KF 16、RS-485、PN 909AR-32、2009 年価格 $1202KF 25、RS-232、PN 909AR-41、2009 年価格 $1214KF 25、RS-485、PN 909AR-42 、2009 年価格 $1214KF 40、RS-232、PN 909AR-51、2009 年価格 $1221KF 40、RS-485、PN 909AR-52、2009 年価格 $1221すべて価格は予告なく変更される場合があります。

MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani 絶対圧電トランスデューサ、KF16、RS485、PN 910-12030 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/絶対圧電真空トランスデューサは、広範囲の圧力測定アプリケーション向けに特別に設計されており、サイズ NW16 ISO- KFフランジ継手。結合された出力により、従来の熱伝導率ゲージよりも大幅に高い精度、安定性、再現性が得られ、より速い応答時間が得られます。 910 は 2 つの圧力測定テクノロジーを組み合わせて、優れたパフォーマンスと機能を提供します。 910 は、熱伝導率センサーよりも高い精度で、ガスに依存しない 11 ～ 1500 Torr の絶対圧力測定を提供します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani のセンサー要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られており、非常に小さな体積で測定を行うことができます。 MicroPirani テクノロジーの結果、910 は標準のピラニ センサーより 20 年低い 10-5 Torr までの圧力を読み取ることができます。センサー設計により対流の影響が最小限に抑えられるため、910 は精度を損なうことなく任意の向きに取り付けることができます。ピエゾは絶対圧力センサーであり、圧力を直接読み取り、ガスに依存しない測定を可能にします。ピエゾ センサーは、1 Torr 未満から 1500 Torr まで測定します。 910 には、トランスデューサーのパラメーターを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS485 デジタル通信インターフェイスが備わっています。 910 には、1VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。 910 には、遮断バルブや真空ポンプの連動など、プロセス制御に使用できるメカニカル リレーが 3 つあります。各設定値は、ピエゾ測定値または絶対 MicroPirani/ピエゾ測定値の組み合わせに割り当てることができます。 910 のコンパクトな設計により、真空計が占めるスペースが大幅に削減されます。これはシステム設計者にとって特に魅力的であり、よりコンパクトな真空システムが可能になります。

MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani Absolute Piezo Transducer、KF16、RS232、PN 910-11 HPS® シリーズ 910 は、ピラニとピエゾの圧力測定技術と統合された電子制御回路を組み合わせたデュアル センサー トランスデューサーです。トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。 Piezo は直接読み取りの絶対圧力センサーであり、ガスに依存しない測定が可能です。このセンサーには独自の温度補償が含まれており、広い測定範囲にわたって高精度が可能です。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。圧力が 10-2 Torr を下回ると、MicroPirani はピエゾに対してオートゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の素子は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニセンサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズは非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑えた設計により、精度を損なうことなくどの位置でも操作が可能となり、設置が簡素化されています。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できる押しボタンゼロ制御が含まれています。シリーズ 910 デジタル通信により、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで配信できます。 910 には、標準機能として RS485 または RS232 通信が含まれています。シリーズ 910 は、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルトの DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサの出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取られます。プロセス制御用に、910 には 3 つの独立したリレー設定値があります。設定値の機能は、デジタルポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。ピエゾはガスの種類に関係なく測定します。 910 は、Piezo と MicroPirani™ の間の差動読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーと 910 DualTrans を使用できます。完全な仕様と動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は登録商標です。 MKS Instruments, Inc. オプション (PN) 部品番号と価格 : 新しい MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani 絶対圧電トランスデューサ PN 910-11ISO-KF NW 16、RS-232、PN 910-11、2009 価格 $635ISO-KF NW 16、RS-485、PN 910-12、2009 価格 $6354 VCR-F、RS-232、PN 910-41、2009 価格 $6654 VCR-F、RS-485、PN 910-42、2009 価格 $6658 VCR-F、RS-232、PN 910-51、2009 価格 $6708 VCR-F、RS-485、PN 910-52、2009 価格 $670 すべて 価格は予告なく変更される場合があります。

新しい MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani 絶対圧電トランスデューサ、KF25、RS485、ディスプレイ、リレーなし、PN 910-21024 MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/絶対圧電真空トランスデューサは、広範囲の圧力測定アプリケーション向けに特別に設計されています。サイズ NW25 ISO-KF フランジ継手を備えています。結合された出力により、従来の熱伝導率ゲージよりも大幅に高い精度、安定性、再現性が得られ、より速い応答時間が得られます。 910 は 2 つの圧力測定テクノロジーを組み合わせて、優れたパフォーマンスと機能を提供します。 910 は、熱伝導率センサーよりも高い精度で、ガスに依存しない 11 ～ 1500 Torr の絶対圧力測定を提供します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani のセンサー要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られており、非常に小さな体積で測定を行うことができます。 MicroPirani テクノロジーの結果、910 は標準のピラニ センサーより 20 年低い 10-5 Torr までの圧力を読み取ることができます。センサー設計により対流の影響が最小限に抑えられるため、910 は精度を損なうことなく任意の向きに取り付けることができます。ピエゾは絶対圧力センサーであり、圧力を直接読み取り、ガスに依存しない測定を可能にします。ピエゾ センサーは、1 Torr 未満から 1500 Torr まで測定します。 910 には、トランスデューサーのパラメーターを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS232 デジタル通信インターフェイスが備わっています。 910 には、1VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。 910 には、遮断バルブや真空ポンプの連動など、プロセス制御に使用できるメカニカル リレーが 3 つあります。各設定値は、ピエゾ測定値または絶対 MicroPirani/ピエゾ測定値の組み合わせに割り当てることができます。 910 のコンパクトな設計により、真空計が占めるスペースが大幅に削減されます。これはシステム設計者にとって特に魅力的であり、よりコンパクトな真空システムが可能になります。注: 完全な仕様については、ダウンロードの横にある .pdf を参照してください。

MKS HPS 925 MicroPirani トランスデューサー NW/KF 16、RS-232、10-5 から大気まで、ディスプレイ付き。 PN: 925-11034 MKS 925 は、圧力測定範囲が 1x10-5 Torr から大気圧まで拡大されており、標準のピラニ センサーよりも 20 年低くなります。シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサは熱伝導率ゲージで、MEMS MicroPirani™ センサー技術をコンパクトなパッケージに組み込んでいます。 925 には 3 つのオプションのセットポイントリレーがあります。 925 は範囲が拡張されているため、特定の用途では複数のトランスデューサーを置き換えることができます。これには、KF16 フランジ RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/Decade、15 ピン Sub-D オス、および 3 つのリレーが付いています。統合されたタッチスクリーンディスプレイはユーザーが設定可能です。ユーザーは圧力単位、方向を変更でき、ガスの種類だけでなく設定点パラメータにもアクセスできます。ディスプレイには、利用可能な設定値リレーのステータスも表示されます。表示された測定値は、高コントラスト ディスプレイで 5 メートル以上離れた場所からでも見ることができます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様および価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は MKS Instruments の登録商標です。オプション、および (PN) 部品番号: NEW MKS HPS® シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサー KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、1 リレー セット ポイント (925C 互換) PN 925-11010 、2009 KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-11020、2009 KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、 3 リレー PN 925-11030、2009 KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-12020、2009 KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15ピン sub-D オス、リレー 3 個 PN 925-12030、2009 KF25、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-21020、2009 KF25、RS232/アナログ、0- 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-21030、2009 KF25、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-22020、2009 KF25、 RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-22030、2009 1/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、 1 リレーセットポイント (925C 互換) PN 925-31010、2009 1/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-31020、2009 1/8 インチNPT、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-31030、2009 1/8 インチ NPT、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-Dオス、リレーなし PN 925-32020、2009 1/8 インチ NPT、RS485/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-32030、2009 VCR4 、RS232/アナログ、0- 9VDC 1V/Decade、9 ピン sub-D オス、1 リレー セットポイント (925C) 互換 PN 925-41010、2009 VCR4、RS232/アナログ、0-9VDC 1V/Decade、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925 -41020、2009 VCR4 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-41030、2009 VCR4 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-Dオス、リレーなし PN 925-42020、2009 VCR4 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-42030、2009 VCR8 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-51020、2009 VCR8 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-51030、2009 VCR8 、RS485/アナログ、 0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-52020、2009 VCR8、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-52030、2009

MKS HPS 925 MicroPirani トランスデューサー NW/KF 25、RS-232、10-5 から大気まで、ディスプレイ付き。 PN: 925-21034 MKS 925 は、圧力測定範囲が 1x10-5 Torr から大気圧まで拡大されており、標準のピラニ センサーよりも 20 年低くなります。シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサは熱伝導率ゲージで、MEMS MicroPirani™ センサー技術をコンパクトなパッケージに組み込んでいます。 925 には 3 つのオプションのセットポイントリレーがあります。 925 は範囲が拡張されているため、特定の用途では複数のトランスデューサーを置き換えることができます。これには、KF25 フランジ RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/Decade、15 ピン Sub-D オス、および 3 つのリレーが付いています。統合されたタッチスクリーンディスプレイはユーザーが設定可能です。ユーザーは圧力単位、方向を変更でき、ガスの種類だけでなく設定点パラメータにもアクセスできます。ディスプレイには、利用可能な設定値リレーのステータスも表示されます。表示された測定値は、高コントラスト ディスプレイで 5 メートル以上離れた場所からでも見ることができます。完全な仕様と操作情報については、横にある「利用可能なダウンロード」を参照してください。完全な仕様と操作情報については、横にある「利用可能なダウンロード」を参照してください。仕様および価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は MKS Instruments の登録商標です。オプション、および (PN) 部品番号: NEW MKS HPS® シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサー KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、1 リレー セット ポイント (925C 互換) PN 925-11010 、2009 KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-11020、2009 KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、 3 リレー PN 925-11030、2009 KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-12020、2009 KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15ピン sub-D オス、リレー 3 個 PN 925-12030、2009 KF25、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-21020、2009 KF25、RS232/アナログ、0- 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-21030、2009 KF25、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-22020、2009 KF25、 RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-22030、2009 1/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、 1 リレーセットポイント (925C 互換) PN 925-31010、2009 1/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-31020、2009 1/8 インチNPT、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-31030、2009 1/8 インチ NPT、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-Dオス、リレーなし PN 925-32020、2009 1/8 インチ NPT、RS485/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-32030、2009 VCR4 、RS232/アナログ、0- 9VDC 1V/Decade、9 ピン sub-D オス、1 リレー セットポイント (925C) 互換 PN 925-41010、2009 VCR4、RS232/アナログ、0-9VDC 1V/Decade、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925 -41020、2009 VCR4 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-41030、2009 VCR4 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-Dオス、リレーなし PN 925-42020、2009 VCR4 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-42030、2009 VCR8 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-51020、2009 VCR8 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-51030、2009 VCR8 、RS485/アナログ、 0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-52020、2009 VCR8、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレー PN 925-52030、2009

MKS 910 および 925 MicroPirani トランスデューサーに最適な真空 AC 電源アダプター、120 VAC を 12 VDC に変換、15 ピン接続、6 フィート (1.8 m) のケーブル長。これらの Ideal Vacuum AC ユニバーサル電源壁面変圧器は、MKS Granville-Phillips® 275 Mini-Convectron® モジュラー真空圧力トランスデューサまたはディスプレイ内蔵 MKS Granville-Phillips 900 シリーズ トランスデューサ用です。これらのケーブルは、50 ～ 60 Hz、120 ～ 240 VAC を 12 VDC に変換し、15 ピン接続を介して接続します。ケーブルの長さは 6 フィート (1.8 m) です。

MKS HPS® シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサー PN 925-22020MKS 925 は、圧力測定範囲が 1x10-5 Torr から大気圧まで増加しており、標準のピラニ センサーよりも 20 年低いことが特徴です。シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサは熱伝導率ゲージで、MEMS MicroPirani™ センサー技術をコンパクトなパッケージに組み込んでいます。 925 には 3 つのオプションのセットポイントリレーがあります。 925 は範囲が拡張されているため、特定の用途では複数のトランスデューサーを置き換えることができます。これには、KF25 フランジ RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/Decade、15 ピン sub-D オス、およびリレーがありません。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は変更される場合があります。最新の価格情報については、(505)872-0037 までお電話ください。 HPS® および MicroPirani™ は、MKS Instruments の登録商標です。完全な仕様および操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。オプション、(PN) 部品番号および価格 : 新しい MKS HPS® シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサー KF16、RS232/アナログ、0- 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、1 リレー セットポイント (925C 互換)PN 925-11010、2009 価格 $505KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-11020、2009 価格 $505KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-11030、2009 価格 $540KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-12020、2009 価格 $540KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-12030、2009 価格 $540KF25、RS232/アナログ、 0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-21020、2009 価格 $540KF25、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個 PN 925-21030、2009価格 $560KF25、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-22020、2009 価格 $540KF25、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレーPN 925-22030、2009 価格 $5801/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、1 リレー セットポイント (925C 互換)PN 925-31010、2009 価格 $5651/ 8 インチ NPT、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-31020、2009 価格 $5451/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン サブ-D オス、リレー 3 個PN 925-31030、2009 価格 $5851/8 インチ NPT、RS485/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-32020、2009 価格 $5451/8 インチ NPT、 RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-32030、2009 価格 $585VCR4、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、リレー セット 1 個ポイント (925C) 互換PN 925-41010、2009 価格 $580VCR4 、RS232/アナログ、0 ～ 9 VDC 1V/10、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-41020、2009 価格 $560VCR4 、RS232/アナログ、0 ～ 9 VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-41030、2009 価格 $600VCR4、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-42020、2009 価格 $560VCR4 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-42030、2009 価格 $600VCR8、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-51020、2009 価格 $565VCR8 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-51030、2009 価格 $605VCR8 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-52020、2009 価格 $565VCR8、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-52030、2009 価格 $605 価格は変更される場合があります。最新の価格情報については、(505)872-0037 までお電話ください。

MKS HPS® シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサー PN 925-21030MKS 925 は、圧力測定範囲が 1x10-5 Torr から大気圧まで増加しており、標準のピラニ センサーよりも 20 年低いことが特徴です。シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサは熱伝導率ゲージで、MEMS MicroPirani™ センサー技術をコンパクトなパッケージに組み込んでいます。 925 には 3 つのオプションのセットポイントリレーがあります。 925 は範囲が拡張されているため、特定の用途では複数のトランスデューサーを置き換えることができます。これには、KF25 フランジ RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/Decade、15 ピン Sub-D オス、および 3 つのリレーが付いています。完全な仕様と動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は MKS Instruments の登録商標です。完全な仕様および動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様および価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は登録商標です MKS Instruments.Options、(PN) 部品番号と価格 : 新しい MKS HPS® シリーズ 925 MicroPirani™ トランスデューサー KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、1 リレー設定ポイント (925C 互換)PN 925-11010、2009 価格 $505KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン Sub-D オス、リレーなしPN 925-11020、2009 価格 $505KF16、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、3 リレーPN 925-11030、2009 価格 $540KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-12020 、2009 年価格 $540KF16、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-12030、2009 年価格 $540KF25、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン サブD オス、リレーなしPN 925-21020、2009 価格 $540KF25、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-21030、2009 価格 $560KF25、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-22020、2009 価格 $540KF25、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-22030、2009 価格 $5801/ 8 インチ NPT、RS232/アナログ、0-9VDC 1V/10 個、9 ピン sub-D オス、1 リレー セットポイント (925C 互換)PN 925-31010、2009 価格 $5651/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-31020、2009 価格 $5451/8 インチ NPT、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個 PN 925-31030、2009価格 $5851/8 インチ NPT、RS485/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなし PN 925-32020、2009 価格 $5451/8 インチ NPT、RS485/アナログ、0-9VDC 1V/10 年、 15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-32030、2009 価格 $585VCR4、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、9 ピン sub-D オス、1 リレーセットポイント (925C) 互換PN 925-41010、2009 価格$580VCR4 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-41020、2009 価格 $560VCR4 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、 3 リレーPN 925-41030、2009 価格 $600VCR4 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-42020、2009 価格 $560VCR4 、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-42030、2009 価格 $600VCR8、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-51020、2009 価格 $565VCR8 、RS232/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレー 3 個PN 925-51030、2009 価格 $605VCR8、RS485/アナログ、0 ～ 9VDC 1V/10 年、15 ピン sub-D オス、リレーなしPN 925-52020 、2009 年価格 $565VCR8、RS485/アナログ、0-9VDC 1V/10、15 ピン sub-D オス、3 リレーPN 925-52030、2009 年価格 $605すべて 価格は予告なく変更される場合があります。

MKS HPS 971 UniMag トランスデューサ NW25、RS232、KF 25、10-3 ～ 10-8 Torr SubD オス、リレーなし、PN 971B-21030971 UniMag トランスデューサは、1x10-8Torr ～ 5x10-3Torr の測定範囲を提供し、冷陰極に基づいています逆マグネトロンセンサー技術。 971 は、ベース圧力の測定と制御のためのコスト効率の高いソリューションです。シリーズ 971 UniMag には、トランスデューサ パラメータを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS232 または RS485 デジタル通信インターフェイスが備わっています。 971 UniMag トランスデューサには、0.5VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。シリーズ 971 UniMag には、インターロック バルブやポンプなどのプロセス制御に使用できる最大 3 つのメカニカル リレーがあります。 971 UniMag トランスデューサには、ユーザーが交換可能な冷陰極陽極モジュールが搭載されており、トランスデューサ電子部品を分解することなく簡単に保守できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 971 UniMag を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は登録商標です MKS Instruments, Inc. オプション、(PN) 部品番号と価格 : NEW MKS HPS® シリーズ 971 UniMagTransducerNW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オスリレーなし PN 971-21020、2009 価格 $7102 3/4 インチ CF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 971-71020、2009 価格 $815NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 971-91020、2009 価格 $755NW25 KF、RS-485、 SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 971-22020、2009 価格 $7452 3/4 インチ CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 971-72020、2009 価格 $815NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 971 -92020、2009 年価格 $755NW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 971-21030、2009 年価格 $7852 3/4 インチ CF、RS-232、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 971-71030、2009 年価格 $855NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 971-91030、2009 価格 $795NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 971-22030、2009 価格 $7952 3/4 インチ CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 971-72030、2009 価格 $855NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 971-92030、2009 価格 $895すべて 価格は予告なく変更される場合があります。

MKS HPS® シリーズ 974 QuadMag MicroPirani™ ピエゾ冷陰極トランスデューサー、KF-40、RS-232。 MKS 部品番号: 974-91020 974 QuadMag は、1x10-8 ～ 1500 Torr の測定範囲を提供し、冷陰極反転マグネトロン、MicroPirani™、および Piezo 差動センサー技術を組み合わせています。 974 は、真空ロードロック内の圧力測定用に特別に設計されています。大気圧から 10-8Torr までの絶対圧力測定と大気圧切り替え機能により、ロードロック上の複数の圧力測定装置を置き換える機能を備えています。その後、OEM はロードロック設計を簡素化することでコストを削減できます。 974 は、絶対圧力測定と大気切り替え機能の両方を必要とするロードロックまたは真空チャンバーで使用できます。シリーズ 974 QuadMag には、トランスデューサ パラメータを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS232 または RS485 デジタル通信インターフェイスが備わっています。 974 QuadMag トランスデューサには、0.5VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。シリーズ 974 QuadMag には、インターロック バルブやポンプなどのプロセス制御に使用できる機械式リレーが最大 3 つあります。 974 QuadMag トランスデューサには、ユーザーが交換可能な冷陰極陽極モジュールが搭載されており、トランスデューサ電子部品を分解することなく簡単に保守できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 974 QuadMag を使用できます。完全な仕様と動作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® は登録商標、MicroPirani™ は ©2009 MKS Instruments, Inc. の登録商標です。全著作権所有。オプション、(PN) 部品番号と価格 : 新しい MKS HPS® シリーズ 974 QuadMag MicroPirani™ ピエゾ冷陰極トランスデューサ NW25 KF、 RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 974-21020、2009 価格 $12952 3/4 CF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし PN 974-71020、2009 価格 $1365NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス -リレーなしPN 974-91020、2009 価格 $1325NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-22020、2009 価格 $12952 3/4 CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-72020、2009 価格$1335NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス-リレーなし PN 974-92020、2009 価格 $1275NW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-21030、2009 価格 $13052 3/4 CF、RS-232、 SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-71030、2009 価格 $1375NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-91030、2009 価格 $1315NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-22030、 2009 価格 $13052 3/4 CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-72030、2009 価格 $1395NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-92030、2009 価格 $1315?すべての価格は次の条件に従うものとします。予告なく変更しますか？

MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサ KF-25、1 x 10-8 ～ 1500 Torr。 RS232、絶対プロセス測定。 MKS 部品番号: 974B-21020 MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、冷陰極、MicroPirani™、ピエゾ技術などの 1 ～ 4 個のセンサーを利用するコンパクトで低コストの汎用トランスデューサ ファミリである MKS 970 シリーズに属します。 。これらのセンシング技術を組み合わせることで、大気から10-8Torrまでの幅広い測定範囲が可能になります。小型、広範囲、低コストに加えて、970 シリーズはデジタル通信経由で、または自律型アナログ ユニットとして操作できます。トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。 Piezo は直接読み取りの絶対圧力センサーであり、ガスに依存しない測定が可能です。このセンサーには独自の温度補償が含まれており、広い測定範囲にわたって高精度が可能です。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。圧力が 10-2 Torr を下回ると、MicroPirani はピエゾに対してオートゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の素子は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニセンサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズは非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑えた設計により、精度を損なうことなくどの位置でも操作が可能となり、設置が簡素化されています。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できる押しボタンゼロ制御が含まれています。デジタル通信を備えた MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサにより、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで行うことができます。 MKS 974B トランスデューサは、標準機能として RS485 または RS232 通信をサポートします。この 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルトの DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサの出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取られます。プロセス制御用に、974B には 3 つの独立したリレー設定値があります。設定値の機能は、デジタルポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。ピエゾはガスの種類に関係なく測定します。 974B は、Piezo と MicroPirani™ の間の差動読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーと 974B DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。

MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサ KF-40、1 x 10-8 ～ 1500 Torr。 MKS 部品番号: 974B-92020 MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、冷陰極、MicroPirani™、ピエゾ技術などの 1 ～ 4 個のセンサーを利用するコンパクトで低コストの汎用トランスデューサ ファミリである MKS 970 シリーズに属します。 。これらのセンシング技術を組み合わせることで、大気から10-8Torrまでの幅広い測定範囲が可能になります。小型、広範囲、低コストに加えて、970 シリーズはデジタル通信経由で、または自律型アナログ ユニットとして操作できます。トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。 Piezo は直接読み取りの絶対圧力センサーであり、ガスに依存しない測定が可能です。このセンサーには独自の温度補償が含まれており、広い測定範囲にわたって高精度が可能です。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。圧力が 10-2 Torr を下回ると、MicroPirani はピエゾに対してオートゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の素子は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニセンサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズは非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑えた設計により、精度を損なうことなくどの位置でも操作が可能となり、設置が簡素化されています。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できる押しボタンゼロ制御が含まれています。デジタル通信を備えた MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサにより、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで行うことができます。 MKS 974B トランスデューサは、標準機能として RS485 または RS232 通信をサポートします。この 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルトの DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサの出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取られます。プロセス制御用に、974B には 3 つの独立したリレー設定値があります。設定値の機能は、デジタルポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。ピエゾはガスの種類に関係なく測定します。 974B は、Piezo と MicroPirani™ の間の差動読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーと 974B DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。

MKS HPS シリーズ 979B 大気～真空 MicroPirani、KF-16。 MKS 部品番号: 979B-31 MKS HPS® シリーズ 979B 大気－真空 (ATV) トランスデューサは、10 ～ 10 トール (UHV) から大気圧までの広い測定範囲を提供する汎用真空トランスデューサです。 979B は、MEMS ベースの MicroPirani™ と小型熱陰極センサーの両方を単一のハウジングに組み合わせ、ゲージの統合を簡素化します。 979B は、デジタル通信 (RS232 または RS485) 経由で、または自律アナログ ユニットとして操作できます。脱ガスとフィラメントの選択は、デジタル通信、トップパネルからの押しボタン制御、またはアナログ接続を介して制御できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラ PN P102879 とともに 979B を使用できます。完全な仕様と操作情報については、「ダウンロード」セクションを参照してください。機能と利点。真空センサーと広い測定範囲を組み合わせることで、複雑なマニホールド、配線、制御の要件が不要になります。 MicroPirani™ はポンプダウンサイクル中に自動的にゼロ調整され、精度が向上します。制御を容易にする特許取得済みのガス抜き機能と、プロセス制御用の 3 つのユーザー設定可能なリレー。

MKS HPS® シリーズ 999 Quattro™ マルチセンサー熱陰極トランスデューサー、KF-40、RS232。 MKS 部品番号 999-51 MKS HPS® シリーズ 999 Quattro™ は、大気スイッチング機能と組み合わせて、10 ～ 10 Torr から大気までの圧力測定を提供する究極のトランスデューサー ソリューションです。 Quattro は、HPS の 3 つの主要テクノロジーを統合したゲージ ソリューションに組み合わせており、1 つのコンパクトなパッケージに 4 つのセンサーの機能を備えています。 Quattro には、小型熱陰極イオン化センサー、MEMS ベースの MicroPirani™ センサー、および独自のピエゾ センサーが含まれており、差動センサー機能と絶対センサー機能の両方を提供します。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 999 を使用できます。完全な仕様と動作情報については、「ダウンロード」セクションを参照してください。

MKS MGPD-E コントローラーと単一の 902 または 902B ピエゾ トランスデューサーに最適な真空ケーブル、DB9 オス - メス、10 フィート、RS232 RS485。この理想的な真空ケーブルは、MKS MGPD-E デジタル電源と読み出しを単一の 902 または 902B 絶対圧電真空圧力トランスデューサーに接続します。 RS232 または RS485 シリアル通信用の DB オス - DB9 メス コネクタ。長さは 10 フィート (3 メートル) です。

MKS ケーブルは、PDR900 をシリーズ 902、925、および 925C、RS232、9 ピンから 15 ピン、10 フィートに接続します。部品番号 100013613。この MKS ケーブルは、PDR900 をシリーズ 902、925、および 925C - 9 ピン、15 ピン トランスデューサー、長さ 10 フィート (3m)、RS232 に接続します。すべての MKS 900 シリーズ真空トランスデューサの選択ガイドについては、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® は MKS Instruments, Inc. の登録商標です。

MKS 15 ピン - 15 ピン真空ゲージ コントローラー ケーブル、PRR900 をトランスデューサー RS232 に接続、長さ 10 フィート (3 メートル)、MKS 部品番号: 100013620。この MKS 真空ゲージ ケーブルは、PDR900 コントローラーをほとんどの MKS 900 シリーズ真空圧力トランスデューサーに接続します。これは、長さ 10 フィート (3 メートル) の 15 ピン オス - メス ケーブルで、MKS 部品番号は 100013620 で、次のトランスデューサ モデルで動作します: MKS 901P MKS 909AR MKS 910 MKS 925 MKS 979B MKS 971 MKS 972 MKS 973 MKS 974 MKS 999 MKS 900 シリーズ真空圧力トランスデューサの追加情報と参考資料については、以下のダウンロード セクションにある選択ガイドを参照してください。 HPS は MKS Instruments, Inc. の登録商標です。仕様および価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® は MKS Instruments, Inc. の登録商標です。