MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 絶対圧電トランスデューサ KF16 RS485、10-5 ～ 1500 Torr 910-12030

910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute Piezo 真空トランスデューサは、広範囲の圧力測定アプリケーション向けに特別に設計されており、サイズ NW16 ISO-KF フランジ フィッティングを備えています。結合された出力により、従来の熱伝導率ゲージよりも大幅に高い精度、安定性、再現性が得られ、より速い応答時間が得られます。 910 は 2 つの圧力測定テクノロジーを組み合わせて、優れたパフォーマンスと機能を提供します。 910 は、熱伝導率センサーよりも高い精度で、ガスに依存しない 11 ～ 1500 Torr の絶対圧力測定を提供します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani のセンサー要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られており、非常に小さな体積で測定を行うことができます。 MicroPirani テクノロジーの結果、910 は標準のピラニ センサーより 20 年低い 10-5 Torr までの圧力を読み取ることができます。センサー設計により対流の影響が最小限に抑えられるため、910 は精度を損なうことなく任意の向きに取り付けることができます。

ピエゾは絶対圧力センサーであり、圧力を直接読み取り、ガスに依存しない測定を可能にします。ピエゾ センサーは、1 Torr 未満から 1500 Torr まで測定します。 910 には、トランスデューサーのパラメーターを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS485 デジタル通信インターフェイスが備わっています。 910 には、1VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。 910 には、遮断バルブや真空ポンプの連動など、プロセス制御に使用できるメカニカル リレーが 3 つあります。各設定値は、ピエゾ測定値または絶対 MicroPirani/ピエゾ測定値の組み合わせに割り当てることができます。 910 のコンパクトな設計により、真空計が占めるスペースが大幅に削減されます。これはシステム設計者にとって特に魅力的であり、よりコンパクトな真空システムが可能になります。